Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Adixen АТР

Турбомолекулярные насосы серии АТР

 Турбомолекулярный насос серии ATP   

Турбомолекулярный насос серии АТР представляет собой молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с лопатками, вращающиеся между соответствующими дисками статора. Это традиционный турбомолекулярный насос, конструкция которого отточена до совершенства. Турбомолекулярные насосы этой серии нашли самое широкое применение в большинстве задач, связанных с получением глубокого и чистого вакуума.

Турбомолекулярные насосы серии АТР выпускаются в трех исполнениях:
 - общего применения
 - химстойкого (с индексом «С»)
 - химстойкого высокого давления (с индексом «НРС»).

В турбомолекулярных насосах серии АТР ротор насоса закреплен с применением керамических подшипников, обеспечивающих очень длительную эксплуатацию. Ротор вращается на рабочем режиме с относительно невысокой скоростью (27000 об/мин), что обеспечивает турбомолекулярному насосу существенно больший ресурс. Рабочее положение турбины в пространстве - произвольное.

Информация: износ подшипников турбомолекулярного насоса пропорционален кубу частоты вращения ротора, иными словами, с увеличением скорости вращения в 2 раза ресурс уменьшается в 8 раз.

Турбомолекулярные насосы серии ATP

Задачи, в которых традиционно используют турбомолекулярные насосы серии АТР общего применения:

  • имитация космоса
  • напыление тонких пленок
  • вакуумирование электронных ламп
  • сверхвысоковакуумные установки
  • ускорители частиц
  • ионные источники
  • поверхностный анализ
  • масс-спектрометрия
  • электронный сканирующий микроскоп
  • течеискание

Турбомолекулярные насосы общего применения ATP80, ATP100, ATP150, ATP400, ATP900

Турбомолекулярные насосы серии АТР обеспечивают производительность от 80 до 900 л/сек и предельное разряжение до 10-10 Торр.

Вид в сечении турбомолекулярного насоса

Таблица технических характеристик турбомолекулярных насосов общего применения серии АТР. 

Характеристика 

Ед. изм.

АТР 80

АТР 100

АТР 150

АТР 400

АТР 900

Изображение турбомолекулярного насоса

Турбомолекулярный насос серии ATP

Турбомолекулярный насос серии ATP

Турбомолекулярные насосы серии АТР

Турбомолекулярные насосы серии АТР

Турбомолекулярные насосы серии АТРм

Фланец на всасывании

 

 

DN63 ISO-K
или CF-F

DN100 ISO-K
или CF-F

DN100 ISO-K
или CF-F

DN160 ISO-K
или CF-F

DN200 ISO-K
или CF-F

Скорость откачки по:

N2

л/с

80

100

140

400

900

He

л/с

50

60

100

300

540

H2

л/с

40

40

80

250

300

Степень сжатия по:

N2

 

8∙107

8∙107

7∙108

7∙108

1∙109

He

 

2500

2500

12000

15000

2∙104

H2

 

300

300

1000

1000

2000

Минимальное остаточное давление (1), (2)

мбар

5∙10-9

5∙10-9

5∙10-10

8∙10-10

5∙10-10

Максимальное давление на всасывании (2)

мбар

1∙10-1

1∙10-1

1∙10-1

2∙10-2

2∙10-2

Максимальное давление на выхлопе (2)

мбар

2∙10-1

3∙10-1

4∙10-1

2∙10-1

3∙10-1

Требуемая модель (минимальная) форвакуумного
турбомолекулярного насоса, серия "Pascal"

 

2005

2005

2005

2015

2021

Рабочее положение

 

Любое

Скорость вращения ротора

об/мин

27 000

Время запуска, мин

 

1,45

1,45

2

3

3

Максимальная рабочая температура
окружающего воздуха

°C

Турбина 50°C / Контроллер 40°C

Выхлопной фланец

 

DN25

DN25

DN25

DN40

DN40

Вес (естественная вентиляция) ISO-K
CF-F

кг

3
4,3

3
4,3

--

--

--

Вес (принудительная вентиляция) ISO-K
CF-F

кг

4
5,3

4
5,3

6,5

6,5

17,5
18,5

Вес (водяное охлаждение) ISO-K
CF-F

кг

3,4
4,4

3,5
4,7

9

9

17
18

Контроллер

 

ACT200T
OEM

ACT200T
OEM

ACT600T
ACT250

ACT600T
ACT250

ACT 1000T

Вес контроллера

кг

2,6

2,6

4

4

8,8

Контроллер в стойку

Rack

¼

¼

½

½

½

Максимальное энергопотребление

Вт

100

100

300

300

800

(1) Измерено по стандарту Pneurop при выхлопном давлении ниже 10-2 мбар
(2) Модель водяного охлаждения с фланцами CF-F

