Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Tegal Corporation > Установки реактивно-ионного травления (RIE)

Установки реактивно-ионного травления (RIE) [6500 HRe™ Etch]

Каждая установка плазмохимического травления 6500-ой серии оборудована запатентованным компанией Tegal технологическим модулем HRe™ с ёмкостно связанной плазмой и двумя рабочими частотами. Испытанный в СЕРИЙНОМ производстве дизайн кластерной платформы внедрен во все установки 6500-ой серии, чтобы приспособить каждый из одного или двух модулей травления под пластины размером от 100 до 200 мм. Каждый модуль может быть сконфигурирован для выполнения независимых процессов, происходит оптимизация, снижается время простоя и увеличивается пропускная способность. 6500-ая серия штатно укомплектована одним вакуумным кассетным загрузчиком для установки/извлечения пластин. Опционально второй вакуумный кассетный загрузчик или запатентованный Rinse-Strip-Rinse™ модуль антикоррозионной пассивации могут быть добавлены в стандартную конструкцию. В каждой системе объединились технологии полностью кластерной установки с передовыми инновациями в области контроля за загрязнениями и автоматизации предприятий. Системы Tegal 6500-ой серии продемонстрировали свою эффективность при выборе сложных задач травления новых материалов в современных условиях производства и в будущем.

HRe™ и Rinse-Strip-Rinse™ зарегистрированные торговые марки Tegal Corporation.

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Установки реактивно-ионного травления (RIE)