Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ MKS Instruments \ Измерители и регуляторы расхода газовых сред (РРГ)

Регулятор расхода газа (РРГ)

Расходомер потока газа и регулятор расхода газа (РРГ) от MKS Instruments

Регулятор расхода газа в разрезе

На рисунке представлен универсальный регулятор расхода газа (РРГ) в разрезе.

Данные приборы обеспечивают измерение и регулирование расхода газа с точностью от 1% до 0,5% от верхнего предела (ВП) в диапазоне от 0,001 стандартных см3/мин до 300 стандартных л/мин. Массовый расход газа определяется в единицах объёмного расхода при стандартных условиях: температуре 0°С и давлении 1 атм, т.е. прибор всегда измеряет расход газа в приведённых к стандартным условиям единицах объёма, что однозначно соответствует массовому расходу газа. Приборы изготавливаются и калибруются в соответствии с нормами ISO 9001.

В отличие от ротаметров, турбинных расходомеров и других устройств измерения, расходомеры потока газа компании MKS Instruments определяют непосредственно массовый расход. Точность и повторяемость их измерений не зависит от изменения температуры и давления газа на входе в прибор.

Расходомер потока газа включают в себя первичный блок (измеритель/регулятор расхода газа), вторичный блок (электронный модуль) и соединительные кабели.

mks instruments 179Измерители расхода газа

179D - полностью металлический
180A - цифровой полностью металлический
579B - на большие потоки до 300 slm


mks instruments 1179

Регуляторы с эластомерными уплотнениями

1179D - классический РРГ
2179D - РРГ с отсечным клапаном
1579B - РРГ на большие потоки до 300 slm


mks instruments P2 MFCРегуляторы с металлическими уплотнениями

1479D - универсальный регулятор расхода газа (РРГ)
1480A ALTA - цифровой
MC20 ALTA - цифровой высокоточный
P4B - цифровой, программируемый
PFC-20 πMFC - цифровой, для процессов с низким перепадом давления
PFC-50 πMFC - цифровой


mks instruments 1640Регуляторы на основе перепада давления

Серия 1640A - полностью металлический, использующий принцип измерения перепада давления
Серия 1150C - применяется принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через диафрагму
Серия 1152C - применяется принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через трубку с ламинарным потоком
Серия VoDM - Модуль подачи водяного пара


mks instruments DELTA IIКонтролер регулирования соотношения потоков

• Серия DELTA II

Электронные блоки питания и индикации

Данные блоки предназначены для электрического питания измерителей/регуляторов расхода газа и для индикации текущего потока. Большинство блоков запитываются напряжением 220 В. Одноканальные блоки работают с одним датчиком, многоканальные - с несколькими одновременно.

MKS Instruments PR4000 PR4000B - одноканальный или двухканальный микропроцессорный блок питания и индикации. Может работать как с Баратронами, так и с измерителями и регуляторами расхода. Имеет стандартный компьютерный интерфейс RS232. Индикация 4,5 знакоместа, две блокировки, выбор единиц измерения, запоминание мин/мах значений, сенсорная клавиатура, сохранение настроек в памяти.


MKS Instruments 247D247D - четырёхканальный блок (модель 246 для 4 каналов). Индикация каналов последовательным переключением. Режимы: независимое поканальное регулирование расхода, пропорциональный смеситель газов, ведомый/ведущий (все каналы зависят от одного, по которому происходит управление).


MKS Instruments 647C647C - многоканальный электронный блок на базе микропроцессора. 4..8 каналов по расходу и 1 канал по давлению. Управление с помощью меню. Хранение в памяти до 70 газов, их символов и ККРГ. Одновременная индикация всех каналов по расходу и канала по давлению. Управление каналов расхода независимое или в определенном соотношении. Пять конфигураций смесей газов с программируемым ККРГ. Два контакта реле на каждый канал для сигнала тревоги или индикации ухода расхода газа от контрольной точки. Возможность дистанционного управления - порт RS-232 входит в состав прибора. Возможность подачи сигнала на регулятор давления для приведения в действие исполнительного элемента, например, клапана с мотыльковой заслонкой.

Измеритель расхода газа

Классическая методика предполагает наличие одной нагревательной и двух измерительных обмоток, включенных в плечи одного измерительного моста. Напряжение, получаемое с измерительных обмоток, будет обратно пропорционально расходу газа.
Запатентованная методика компании MKS Instruments состоит в следующем. Нагревательные обмотки расположены на сенсорной трубке с ламинарным течением газа. Напряжение, необходимое для поддержания постоянного температурного профиля в этой трубке, пропорционально расходу газа через эту трубку. Каждая обмотка включена в плечи моста, дисбаланс которого при наличии расхода газа компенсируется поступлением в него количества энергии, прямо пропорционального по величине массовому расходу газа.