Давление на выходе турбомолекулярного насоса серии ATP Турбомолекулярный насос серии ATP
Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP


Химстойкие турбомолекулярные насосы серии АТР "C", "HPC"

Турбомолекулярные насосы спроектированы для работы с коррозионно-активными газами, в том числе и в полупроводниковой промышленности. Насосы имеют вход для продувки инертным газом для предотвращения воздействия откачиваемых газов на подшипники. Кроме того, в конструкцию турбомолекулярных насосов заложено специальное обратное динамическое уплотнение, которое минимизирует количество химически активных газов, достигающих подшипники  даже в том случае, когда отсутствует продувка (например, на этапе калибровки технологического процесса). Насосы серии «HPC»  снабжены водяным нагревом до 65оС, для предотвращения конденсации парогазовых откачиваемых смесей на внутренних частях насоса.

Турбомолекулярный насос серии ATP в сечении Турбомолекулярный насос серии ATP в сечении

Турбомолекулярный насос серии ATP вид в сечении версия «С» (слева) и «HPC» (справа)

Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP
"C" (слева) и "HPC" (справа)

 

Таблица технических характеристик турбомолекулярных насосов серии АТР «С», «НРС»

Характеристика 

Ед. изм.

АТР 80 С

АТР 100 С

АТР 150 С

АТР 400 С

АТР 900 С

АТР 400 HPC

АТР 900 HPC

Фланец на всасывании

 

DN63 ISO-K
или CF-F

DN100 ISO-K
или CF-F

DN100 ISO-K
или CF-F

DN160 ISO-K
или CF-F

DN200 ISO-K
или CF-F

DN160 ISO-K
или CF-F

DN200 ISO-K
 или CF-F

Скорость откачки по:

N2

л/с

80

100

140

400

900

380

700

He

л/с

50

60

100

300

540

 

 

H2

л/с

40

40

80

250

300

 

 

Ar

 

 

 

 

 

 

430

785

SF6

 

 

 

 

 

 

430

785

Степень сжатия по:

N2

 

8∙107

8∙107

7∙108

7∙108

1∙109

7∙106

1∙106

He

 

2500

2500

12000

15000

2∙104

 

 

H2

 

300

300

1000

1000

2000

100

200

Ar

 

 

 

 

 

 

700

2∙103

Минимальное остаточное
давление без продувки (1), (2)

мбар

5∙10-9

5∙10-9

5∙10-10

8∙10-10

5∙10-10

5∙10-8

Минимальное остаточное
давление с продувкой  (2)

мбар

5∙10-8

5∙10-8

1∙10-7

1∙10-7

1∙10-7

8∙10-6

5∙10-5

Расход азота на продувку

ст.см3/мин

50

Максимальное давление на всасывании (2)

мбар

1∙10-1

1∙10-1

1∙10-1

2∙10-2

2∙10-2

1∙10-1

1∙10-2

Максимальное давление на выхлопе (2)

мбар

2∙10-1

3∙10-1

4∙10-1

2∙10-1

3∙10-1

6∙10-1

4∙10-2

Требуемая модель (минимальная) форвакуумного
турбомолекулярного насоса, серия "Pascal"

 

2005 С2

2005 С2

2021 С2

2033 С2

2063 С2

Рабочее положение

 

Любое

Скорость вращения ротора

об/мин

27 000

Время запуска, мин

 

1,45

1,45

2

3

3

2

Максимальная рабочая температура
окружающего воздуха

°C

Турбина 50°C / Контроллер 40°C

Выхлопной фланец ISO-KF

 

DN25

DN25

DN25

DN40

Фланец продувки ISO-KF

 

DN16

Контроллеры ACT 200 T, ACT 600 T, ACT 1000 T

Контроллеры оснащены LCD дисплеем. Отображение текущей скорости вращения ротора и потребляемой мощности, температуры насоса и контроллера, срок службы, сбои в работе. Контроль скорости вращения ротора, напуска воздуха, автостарт, задержка старта, расписание обслуживания. Интерфейс RS232/485. Удаленное управление. Внешние входы: удаленный старт/стоп, режим ожидания. Внешние выходы: запуск насоса, насос на скорости, режим ожидания, вентиляционный клапан открыт/закрыт, подача питания на вентиляторы воздушного охлаждения.  

Турбомолекулярные насосы серии ATP. Габаритные размеры, мм (дюймы)

                  Турбомолекулярные насосы. Габаритные размеры
Турбомолекулярные насосы. Габаритные размерыТурбомолекулярные насосы. Габаритные размеры

 

 

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24