Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATH-M

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии АТН-М 

pfeiffer-vacuum ATH Насосы серии АТН-М относятся к классу больших гибридных турбонасосов и сочетают в себе две последовательно выстроенные ступени: турбомолекулярную и молекулярную. Первая ступень обеспечивает высокую скорость откачки и глубокое разряжение, а вторая - большие степени сжатия и широкий диапазон допустимых  давлений на фланце выхлопа.

Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмасляной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.

Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями были обеспечение большого потока откачиваемого газа при высоком давлении на фланце всасывания (для случаев большого газовыделения в объёме) и способность достигать глубокого разряжения (8*10-9 мбар), а также минимальные гидродинамические потери. Ротор и статор изготавливаются высокоточным фрезерованием (+/- 1 мкм) из цельной заготовки, благодаря чему исключены дисбалансы и остаточные напряжения металла в местах крепления лопастей.

Основные области применения:

- Осаждение покрытий
- плавильные печи
- глубокое травление микромеханических элементов
- ионная ректификация
- ионное травление
- электронная микроскопия
- имитация космического пространства
- ускорители частиц
- производство полупроводников
- научные исследования и т.п.

АТН-М одна из самых надёжных систем в своём классе. Конструкция насоса не имеет механически изнашивающихся деталей, что исключает периодическое обслуживание. Даже в случае аварийного отключения сетевого питания во время вращения ротора система авторотации обеспечит плавную его парковку. При этом не требуется источник бесперебойного питания, так как система использует энергию вращения ротора. Единственный элемент, который может потребовать замены - резервные роликовые подшипники торможения. Они включены в конструкцию насоса на случай непроизвольного отсоединения работающего насоса от контроллера либо обширного прорыва атмосферы в откачиваемый объём. В этих двух экстренных случаях резервные подшипники обеспечат безопасное торможение ротора. Ресурс подшипников - до 10 торможений. О необходимости их замены подскажет контроллер.

Система автоматической балансировки:

514090821_7

Роторы насосов серии АТН-М снабжены системой автоматической балансировки по 5-ти осям. Балансировки осуществляются в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.

 

Система предотвращения внутренних конденсаций

Гибридные высоковакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии HiPace M

Продувка инертным газом является стандартной системой для всей серии АТН-М. Её следует задействовать в случае откачки тех сред, которые содержат коррозионные газы либо легкоосаждаемые субстанции. При вдувании, инертный газ проходит через область подшипников и соединяется с откачиваемой средой на уровне нижнего фланца молекулярной ступени, препятствуя, таким образом, попаданию откачиваемой среды под юбку ротора и, как следствие, возникновению осаждений и коррозии в наиболее чувствительных областях насоса.

Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН-М

Модель ATH
500M
ATH 1300 M
ATH 1300 MT
ATH 160M
ATH 1600 MT
ATH 2303 M
ATH 2300 MT
ATH 2804 M
ATH 2804 MT
ATH 3204 M
ATH 3204 MT
Скачать брощюру PDF (EN) скачать
скачать скачать
скачать
скачать скачать
Фото насоса pfeiffer-vacuum ATH 500 M pfeiffer-vacuum ATH 1300 M pfeiffer-vacuum ATH 1603 M pfeiffer-vacuum ATH 2303 M pfeiffer-vacuum ATH 2804 M pfeiffer-vacuum ATH 3204 M
Габаритные размеры pfeiffer-vacuum ATH 500 M-razmeri pfeiffer-vacuum_ath_1300_m-razmeri pfeiffer-vacuum ATH 1603 M-razmeri pfeiffer-vacuum ATH 2303 M-razmeri pfeiffer-vacuum ATH 2804 M-razmeri pfeiffer-vacuum ATH 3204 M-razmeri
Откачные кривые 
N2 - чёрная кривая 
He - синяя кривая 
H2 - красная кривая 
Ar - зелёная кривая
pfeiffer-vacuum ATH 500 M-otkacka pfeiffer-vacuum_ath_1300_m-otkacka pfeiffer-vacuum ATH 1603 M-otkacka pfeiffer-vacuum ATH 2303 M-otkacka pfeiffer-vacuum ATH 2804 M-otkacka pfeiffer-vacuum ATH 3204 M-otkacka
Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)


550
390
190
530


920
810
490
920


1400
970
540
1350


2150
1800
1100
2000

2350
2300
1650
2350

3050
2500
1700
2900
Фланец
- всасывания
- выхлопа, ISO-KF

DN100/DN160
DN25

DN160/DN200
DN40

DN200/DN250
DN40

DN250
DN40

DN250
DN40

DN320
DN40
Предельное разряжение, мбар < 1 10-8 < 6 10-9 < 6 10-9 < 6 10-9 < 6 10-9 < 6 10-9
Максимальное рабочее давление на выхлопе, мбар 2,6 1,5 1,7 2,9 3,4 3,0
Скорость вращения ротора, об/мин 50 000 39 000 39 000 31 000 25 000 25 000
Тип охладения Водяное Водяное Водяное Водяное Водяное Водяное
Вес (кг) 17-18 34 42 60 98 80
Контроллер OBC OBC OBC/Magpower OBC/Magpower OBC OBC

*МТ - прогреваемая версия (Для особо химически активных сред рекомендуется применять насосы версии ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку для более эффективного предотвращения осаждения на внутренней поверхности насоса).