Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды > InDuct

InDuct экономный и компактный инфракрасный газовый Фурье-датчик

MKS Instruments InDuct FTIR

Экономически выгодные, компактные FTIR-датчики InDuct легко интегрируются в любые технические процессы для обнаружения неисправностей, мониторинга, контроля или определения момента завершения технологического процесса. Предоставляя в реальном времени информацию об абсолютном и относительном парциальном давлении множества газов, данный сенсор идеален для применения в технологических и согласованных процессах. Датчик InDuct свободно подходит к обычным фланцам, вакуумной арматуре и деталям конечного пользователя и изготовителей комплексного оборудования, не требуя никаких манипуляций с образцом.
Концентрация газа может быть измерена от процентов (Торр) до ppm (мТорр) с использованием только двух смотровых оптических портов для согласованных процессов. InDuct не требует никаких других электронных или иных компонентов и может работать при давлениях от мТорр до атмосферного и выше, без каких-либо оптических модификаций. Для большинства применений датчик регистрирует данные непрерывно без перекалибровки и/или установки на «ноль». Новейшая электроника, программное обеспечение и оптический дизайн обеспечивают одинаковый количественный выход для всех датчиков. Так как все анализаторы вырабатывают одинаковый отклик при одинаковом парциальном давлении газа, этот датчик идеален для согласованных процессов. Кроме того, датчики InDuct прекрасно подходят для определения и контроля момента завершения травления, а также выявления неполадок.

Возможности и преимущества

  • Чувствительность при давлениях от мТорр до Торр для большинства газов, включая летучие органические вещества, кислоты, щелочи, гибриды и перфторуглероды
  • Анализ более чем 30 газов
  • Встроенная библиотека калибровочных спектров делает ненужными дорогостоящие газовые баллоны
  • Простота в установке: легко сочетается с обычными фланцами, вакуумной арматурой и деталями

Применения

  • Мониторинг, развитие, оптимизация и контроль полупроводниковых и современных тонкопленочных процессов осаждения, включая CVD, ALD и PVD (процессы лазерного, вакуумного осаждения и химического осаждения из паровой фазы), процессов травления, включая определение момента завершения, процессов литографии
  • Мониторинг газоочистки и очистки воздуха
  • Мониторинг выбросов из дымовых труб
  • Анализ примесных процессов
  • Выхлопные газы

 

сравнение отклонения газовых кривых процесса с условиями процесса

На рисунке 1 представлен пример того, как InDuct обнаруживает ошибку в технологическом процессе. Данный график изображает разновидность некоторого газового процесса в ходе стандартного травления подложки (в центре) и отклонения, вызванные появлением ошибок (выше и ниже). Верхняя линия есть результат плохого крепления подложки, нижняя линия вызвана утечкой воздуха 5 см3/мин.

ИК спектр, демонстрирующий различные виды газов в ходе процесса травления подложки

На рисунке 2 демонстрируется возможность InDuct наблюдать сразу за множеством различных газов во время процесса травления.

 
ИК спектр, демонстрирующий различные виды газов в ходе процесса травления подложки

Количественные данные о каждом компоненте могут отображаться графически и численно или передаваться в процесс в аналоговом или цифровом виде. Как показано на рисунке 3, одновременно на экране отображаются шесть газовых линий. Концентрации других газов приводятся в таблице и хранятся в файле. Пользователь полностью контролирует переключение между временными линиями, текущим спектром и таблицей данных.

 

Характеристики ИК Фурье-датчика InDuctTM


Измерение

Метод измерений

Инфракрасная Фурье-спектрометрия

Измеряемые газы и пары

Большинство молекул, кроме N2, H2, F2 и O2

Диапазон измерений концентрации

от 1 ppm (мТорр) до 100% (760 Торр)

Модель Фурье-спектрометра

BrikTM Process FTIR

Спектральное разрешение

2 - 128 см-1

Скорость сканирования

10 скан/сек при разрешении 2 см-1 (зависит от приемника)

Время сканирования

0,3 - 200 сек

ИК источник

карбид кремния SiC (12000C)

Опорный лазер

гелий-неоновый (15798,2 см-1)

Детектор (приемник)

MCT - Mercury-Cadmium-Telluride (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) с термоэлектрическим охлаждением


Анализатор

Габаритные размеры

17,5" x 9,5" x 7"

Установка

На фланец или трубопровод с выносным пультом питания

Вес

8,18 кг - датчик, 9,09 кг - контроллер

Давление продувки

20 psig (1,5 бар) макс. (не требуется для всех систем)

Поток продувки датчика

1,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C

Датчик давления

Баратрон

Фланцы подключения продувки

1/8" трубка

Требования к компьютеру

настольный или ноутбук Intel Pentium® PC с Microsoft® Windows® 95/98/NT/2000/Me/XP и XGA монитором (1024 x 768)

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
InDuct - инфракрасный газовый Фурье-датчик