Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ MKS Instruments \ Масс-спектрометры \ Установка Cirrus 2 для непрерывного газового анализа при атмосферном давлении

Масс-спектрометрическая установка Cirrus 2 для непрерывного газового анализа при атмосферном давлении

Масс-спектрометрическая установка Cirrus 2 для непрерывного газового анализа при атмосферном давлении

Cirrus 2

Масс-спектрометрическая установка Cirrus 2 предназначена для непрерывного газового анализа при атмосферном давлении. Cirrus 2 представляет собой интеграцию в единый настольный комплекс квадрупольного масс-спектрометра Microvision 2 и средств создания вакуума (высоковакуумный и форвакуумный насосы).
Пробозабор газа в систему редукции давления масс-спектрометра осуществляется по капилляру длиной 2 метра, обеспечивающему ламинарный поток и, соответственно, равномерный поток пробозабора по разным газам. Опционально возможна комплектация масс-спектрометрической установки Cirrus 2 мультиканальным (4, 8 и 16 каналов) моторизированным вентилем с системой регулирования давления, который в автоматическом режиме позволяет проводить последовательный пробозабор и анализ газов из разных точек объема или объемов.
Для визуализации результатов газового анализа, настройки режимов и параметров работы масс-спектрометрической установки Cirrus 2, а так же управления газовым анализом используется специальное программное обеспечение Process Eye Professional, которое позволяет полностью автоматизировать процесс работы масс-спектрометра и отслеживать сканируемые параметры, отображать данные, записывать данные в файл (вести файл отчета), отслеживать параметры ионного источника.

Применения

Cirrus 2_2 
  • мониторинг загрязнения рабочих газов
  • процессы катализа
  • мониторинг топливных ячеек
  • мониторинг термических процессов
  • изучение пропускаемости мембран
  • производство ламп
  • детектирование фреонов
  • мониторинг окружающей среды
  • термический анализ TGA, DTA
  • мониторинг процессов ферментации
Восьмиканальный вход Cirrus 2

Оборудование

Сенсор
квадрупольный масс-спектрометр Microvision 2 оснащается двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладает:

  • более высоким сопротивленим к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром
  • более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах)
  • широким выбором ионных источников
  • стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальный платой для регистрации парциального давления до 1*10-14 мбар

Электроника
сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном:

  • препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими
  • температурно сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха
  • изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса
  • настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств
  • гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора

Программное обеспечение

Easy view
Это программное обеспечение для квадрупольных масс-спектрометров с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:

  • запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
  • графическое представление данных с комментариями
  • управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения
Программное обеспечение Easy View для обработки
данных и управления одновременно несколькими
масс-спектрометрами

Process Eye Professional
Обеспечивает полный контроль всех параметров масс-спектрометра:

  • программируемое управление для гибкости и простоты работы с помощью EasyView recipe и Recipe Wizard
  • возможность подключения к другим системам с помощью разнообразных протоколов Modbus, ASCII, SECS, серийные коммуникации, TCP-IP, файловый обмен и многое другое
  • гибкость в обработке пользовательских данных, проверке условий срабатывания сигнализации и операциях замкнутого контура управления
Программное обеспечение Process Eye Professional
для гибкой обработки данных и управления с
использованием рецептов

Технические характеристики масс-спектрометрической установки Cirrus 2

Габаритные размеры

645мм (длина) х 410мм (ширина) х 350мм (высота)

Вес

35 кг

Диапазон измеряемых масс

1-100 а.е.м., 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м. стандартное исполнение
1-100 а.е.м. высокоточное исполнение опционально
1-6 а.е.м. опционально

Порог детектирования

зависит от рода газа, типичный < 100 ppb

Энергия электронов

регулируется оператором

Ток эмиссии

регулируется оператором

Максимально допустимая температура окружающей среды

35оС и относительная влажность 80% для высоковакуумного насоса и электроники

Максимальная рабочая температура

180оС (отжиг камеры), 80оС (рабочая температура камеры)

Капилляры

кварцевые, опционально стальные,
длина 2 м, с фланцем ¼"Swagelok, прогревается до 150оС
опционально прогрев до 300оС

Потребляемый газовый поток

20 мл/мин

Рабочее давление

1 бар (750 Торр)

Откачная система

высоковакуумный турбомолекулярный насос и диафрагменный форвакуумный насос,
опционально химстойкое исполнение

Мультиканальный вход

4, 8 или 16 канальный вход,
опционально с постоянной прокачкой для уменьшения времени реакции

Встроенный ИК-детектор (NIR) оксида углерода

встроенный оптический детектор СО для каталитических процессов

Требования к компьютеру

Pentium IV, Windows 32 или 64 бит XP, Vista, 7

Интерфейс

1 х LAN

Вводы/выводы (Mini-Lab) - 4 аналоговых входа (-11...+11В, 22 bit)
- 2 аналоговый выхода (0...10В, 12 bit)
- 16 TTL выходные сигналы
Энергопитание 90-264 В / 44-66 Гц
максимальная потр. мощность 800 Вт (при отжиге)

Размеры масс-спектрометрической установки Cirrus 2

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24