Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Tegal Corporation > Установки физического осаждения (PVD) > Endeavor AT

Endeavor AT™

Endeavor AT™
Размер пластин: 100 – 200 мм 
Кластерная установка Tegal Endeavor AT™ это современная платформа для традиционного и и реактивного напыления тонких пленок широкого ассортимента материалов, используемых в полупроводниковой промышленности. Сердце системы - запатентованный двухкатодный магнетронный распылительный источник S-Gun™. Разработанный дать инженеру полный контроль за широким спектром параметров процесса, он производит тонкие пленки высокой плотности и чистоты с отличной однородностью при небольших нагрузках. В возможности системы включены двухсторонняя и под прижимом металлизация, высокоплотная силикон-нитридная герметизация, производство пленочных резисторов с контролируемым температурным коэффициентом сопротивления и высокоориентированное покрытие нитрида алюминия для акустических резонаторов с тонкими пленками. Endeavor AT - это наиболее передовая система осаждения для металлизации сверхтонких кремниевых пластин, используемых для передовых устройств с мощными биполярными транзисторами с изолированными затворами (IGBT). 

Endeavor AT™ и EndeavorEUV™ зарегистрированные торговые марки компании Tegal Corporation 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Endeavor AT