Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Centrotherm clean solution > CT-EW

CT-EW Electrical/Wet Point-of-Use Abatement

Недавно представленная система CT-BW от Centrotherm Clean Solutions разработана в модульном варианте, чтобы отвечать строгим требованиям новых полупроводниковых процессов, а также в других областях применения, таких, как производство солнечных батарей. Благодаря модульной концепции новой системы, секция дожига (В) может быть легко заменена электрическим нагревателем (E). В новой CT-EW серии предусмотрено до четырех независимых входов для выхлопных газов и она относится к этому же семейству оборудования. Возможности серии CT-BW, такие как, высокая эффективность очистки выхлопных газов процессов осаждения и травления, соответствие международным требованиям, высокая устойчивость к коррозии и способность переработать большое количество твердых продуктов реакции, также представлены в серии CT-EW. Нагревательные стержни расположены таким образом, что достигнуто равномерное распределение температуры по всему реактору. Любой из стержней может быть демонтирован и с легкостью очищен.

    
     CT-EW

Преимущества:

  • Производительность 600 л/мин. (включая продувочный газ насоса)
  • Простое обслуживание нагревательных элементов.
  • Модульный дизайн.
  • Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
  • Возможность переработки большого количества отложений.
  • Расширенный интервал периодического обслуживания, легкость удаления осаждений.
  • Полноразмерная секция увлажнителя.
  • Соответствие международным требованиям.
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
CT-EW