Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Высокочастотные генераторы плазмы серии GHW

  

Высокочастотные генераторы плазмы серии GHW

ghw.jpg Серия ВЧ генераторов плазмы GHW - идеальное решение для PECVD, HDPCVD и процессов травления.

 

Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия GHW

МОДЕЛЬ

GHW-12

GHW-25

GHW-50

Частота

13,56 МГц

Стабильность частоты и точность

±0,005%

Выходная мощность и точность
Динамический диапазон

10-1250 Вт

10-2500 Вт

10-5000 Вт

Точность поддержания

> 125 Вт: ±1,5% уставки
< 125 Вт: ±3 Вт

> 250 Вт: ±1,5% уставки
< 250 Вт: ±6 Вт

> 500 Вт: ±1,5% уставки
< 500 Вт: ±10 Вт

Защита при не согласованной нагрузки

автоматическая: отдаваемая мощность ограничивается в течение 0,25 мс в
случае если отраженная мощность достигает запрограммированного уровня

≤16% от номинальной мощности

≤20% от номинальной мощности

Выходная мощность при КСВН
1,1:1

1250 Вт

2500 Вт

5000 Вт

2:1

1000 Вт

2000 Вт

3250 Вт

3:1

650 Вт

1500 Вт

2000 Вт

Требования
Охлаждение

водяное

Рабочая температура

5-35оС

Интерфейс
Цифровой

RS232

Аналоговый

25-pin

Размеры и комплектация
Размер

3,5"x19"x20"
89x483x508 мм

5,25"x19"x20,5"
133x483x521 мм

8,72"x19"x22,1"
221x483x560 мм

ВЧ-разъём

N-тип

N-тип

HN-тип

Вес

14,8 кг

24,9 кг

41,3 кг