ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas 2030

Работает в режиме реального времени и осуществляет детектирование в пределах от ppm/ppb. Данный ИК Фурье-спектрометр применяется для непрерывного мониторинга выбросов веществ в окружающую среду, выбросов из дымовых труб, очистки воздуха, контроля автомобильных и дизельных выхлопов и мониторинга селективного каталитического восстановления.

• Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

• Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;

• Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

• Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

• Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

• Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;

• Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.

ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas 2030 HS

Разработан для мониторинга выбросов продуктов горения катализаторов, автомобильных и дизельных двигателей с частотой образцов 5 Гц (с частотой 5 образцов в секунду).

• Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

• Диапазон измерений концентрации: от 100 ppb до 100%;

• Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

• Скорость сканирования: 5 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

• Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

• Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;

• Поток пробы: 1 - 100 л/мин и больше.

ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas Purity

Быстродействующий детектор остаточных примесей, осуществляет детектирование загрязняющих веществ на уровне ppb в таких очищенных газах, как NF3, NH3 и H2.

• Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

• Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;

• Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

• Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

• Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

• Поток продувки: 4 л/мин сверхчистого азота;

• Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.

Датчик MKS-Instruments InDuct FTIR

Экономный и компактный InDuct легко интегрируются в любые технические процессы для обнаружения неисправностей, мониторинга, контроля или определения момента завершения технологического процесса. Предоставляя в реальном времени информацию об абсолютном и относительном парциальном давлении газа, этот датчик идеален для применения в технологических и согласованных процессах. Датчик InDuct свободно подходит к обычным фланцам, вакуумным соединениям и деталям конечного пользователя и изготовителей комплексного оборудования, не требуя никаких манипуляций с образцом.

• Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

• Диапазон измерений концентрации: от 1 ppm (мТорр) до 100% (760 Торр);

• Спектральное разрешение: 2 - 128 см-1;

• Скорость сканирования: 10 скан/сек при разрешении 2 см-1 (зависит от приемника);

• Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс. (не требуется для всех систем);

• Поток продувки: 1,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C.

Детектор момента MKS-Instruments Process Sense завершения очистки камеры

Компактный, недорогой анализатор парциального давления специально сконструирован для определения окончания очистки плазменных камер, используемых как при производстве полупроводников, так и плазменных панелей. В основе Process Sense лежит явление поглощение газом излучения в ИК диапазоне, единственный метод измерений, применимый ко всем процессам плазменной очистки.

• Время отклика: Непрерывный аналоговый отклик с 50 мс обновлением;

• Уровень сигнала: 0 - 10 В;

• Точность калибровки: ± 10%;

• Колебания базовой линии: ≤ 5 мВ в ходе обычной очистки;

• Вакуумная кювета: Нержавеющая сталь;

• Вакуумное соединение: ISO-KF DN40.

SECSTrace для FTIR/NDIR анализа