Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки лёгких газов

Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газов 

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATP M  Насос ATP2300M это высокопроизводительное решение, применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 3000 см3/мин по азоту). Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
  • ионная имплантация
  • HDPCVD процессы
  • напыление
  • напыление тонкоплёночных покрытий
  • научные исследования и прочее

Особенности и преимущества

  • высокое среднее время наработки на отказ
  • низкий уровень шума и вибраций
  • абсолютно безмасляный вакуум
  • компактные размеры
  • магнитный подвес не требующий обслуживания
  • установка в любой ориентации
  • регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
  • модификация со встроенным контроллером

Технические характеристики

Характеристика

ед. изм.

ATP 2300M


Присоединительный фланец

 

DN200

ISO F, CF

DN250

ISO F, CF

Скорость откачки по

N2

л/сек

1250

1750

Ar

1200

1650

He

1700

1800

H2

1700

1700

Степень сжатия по

N2

 

108

Ar

108

He

105

H2

7*103

Частота вращения

об/мин

31 000

Минимальное остаточное давление

мбар

10-9

Макс. давление на входе

0,05

Макс. давление на выхлопе

1,5

Расход воды на охлаждение

л/час

60

Габаритные размеры

высота

мм

290

диаметр

315

Масса

кг

52