Расходомер потока газа имеет следующие преимущества:

  • Высокая динамика. Время отклика сенсора на изменение расхода - менее 500 мс, что обеспечивает оперативное регулирование без колебательного процесса.
  • Простой и надежный модуль обработки сигнала. Снимаемое с сенсора напряжение прямо пропорционально расходу, что не требует линеаризации сигнала, как в классической методике.
  • Минимальное влияние изменения температуры окружающей среды на сенсор, т.к. вся его трубка находится в кожухе, где поддерживается постоянная температура (температурное регулирование).
  • Возможно измерение/регулирование расхода вплоть до 140% от ВП (однако в этом случае возможно снижение точности работы прибора)

Как правильно заказать измеритель или регулятор расхода газа (РРГ)

Для заказа большинства моделей вам необходимо учесть:
Верхний предел измерения по азоту в ст.см3/мин (sccm) или в ст.л/мин (slm) из предлагаемого ряда.

Диапазон рабочих температур
Стандартный диапазон: 15 - 45°C. Имеются модели, работающие при повышенных температурах. При заказе уточните необходимый вам диапазон рабочих температур.

Выходной сигнал
Вы можете выбрать прибор с аналоговым выходным сигналом 0..5 В, либо прибор с дополнительным цифровым интерфейсом RS 485, Device Net или Profitbus, USB.

Штуцеры
Вы можете выбрать Swagelok 1/4", Cajon 4 VCR, Cajon 4 VCO, а для моделей на большие расходы - Swagelok 1/2", Cajon 8 VCR, Cajon 8 VCO. Подумайте, есть ли у вас подходящая арматура для этих штуцеров. Вы можете заказать ее вместе с нашим оборудованием.

Уплотнения
Компания MKS Instruments предлагает несколько видов уплотнений для газов различной степени агрессивности: Viton, Neoprene, Buna-N, Kalrez. Существуют полностью металлические приборы. Если вы не уверены в своем выборе, сообщите нам, с какими газами вы работаете, и мы поможем вам сделать правильный выбор.

Кабели
При покупке регуляторов и расходомеров необходимо предусмотреть закупку соединительных кабелей между этими датчиками и их электронными блоками. Компания "MKS" предлагает кабели стандартной длины 3 м. Если вам необходима другая длина кабеля, укажите ее в вашем заказе.

Монтаж
Компания "MKS Instruments" рекомендует монтировать регуляторы и расходомеры в горизонтальном положении (горизонтальная линия протока).
При использовании приборов на газовых линиях, питающихся напрямую от баллона с газом, или при использовании сомнительных по чистоте баллонов (даже с установленным фильтром грубой очистки) рекомендуется установить перед прибором защитный фильтр (ячейка 1..10 мкм) для предотвращения его закупоривания.

Выбор верхнего предела в зависимости от рода газа
Все приведенные ниже характеристики расходомеров и регуляторов расхода газа даны для приборов, калиброванных по азоту. При работе с иными газами для правильного выбора ВП прибора необходимо учесть коэффициент коррекции рода газа (ККРГ).

Пример 1. Необходимо регулировать массовый расход газа СО2 в диапазоне до 100 ст.см3/мин.
Определяем ВП в азотном эквиваленте, используя коэффициент коррекции рода газа (ККРГ), который для СОравен 0,74.
100 (ст.см3/мин) /0,74 = 135 ст.см3/мин в азотном эквиваленте.
Наиболее близкий сверху ВП для регулятора 1259 будет 200 ст.см3/мин.
Пример 2. Дан расходомер с ВП, равным 1000 ст.см3/мин, измеряющий расход азота.
Каков будет максимальный измеряемый расход (ВП) по аргону?
ККРГ для аргона К=1,45.
1000 ст.см3/мин х 1,45= 1450 ст.см3/мин по аргону.

ПРИМЕЧАНИЕ: если ваш рабочий газ имеет плотность большую, чем азот (1,25 кг/м3 при 0°C), необходимо дополнительно уточнить у представителей компании рекомендации по выбору ВП.

Таблица значений коэффициентов коррекции рода газа (ККРГ) - Скачать PDF или посмотреть на сайте MKS:
http://www.mksinst.com/docs/ur/MFCGasCorrection.aspx

В компании "БЛМ Синержи" вы можете заказать расходомер потока газа с доставкой в любой регион России.