Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Cерия ADP/ADS

ADP/ADS серия 2 БЕЗМАСЛЯНЫЕ форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности

Сухие (безмасляные) форвакуумные насосы серии А компании Pfeiffer Vacuum

МНОГОЗАДАЧНОСТЬ, КОМПАКТНОСТЬ:

Вторая серия насосов ADP/ADS представляет собой 4 модели в 3-х исполнениях для различных применений:

  • LM для чистого применения
  • P для химических процессов
  • H для высоко агрессивных химических процессов

Насосы второго поколения вобрали в себя опыт более чем десятилетнего анализа работы у крупнейших производителей полупроводников. Насосы позволяют заметно увеличить производительность и уменьшить незапланированное время простоя и эксплуатационные расходы.


ВЫСОЧАЙШАЯ НАДЁЖНОСТЬ:

• широкие каналы между ступенями способны поглотить большие количества пыли и частиц
• высокая рабочая температура с точной системой терморегулирования с обратной связью и линейным повышением температуры от фланца всасывания до выхлопа
• вертикальный процесс откачивания на каждой ступени, который препятствует скоплению частиц пыли в зонах вращения ротора насоса
• использование литой стали и специальных сплавов для изготовления компонентов насоса обеспечивает высокую коррозионную стойкость и механическую прочность.

 

СООТВЕТСТВИЕ ТРЕБОВАНИЯМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ:

• компактность: Серия 2 всего 390 мм в ширину
• чистота: бесконтактная технология многоступенчатого Рутса и отсутствие масла полностью исключают возможность загрязнения.

НИЗКАЯ СТОИМОСТЬ ВЛАДЕНИЯ:

• низкое энергопотребление
• небольшая теплоотдача насосов серии 2, позволяет уменьшить поток охлаждающей воды
• возможность изменения величины продувочного газа вручную. Насосы версии LM не требуют продувки\
• низкий уровень шума: Все модели имеют встроенный глушитель
• насосы соответствуют требованиям Semi S2

ПРИМЕНЕНИЯ:

ADP122LM, ADS602LM
• загрузочные шлюзы
• камеры перегрузки
• PVD (Напыление)

ADP122P, ADS602P, ADS1202P, ADS1802P
• озоление
• стриппинг
• травление
• ионная имплантация
• CVD (осаждение)

ADS602H, ADS1202H, ADS1802H
• PECVD (плазмохимическое осаждение)
• LPCVD (осаждение на пониженном давлении)

Технические данные:

 




 

Единицы измерения

 ADP122

 ADS602 

 ADS1202 

 ADS1802 

Максимальная скорость откачки 50 ГЦ

м3/час
л/мин

95
1583

480
8000

1050
17500

1700
28333

Остаточное давление
(без продувки)

мбар
торр

3*10-2
2,2*10-2

2*10-3
1,5*10-3

2*10-3
1,5*10-3

9*10-4
6,7*10-3

Остаточное давление
(с продувки)

мбар
торр

9*10-2
6,7*10-2

9*10-3
6,7*10-4

9*10-3
6,7*10-3

6*10-3
4,5*10-3

Потребление энергии на предельном
давлении 50 Гц

кВт

1,3

1,8

3

3,5

Мощность мотора

кВт

1,5

3

5,2

7,5

Поток охлаждаемой воды

л/мин

1

1

1,3

5

Потребление азота

 

0 для версий LM, в зависимости от применения для версий H и P

Впускной клапан  

DN 50

DN 100

DN 100

DN 100

Выпускной клапан  

DN 40

DN 40

DN 40

DN 40

Размеры

длина
ширина
высота, мм

830
390
580

830
390
875

995
390
975

1110
390
975

Вес

кг

243

378

522

540

Скачать в PDF-формате

 

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24