Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ MKS Instruments \ Измерители и регуляторы расхода газовых сред (РРГ) \ Встраиваемый газовый блок измерения нарастания газового потока

Встраиваемый газовый блок измерения нарастания газового потока

 

GBROR® Gas Box Rate-of-Rise In Situ Flow Verifier
GBROR®  GBROR увеличивает производительность, производя точную и своевременную диагностику и проверку регулятора расхода газа во время процесса или во время регламентного обслуживания установки. Процессы, которые выигрывают от использования GBROR: CVD, травление и другие процессы, требующие жесткого контроля расхода газа в диапазоне от 2 sccm до 50 slm.
По сравнению с приборами "в камере", которые часто имеют значительные колебания из-за неконтролируемой температуры и состояния поверхности, GBROR обеспечивает высокий уровень достоверности и воспроизводимости. Другие преимущества - это независимость от рода газа, нечувствительность к загрязнению, гибкость и простота установки.

GBR3B Tru-Flo Mass Flow Verifier
GBR3B 

Большое время работы системы
Проверка на месте потока газа без снятия регуляторов расхода газа
Более короткое время измерения по сравнению с любыми другими методами
Быстрая и эффективная диагностика и поиск неисправностей
Улучшенное управление процессами
Точное определение газового потока 1% от ИВ
Широкий диапазон измерений (до 5000 sccm)
Нет рисков загрязнения газовых линий при снятии РРГ

Tru-Flo Mass Flow Verifier является интегрируемым диагностическим инструментом, который обеспечивает проверку на месте массового регулятора расхода газа в полупроводниковых установках. Tru-Flo измеряет скорость нарастания давления в известном объеме при известной температуре, чтобы определить массовый расход в пределах ± 1% от измеряемого значения. Он состоит из небольшого объема, высокоточного датчика давления Баратрон, запорных клапанов и управляющей электроники, которые объединены в одном компактном корпусе. Tru-Flo может быть легко включен в газовую панель установки и соединен с компьютером через RS-232 интерфейс.