Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды

Газовый анализ: ИК Фурье спектрометры (FTIR) и недиспергирующие анализаторы (NDIR)

Датчики, с чувствительностью от ppm/ppb для множества газов, широко применяется в различных отраслях промышленности: мониторинг выбросов из дымовых труб, непрерывный мониторинг выбросов веществ в окружающую среду, мониторинг технологических процессов, мониторинг выбросов формальдегидов и мониторинг процессов очистки.

Инфракрасные Фурье-анализаторы (FTIR)

ИК Фурье-спектрометр MKS Instruments multigas 2030

ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas 2030

Работает в режиме реального времени и осуществляет детектирование в пределах от ppm/ppb. Данный ИК Фурье-спектрометр применяется для непрерывного мониторинга выбросов веществ в окружающую среду, выбросов из дымовых труб, очистки воздуха, контроля автомобильных и дизельных выхлопов и мониторинга селективного каталитического восстановления.

  • Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

  • Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;

  • Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

  • Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

  • Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

  • Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;

  • Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.


ИК Фурье-спектрометр MKS Instruments multigas 2030HS

ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas 2030 HS

Разработан для мониторинга выбросов продуктов горения катализаторов, автомобильных и дизельных двигателей с частотой образцов 5 Гц (с частотой 5 образцов в секунду).

  • Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

  • Диапазон измерений концентрации: от 100 ppb до 100%;

  • Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

  • Скорость сканирования: 5 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

  • Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

  • Поток продувки: 0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C;

  • Поток пробы: 1 - 100 л/мин и больше.


MKS Instruments Purity

ИК Фурье-спектрометр (анализатор) MKS Instruments MultiGas Purity

Быстродействующий детектор остаточных примесей, осуществляет детектирование загрязняющих веществ на уровне ppb в таких очищенных газах, как NF3, NH3 и H2.

  • Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

  • Диапазон измерений концентрации: от 10 ppb до 100%;

  • Спектральное разрешение: 0,5 - 128 см-1;

  • Скорость сканирования: 2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1;

  • Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс.;

  • Поток продувки: 4 л/мин сверхчистого азота;

  • Поток пробы: 0,2 - 10 л/мин.


Датчик MKS-Instruments InDuct FTIR

Датчик MKS-Instruments InDuct FTIR

Экономный и компактный InDuct легко интегрируются в любые технические процессы для обнаружения неисправностей, мониторинга, контроля или определения момента завершения технологического процесса. Предоставляя в реальном времени информацию об абсолютном и относительном парциальном давлении газа, этот датчик идеален для применения в технологических и согласованных процессах. Датчик InDuct свободно подходит к обычным фланцам, вакуумным соединениям и деталям конечного пользователя и изготовителей комплексного оборудования, не требуя никаких манипуляций с образцом.

  • Измеряемые газы и пары: Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2;

  • Диапазон измерений концентрации: от 1 ppm (мТорр) до 100% (760 Торр);

  • Спектральное разрешение: 2 - 128 см-1;

  • Скорость сканирования: 10 скан/сек при разрешении 2 см-1 (зависит от приемника);

  • Давление продувки: 20 psig (1,5 бар) макс. (не требуется для всех систем);

  • Поток продувки: 1,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C.


Недиспергирующие анализаторы (NDIR)

Детектор момента MKS-Instruments Process Sense

Детектор момента MKS-Instruments Process Sense завершения очистки камеры

Компактный, недорогой анализатор парциального давления специально сконструирован для определения окончания очистки плазменных камер, используемых как при производстве полупроводников, так и плазменных панелей. В основе Process Sense лежит явление поглощение газом излучения в ИК диапазоне, единственный метод измерений, применимый ко всем процессам плазменной очистки.

  • Время отклика: Непрерывный аналоговый отклик с 50 мс обновлением;
  • Уровень сигнала: 0 - 10 В;

  • Точность калибровки: ± 10%;

  • Колебания базовой линии: ≤ 5 мВ в ходе обычной очистки;

  • Вакуумная кювета: Нержавеющая сталь;

  • Вакуумное соединение: ISO-KF DN40.


Программное обеспечение (SECSTrace)

SECSTrace

SECSTrace для FTIR/NDIR анализа

Программное обеспечение SECSTrace разработано для мониторинга газового состава в полупроводниковых процессах. Данные отображаются на 4-х графиках и сохраняются в табличной форме в ASCII файлах, которые легко импортируются в большинство программ.

Если вы решили купить ик Фурье-спектрометр, цена которого зависит от технических возможностей кадой модели в отдельности, свяжитесь с нашим менеджером по телефонам указанным ниже и он поможет вам сделать правильный выбором не переплачивая, а так же сообщит цены на нашу продукцию.

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
ИК Фурье-спектрометры | Купить инфракрасные Фурье-анализаторы MKS Instruments