Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

CT-BW Twin

CT-BW Twin Burn/Wet Point-of-Use Abatement

Работа аппарата CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению аппарата CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах. Система включает в себя два реактора (камеры сгорания), работающих в, так называемом, режиме «холодного резервирования» с одной общей секцией увлажнения и одной общей емкостью хранения жидкости. Смысл «холодного резервирования» следующий: при работе первого реактора, второй находится в режиме ожидания, и, в случае остановки первого, вследствие сбоя в системе и/или сервисного вмешательства, гарантированно включается второй. Функция утилизации автоматически передается второму реактору, таким образом, обеспечивается непрерывность процесса в целом.


     CT-BW Twin

Преимущества

  • Модульный дизайн.
  • Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
  • Возможность переработки большого количества отложений.
  • Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
  • Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
  • Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
  • Удобство сервисного обслуживания.
  • Соответствие международным требованиям.

Описание скрубберов серии CT-BW (eng.)

Презентация скрубберов серии CT-BW (eng.)