Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности
• быстрота действия - 100 м3/ч
• предельное давление - 5*10-3 Торр
Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности
• максимальная скорость откачки от 95 до 1700 м3/час
Безмасляные насосы для быстрой откачки больших объёмов
• максимальная скорость откачки: 570 м3/час
• Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар): 3*10-4 мбар
Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях
• скорость откачки по азоту от 2 100 до 5 100 м3/час
• скорость откачки по водороду от 2 000 до 4 000 м3/час