Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Centrotherm clean solution > CT-Plasma

CT-Plasma Плазменная и влажная утилизация

Аппарат CT-Plasma – это комбинация из источника плазмы и влажной промывочной секции, которая обеспечивает высокую производительность очистки от фтороуглеродов без сжигания газа. Движущей силой данной разработки было уменьшение выброса фтороуглеродов (C2F6, CF4, C3F8 и пр.), так как эти соединения вносят долю в процесс глобального потепления из-за длительного времени разложения в атмосфере, даже при малых выбросах. Кроме того, так как не требуются ни сжигающий газ, ни большое потребление электрической энергии, себестоимость снижается, по сравнению с другими видами утилизации. Основной концепцией, заложенной в аппарат CT-Plasma, является разложение фтороуглеродов и продуктов их реакции плазмой с последующей немедленной промывкой. Не появляются нежелательные химические соединения после обработки плазмой, нет риска образования фтороводорода в вакуумном насосе, нет риска коррозии и нет риска обратного диффузионного всасывания частиц в камеру процесса.

    
     CT-Plasma

Преимущества:

  • Низкотемпературная плазма с высокой температурой электронов.
  • Требуется только электропитание и никакие другие источники энергии.
  • Высокая плотность энергии.
  • Легкая настройка под требования процесса. 
  • Низкие эксплуатационные расходы.
  • Низкие производственные риски, по сравнению с другими системами, использующими повышенную температуру.

 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
CT-Plasma