Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности ADP/ADS серия 2

Pfeiffer Vacuum ADP/ADS

 

 

Многозадачность и компактность:

Вторая серия насосов ADP/ADS представляет собой 4 модели в 3-х исполнениях для различных применений:

  • LM для чистого применения
  • P для химических процессов
  • H для высоко агрессивных химических процессов

Насосы второго поколения вобрали в себя опыт более чем десятилетнего анализа работы у крупнейших производителей полупроводников. Насосы позволяют заметно увеличить производительность и уменьшить незапланированное время простоя и эксплуатационные расходы.

Высочайшая надежность:

• широкие каналы между ступенями способны поглотить большие количества пыли и частиц
• высокая рабочая температура с точной системой терморегулирования с обратной связью и линейным повышением температуры от фланца всасывания до выхлопа
• вертикальный процесс откачивания на каждой ступени, который препятствует скоплению частиц пыли в зонах вращения ротора насоса
• использование литой стали и специальных сплавов для изготовления компонентов насоса обеспечивает высокую коррозионную стойкость и механическую прочность.

Соответствие требованиям полупроводниковой промышленности:

• компактность: Серия 2 всего 390 мм в ширину
• чистота: бесконтактная технология многоступенчатого Рутса и отсутствие масла полностью исключают возможность загрязнения.

Низкая стоимость владения:

• низкое энергопотребление
• небольшая теплоотдача насосов серии 2, позволяет уменьшить поток охлаждающей воды
• возможность изменения величины продувочного газа вручную. Насосы версии LM не требуют продувки\
• низкий уровень шума: Все модели имеют встроенный глушитель
• насосы соответствуют требованиям Semi S2

Применения:

ADP122LM, ADS602LM
• загрузочные шлюзы
• камеры перегрузки
• PVD (Напыление)

ADP122P, ADS602P, ADS1202P, ADS1802P
• озоление
• стриппинг
• травление
• ионная имплантация
• CVD (осаждение)

ADS602H, ADS1202H, ADS1802H
• PECVD (плазмохимическое осаждение)
• LPCVD (осаждение на пониженном давлении)

Технические данные:

  Единицы измерения  ADP122  ADS602   ADS1202   ADS1802 
Максимальная скорость откачки 50 ГЦ м3/час
л/мин
95
1583
480
8000
1050
17500
1700
28333
Остаточное давление
(без продувки)
мбар
торр
3*10-2
2,2*10-2
2*10-3
1,5*10-3
2*10-3
1,5*10-3
9*10-4
6,7*10-3
Остаточное давление
(с продувки)
мбар
торр
9*10-2
6,7*10-2
9*10-3
6,7*10-4
9*10-3
6,7*10-3
6*10-3
4,5*10-3
Потребление энергии на предельном
давлении 50 Гц
кВт 1,3 1,8 3 3,5
Мощность мотора кВт 1,5 3 5,2 7,5
Поток охлаждаемой воды л/мин 1 1 1,3 5
Потребление азота   0 для версий LM, в зависимости от применения для версий H и P
Впускной клапан   DN 50 DN 100 DN 100 DN 100
Выпускной клапан   DN 40 DN 40 DN 40 DN 40
Размеры длина
ширина
высота, мм
830
390
580
830
390
875
995
390
975
1110
390
975
кг 243 378 522 540

Скачать в PDF-формате

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1