Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности

• быстрота действия - 100 м³/ч
• предельное давление - 5*10^-3 Торр

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности

• максимальная скорость откачки от 95 до 1700 м³/час

Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением

• максимальная скорость откачки от 120 до 900 м³/час

Безмасляные насосы для быстрой откачки больших объёмов

• максимальная скорость откачки: 570 м³/час
• Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар): 3*10^-4 мбар

Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях

• скорость откачки по азоту от 2 100 до 5 100 м³/час
• скорость откачки по водороду от 2 000 до 4 000 м³/час