|
| ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды |
Газовый анализ: ИК Фурье спектрометры (FTIR) и недиспергирующие анализаторы (NDIR)
Датчики, с чувствительностью от ppm/ppb для множества газов, широко применяется в различных отраслях промышленности: мониторинг выбросов из дымовых труб, непрерывный мониторинг выбросов веществ в окружающую среду, мониторинг технологических процессов, мониторинг выбросов формальдегидов и мониторинг процессов очистки.
Инфракрасные Фурье-анализаторы (FTIR)
 |
Работает в режиме реального времени и осуществляет детектирование в пределах от ppm/ppb. Данный ИК Фурье-спектрометр применяется для непрерывного мониторинга выбросов веществ в окружающую среду, выбросов из дымовых труб, очистки воздуха, контроля автомобильных и дизельных выхлопов и мониторинга селективного каталитического восстановления.
-
Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;
-
Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;
-
Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;
-
Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;
-
Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;
-
Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;
-
Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.
|
 |
Разработан для мониторинга выбросов продуктов горения катализаторов, автомобильных и дизельных двигателей с частотой образцов 5 Гц (с частотой 5 образцов в секунду).
-
Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;
-
Диапазон измерений концентрации: от 100 ppb до 100%;
-
Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;
-
Скорость сканирования: 5 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;
-
Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;
-
Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;
-
Поток пробы: 1 - 100 л/мин и больше.
|
|
 |
Быстродействующий детектор остаточных примесей, осуществляет детектирование загрязняющих веществ на уровне ppb в таких очищенных газах, как NF3, NH3 и H2.
-
Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;
-
Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;
-
Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;
-
Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;
-
Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;
-
Поток продувки: 4 л/мин сверхчистого азота;
-
Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.
|
|
 |
Экономный и компактный InDuct легко интегрируются в любые технические процессы для обнаружения неисправностей, мониторинга, контроля или определения момента завершения технологического процесса. Предоставляя в реальном времени информацию об абсолютном и относительном парциальном давлении газа, этот датчик идеален для применения в технологических и согласованных процессах. Датчик InDuct свободно подходит к обычным фланцам, вакуумным соединениям и деталям конечного пользователя и изготовителей комплексного оборудования, не требуя никаких манипуляций с образцом.
-
Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;
-
Диапазон измерений концентрации: от 1 ppm (мТорр) до 100% (760 Торр);
-
Спектральное разрешение: 2 - 128 см-1;
-
Скорость сканирования: 10 скан/сек при разрешении 2 см-1 (зависит от приемника);
-
Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс. (не требуется для всех систем);
-
Поток продувки: 1,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C.
|
Недиспергирующие анализаторы (NDIR)
 |
Компактный, недорогой анализатор парциального давления специально сконструирован для определения окончания очистки плазменных камер, используемых как при производстве полупроводников, так и плазменных панелей. В основе Process Sense лежит явление поглощение газом излучения в ИК диапазоне, единственный метод измерений, применимый ко всем процессам плазменной очистки.
- Время отклика: Непрерывный аналоговый отклик с 50 мс обновлением;
-
Уровень сигнала: 0 - 10 В;
-
Точность калибровки: ± 10%;
-
Колебания базовой линии: ≤ 5 мВ в ходе обычной очистки;
-
Вакуумная кювета: Нержавеющая сталь;
-
Вакуумное соединение: ISO-KF DN40.
|
Программное обеспечение (SECSTrace)
 |
SECSTrace для FTIR/NDIR анализа
Программное обеспечение SECSTrace разработано для мониторинга газового состава в полупроводниковых процессах. Данные отображаются на 4-х графиках и сохраняются в табличной форме в ASCII файлах, которые легко импортируются в большинство программ. |
Если вы решили купить ик Фурье-спектрометр, цена которого зависит от технических возможностей кадой модели в отдельности, свяжитесь с нашим менеджером по телефонам указанным ниже и он поможет вам сделать правильный выбором не переплачивая, а так же сообщит цены на нашу продукцию.
|
|
 |
|
Карта сайта