Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Квадрупольный масс-спектрометр e-Vision 2 для газового анализа

Масс-спектрометр e-Vision 2 для газового анализа

e-Vision 2 Анализ остаточных газов является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

Применения

  • Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах
  • Диагностика вакуума
  • Мониторинг откачки
  • Мониторинг качества отжига
  • Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере
  • Мониторинг загрязнений в камере
  • В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса
  • В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки

e-Vision 2 подходит для решения огромного числа задач
в вакуумных установках

Оборудование

Сенсор
Проверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10-14 мбар
Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды

Программное обеспечение

  Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору
Встроенное web-приложение для управления и
регистрации данных от e-Vision 2

Easy view
Это программное обеспечение с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:

  • запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
  • графическое представление данных с комментариями
  • управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения
Программное обеспечение Easy View для обработки
данных и управления одновременно несколькими
масс-спектрометрами

Характеристики e-Vision 2

Электроника
Вес (устанавливаемый на фланец) 1,7 кг
Электропитание 24VDC, 2A внешний блок питания 220В/50Гц входит в комплект поставки
Максимально допустимая температура окружающей среды 40 °C и относительная влажность 80%
Протокол связи с компьютером 10/100 Base-T Ethernet, статические или автоматически определяемые IP адреса
Метод регистрации данных Процессор сбора данных, работающий в режиме реального времени
Метод накопления данных
  • ­Аналоговое сканирование, диапазон измеряемых масс - 8, 16, или 32 точки/а.е.м.
  • Сканирование столбчатых диаграмм
  • Регистрация пиков - до 15 пиков/скан
Максимальная скорость регистрации данных < 3 мс на одну точку (для аналогового сканирования)
Командная структура управления Протокол ASCII команд
Энергия электронов 40 или 70 эВ (задаются конфигурацией)
Ток эмиссии 1 мА
Защита катодов Оптоизолированный вход для защиты катода, автоматический контроль подключения к штепсельному соединению
Программное обеспечение

Встроенный web-интерфейс для управления масс-спектрометром и регистрацией данных (использующие произвольный web-браузер и компьютер);
Опционально, программа EasyView

Анализатор
Диапазон измеряемых масс 100 или 200 а.е.м.
Длина фильтра 4" (100 мм)
Детектор чаша Фарадея или
чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов)
Катоды Вольфрамовый или
иридиевый, покрытый окисью тория
Максимальное рабочее давление 1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар)
Чувствительность ионного источника 2*10-4 А/мбар
Минимальное определяемое парциальное давление (накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения) 2*10-11 торр (2,6*10-11 мбар) чаша Фарадея
5*10-14 торр (6,7*10-14 мбар) умножитель
Стабильность ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Температура отжига  250 оС (без электронной части)
Рабочая температура 200 оС (с использованием только чаши Фарадея), температура электроники < 40 оС
150 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники < 40 оС и давление < 1*10-8 мбар
90 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники < 40 оС и давление < 1*10-5 мбар

Размеры e-Vision 2

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24