Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Centrotherm clean solution > CT-BW Twin

CT-BW Twin Burn/Wet Point-of-Use Abatement

Работа аппарата CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению аппарата CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах. Система включает в себя два реактора (камеры сгорания), работающих в, так называемом, режиме «холодного резервирования» с одной общей секцией увлажнения и одной общей емкостью хранения жидкости. Смысл «холодного резервирования» следующий: при работе первого реактора, второй находится в режиме ожидания, и, в случае остановки первого, вследствие сбоя в системе и/или сервисного вмешательства, гарантированно включается второй. Функция утилизации автоматически передается второму реактору, таким образом, обеспечивается непрерывность процесса в целом.

    
     CT-BW Twin

Преимущества

  • Модульный дизайн.
  • Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
  • Возможность переработки большого количества отложений.
  • Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
  • Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
  • Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
  • Удобство сервисного обслуживания.
  • Соответствие международным требованиям.
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
centrotherm clean solution