Гибридные турбонасосы на магнитном подвесе серии АТН-М
Насосы серии АТН-М относятся к классу больших гибридных турбонасосов и сочетают в себе две последовательно выстроенные ступени: турбомолекулярную и молекулярную. Первая ступень обеспечивает высокую скорость откачки и глубокое разряжение, а вторая - большие степени сжатия и широкий диапазон допустимых давлений на фланце выхлопа.
Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмасляной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.
Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями были обеспечение большого потока откачиваемого газа при высоком давлении на фланце всасывания (для случаев большого газовыделения в объёме) и способность достигать глубокого разряжения (8∙10-9 мбар), а также минимальные гидродинамические потери. Ротор и статор изготавливаются высокоточным фрезерованием (+/- 1 мкм) из цельной заготовки, благодаря чему исключены дисбалансы и остаточные напряжения металла в местах крепления лопастей.
АТН-М одна из самых надёжных систем в своём классе. Конструкция насоса не имеет механически изнашивающихся деталей, что исключает периодическое обслуживание. Даже в случае аварийного отключения сетевого питания во время вращения ротора система авторотации обеспечит плавную его парковку. При этом не требуется источник бесперебойного питания, так как система использует энергию вращения ротора. Единственный элемент, который может потребовать замены - резервные роликовые подшипники торможения. Они включены в конструкцию насоса на случай непроизвольного отсоединения работающего насоса от контроллера либо об-ширного прорыва атмосферы в откачиваемый объём. В этих двух экстренных случаях резервные подшипники обеспечат безопасное торможение ротора. Ресурс подшипников - до 10 торможений. О необходимости их замены подскажет контроллер.
Основные области применения
- Осаждение покрытий
- плавильные печи
- глубокое травление микромеханических элементов
- ионная ректификация
- ионное травление
- электронная микроскопия
- имитация космического пространства
- ускорители частиц
- производство полупроводников
- научные исследования и т.п.
Система автоматической балансировки
Роторы насосов серии АТН-М снабжены системой автоматической балансировки по 5-ти осям. Балансировки осуществляются в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.
Система предотвращения внутренних конденсаций
Продувка инертным газом является стандартной системой для всей серии АТН-М. Её следует задействовать в случае откачки тех сред, которые содержат коррозионные газы либо легкоосаждаемые субстанции. При вдувании, инертный газ проходит через область подшипников и соединяется с откачиваемой средой на уровне нижнего фланца молекулярной ступени, препятствуя, таким образом, попаданию откачиваемой среды под юбку ротора и, как следствие, возникновению осаждений и коррозии в наиболее чувствительных областях насоса.
Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН-М
|
Характеристика
|
|
Ед. изм.
|
ATH 400 M
|
ATH 1300 M
|
ATH 1600 M
|
ATH 2300 M
|
|
|
|
|
ATH 400 MT
|
ATH 1300 MT
|
ATH 1600 MT
|
ATH 2300 MT
|
|
Скорость вращения ротора
|
об/мин
|
39000
|
34000
|
39000
|
31000
|
|
Фланец на всасывании
|
|
|
DN
100
ISO-K
|
DN
160
ISO-K
|
DN
160 ISO-K
|
DN
200 ISO-K
|
DN
200 ISO-K
|
DN
250 ISO-K
|
DN
250
ISO-F
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N2
|
л/с
|
320
|
410
|
920
|
1250
|
1400
|
1500
|
2100
|
|
Скорость откачки по:
|
He
|
л/с
|
290
|
360
|
810
|
850
|
1150
|
1150
|
2200
|
|
|
H2
|
л/с
|
180
|
230
|
490
|
550
|
750
|
750
|
1200
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N2
|
|
1∙107
|
1∙107
|
6∙107
|
1∙108
|
|
Степень сжатия по:
|
He
|
|
2∙103
|
2∙103
|
8∙103
|
1∙104
|
|
|
H2
|
|
1∙102
|
1∙102
|
3∙102
|
5∙102
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Минимальное остаточное давление
|
мбар
|
8∙10-9
|
8∙10-9
|
6∙10-9
|
4∙10-9
|
|
Расход продувочного газа
|
ст.см3/мин
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
Макс. давление на всасывании N2
|
мбар
|
1
|
0.5
|
0.2
|
0.15
|
|
Макс. давление на выхлопе N2
|
мбар
|
2
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
|
Макс. откачиваемый поток
|
ст.см3/мин
|
2000
|
3000
|
2500
|
2500
|
|
Макс. прогрев (исполнение МТ)
|
°С
|
75
|
75
|
75
|
75
|
|
Макс. температура на всасывании
|
°С
|
120
|
120
|
120
|
120
|
|
Эл.питание для прогрева
|
|
От 100 до 120В - 50/60Гц или от 200 до 240В- 50/60 Гц
|
|
Уровень вибрации
|
мкм
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
|
Параметры охлаждающей воды
|
|
Расход <1л/мин, температура от 15°C до 25°C
|
|
Рабочее положение
|
|
Любое
|
|
Выхлопной / Фланец продувки
|
|
DN40 / продувка -DN16
|
|
Время запуска
|
Мин
|
<3
|
<5
|
<6
|
<10
|
|
Вес турбины
|
кг
|
19
|
34
|
35,5
|
46
|
|
Контроллер
|
|
ACT 600 M
|
ACT 1300 M
|
ACT 1300 M
|
ACT 2300 M
|
|
Вес контроллера
|
кг
|
8
|
8
|
8
|
8
|
|
Пусковая потребляемая мощность
|
ВА
|
650
|
650
|
650
|
650
|
|
Номинальная потребляемая мощность
|
Вт
|
300
|
300
|
300
|
350
|
|
Питание контроллера
|
|
От 100 до 240В -50/60Гц- однофазное
|
