Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Tegal Corporation > Установки физического осаждения (PVD) > EndeavorEUV

EndeavorEUV™

EndeavorEUV™
Размер подложки: фотошаблон 6" x 6". 

Кластерная установка Tegal EndeavorEUV™ - это современная платформа для усовершенствованного процесса осаждения буферного, поглощающего и антибликового слоя тонких пленок для масок, используемых в прецизионной фотолитографии (EUVL), размером до 150 кв. мм. Ключевыми моментами в изготовлении масок EUVL являются тщательный контроль за качеством пленок и их чистотой, малая концентрация дефектов осаждения. Запатентованный компанией Tegal магнетронный распылительный источник S-Gun™ показывает превосходные результаты на проверенной в производстве установке Tegal Endeavor. Совместимая со стандартом SMIF, транспортная система разработана для перемещения фотошаблонов только за края, а уникальная "sputter-up" конфигурация позволяет проводить процессы без касания лицевой или обратной стороны фотошаблона. Ни одна другая платформа не предлагает такого уникального решения для ультрачистых технологий. 

 Endeavor™ и EndeavorEUV™ торговые марки Tegal Corporation

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
EndeavorEUV