Измеритель расхода газа
Классическая методика предполагает наличие одной нагревательной и двух измерительных обмоток, включенных в плечи одного измерительного моста. Напряжение, получаемое с измерительных обмоток, будет обратно пропорционально расходу газа.
Запатентованная методика компании MKS Instruments состоит в следующем. Нагревательные обмотки расположены на сенсорной трубке с ламинарным течением газа. Напряжение, необходимое для поддержания постоянного температурного профиля в этой трубке, пропорционально расходу газа через эту трубку. Каждая обмотка включена в плечи моста, дисбаланс которого при наличии расхода газа компенсируется поступлением в него количества энергии, прямо пропорционального по величине массовому расходу газа.
Конструкция измерителей и регуляторов расхода имеет следующие преимущества:
- Высокая динамика. Время отклика сенсора на изменение расхода - менее 500 мс, что обеспечивает оперативное регулирование без колебательного процесса.
- Простой и надежный модуль обработки сигнала. Снимаемое с сенсора напряжение прямо пропорционально расходу, что не требует линеаризации сигнала, как в классической методике.
- Минимальное влияние изменения температуры окружающей среды на сенсор, т.к. вся его трубка находится в кожухе, где поддерживается постоянная температура (температурное регулирование).
- Возможно измерение/регулирование расхода вплоть до 140% от ВП (однако в этом случае возможно снижение точности работы прибора)
Как правильно заказать измеритель или регулятор расхода газа
Для заказа большинства моделей регуляторов расхода газа или расходомеров вам необходимо учесть:
Верхний предел измерения по азоту в ст.см3/мин (sccm) или в ст.л/мин (slm) из предлагаемого ряда.
Диапазон рабочих температур
Стандартный диапазон: 15 - 45°C. Имеются модели, работающие при повышенных температурах. При заказе уточните необходимый вам диапазон рабочих температур.
Выходной сигнал
Вы можете выбрать прибор с аналоговым выходным сигналом 0..5 В, либо прибор с дополнительным цифровым интерфейсом RS 485, Device Net или Profitbus, USB.
Штуцеры
Вы можете выбрать Swagelok 1/4", Cajon 4 VCR, Cajon 4 VCO, а для моделей на большие расходы - Swagelok 1/2", Cajon 8 VCR, Cajon 8 VCO. Подумайте, есть ли у вас подходящая арматура для этих штуцеров. Вы можете заказать ее вместе с нашим оборудованием.
Уплотнения
Компания MKS Instruments предлагает несколько видов уплотнений для газов различной степени агрессивности: Viton, Neoprene, Buna-N, Kalrez. Существуют полностью металлические приборы. Если вы не уверены в своем выборе, сообщите нам, с какими газами вы работаете, и мы поможем вам сделать правильный выбор.
Кабели
При покупке регуляторов и расходомеров необходимо предусмотреть закупку соединительных кабелей между этими датчиками и их электронными блоками. Компания "MKS" предлагает кабели стандартной длины 3 м. Если вам необходима другая длина кабеля, укажите ее в вашем заказе.
Монтаж регуляторов расхода газа и расходомеров
Компания "MKS Instruments" рекомендует монтировать регуляторы и расходомеры в горизонтальном положении (горизонтальная линия протока).
При использовании регуляторов расхода газа на газовых линиях, питающихся напрямую от баллона с газом, или при использовании сомнительных по чистоте баллонов (даже с установленным фильтром грубой очистки) рекомендуется установить перед прибором защитный фильтр (ячейка 1..10 мкм) для предотвращения его закупоривания.
Выбор верхнего предела в зависимости от рода газа
Все приведенные ниже характеристики расходомеров и регуляторов расхода газа даны для приборов, калиброванных по азоту. При работе с иными газами для правильного выбора ВП прибора необходимо учесть коэффициент коррекции рода газа (ККРГ).
Пример 1. Необходимо регулировать массовый расход газа СО2 в диапазоне до 100 ст.см3/мин.
Определяем ВП в азотном эквиваленте, используя коэффициент коррекции рода газа (ККРГ), который для СО2 равен 0,74.
100 (ст.см3/мин) /0,74 = 135 ст.см3/мин в азотном эквиваленте.
Наиболее близкий сверху ВП для регулятора 1259 будет 200 ст.см3/мин.
Пример 2. Дан расходомер с ВП, равным 1000 ст.см3/мин, измеряющий расход азота.
Каков будет максимальный измеряемый расход (ВП) по аргону?
ККРГ для аргона К=1,45.
1000 ст.см3/мин х 1,45= 1450 ст.см3/мин по аргону.
ПРИМЕЧАНИЕ: если ваш рабочий газ имеет плотность большую, чем азот (1,25 кг/м3 при 0°C), необходимо дополнительно уточнить у представителей компании рекомендации по выбору ВП.
Таблица значений коэффициентов коррекции рода газа (ККРГ) - Скачать PDF или посмотреть на сайте MKS:
http://www.mksinst.com/docs/ur/MFCGasCorrection.aspx
|
