Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Клапаны и шиберы

Высоковакуумные клапаны HPS

Отделение HPS компании MKS Instruments выпускает широкую гамму вакуумных клапанов и вакуумной арматуры. Оборудование HPS успешно применяется во многих областях вакуумной техники и технологии.
Тщательная обработка рабочих поверхностей и отработанная процедура очистки поверхности уменьшает до минимума дегазацию и утечки. Оборудование для высокого вакуума проходят специальную очистку и запечатываются в специальную упаковку, сохраняющую чистоту продукции до момента установки.

Одноступенчатые клапаны

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

150/160

MKS_14_01

Универсальные клапаны серий 150/160 предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Клапаны обладают большим ресурсом работы: более 1,000,000 циклов до обслуживания, успешно используются в полупроводниковой, химической промышленности, а также в исследовательских областях.
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 16-160
Варианты исполнения - угловые (серия 150), линейные (серия 160).

LoPro

MKS_14_02

Серия сильфонных тарельчатых клапанов LoPro отличается компактностью, что позволяет легко интегрировать их в откачную систему.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Возможен как пневматический, так и ручной привод.
Комплектуются уплотнителями: витон,силикон, Buna-N, Kalrez, Chemraz
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 25-50

Cv

MKS_14_03

Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF

ECv

MKS_14_04

Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Электромагнитный привод обеспечивает быструю и бесшумную реакцию на управляющий сигнал.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1,000,000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.

UHV

MKS_14_05

Клапаны серии UHV разработаны для использования в высоковакуумных областях, для физики высоких энергий, масс-спектрометрии и других областях, требующих применения сверхчистого оборудования. Внутренняя поверхность клапана обработана посредством электрополировки, все уплотнения выполнены полностью из метала.

Многоступенчатые клапаны

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

V2

MKS_14_06

Двухступенчатые клапаны серии V2 применяются для решения проблем откачки. Двухступенчатый клапан открывает сначала малый поток газа, а затем большой, что позволяет избежать образования турбулентности, обеспечивает плавную откачку.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-100

LPV2

MKS_14_07

Двухступенчатые клапаны серии LoPro применяются в системах, требующих компактной установки в системах со сложной интеграцией компонентов. Клапаны обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.

IntegratedLoPro

MKS_14_08

Тарельчатый клапан серии Integrated LoPro интегрирован в один модуль вместе с байпасным клапаном. Клапаны этой серии могут заменить байпасную линию, и обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.

Клапаны с подогревом

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

Jalapeno

MKS_14_09

Одно- и двухступенчатые клапаны серии Jalapeno предназначены для высокотемпературных процессов, при работе с такими средами, как нитриды, используются в полупроводниковой промышленности.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ДУ50-100 ISO-KF, ISO-MF

170/180

MKS_14_10

Серия клапанов 170/180 специально разработана для работы со средами, такими как хлористый аммоний, способными застывать на поверхностях клапаны при нормальных условиях. Аналог серии 150/160, с подогревом корпуса до 80°С.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: 1,5", 2" ISO-KF, 3" ISO-Universal

V-100

MKS_14_11

Серия клапанов V-100 по характеристикам полностью аналогична серии 170/180.
Фланцы: 4" ISO-KF
Варианты исполнения - линейные, угловые.

JLoPro

MKS_14_12

Клапаны серии Jalapeno LoProпредназначены для изоляции линий откачки и ловушек, предотвращают сублимацию веществ, увеличенный период обслуживания от 2-х до 12-ти недель или от 20 до 145 запусков.
Фланцы: ДУ25-50 ISO-KF

Изолирующие клапаны

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

IDA

In Situ

MKS_14_13

Клапаны серии IDA In Situ совмещают функции отсечного клапана, предохраняющего датчики (Баратрон) от превышения давления, клапана для установки нуля и периодической поверки Баратрона без его демонтажа, а также для диагностики камеры, в которой установлен датчик.

Cv

MKS_14_03

Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF

ECv

MKS_14_04

Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1,000,000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.

Специальные клапаны

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

145

MKS_14_16

Клапан 145 SENTRY - автоматический клапан безопасности, не требующий внешних команд. Предназначен для поддержания камеры под вакуумом в случае отключения электрического питания на насосах. При остановке форвакуумного насоса открывается сервоклапан, который наполняется воздухом до давления 1 атм и не позволяет маслу подняться в форвакуумный насос. Фланцы: ДУ 25, 40, 50.

225

MKS_14_17

Клапан 225 AUTO-SOFT - клапан с переменной проводимостью, экономичное устройство обеспечения плавного начала откачки. Сокращает турбулентность, энергонезависим. Типичное увеличение времени откачки в 3 раза. Клапаны этой серии находят свое применение в полупроводниковой промышленности и производстве тонких пленок, заменяя управляемые байпасные клапаны. ДУ 40, 50.


Шиберы высоковакуумные серии HV и сверхвысоковакуумные серии UHV

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

HV

ISO DN 16 - 250

 

MKS_14_14

  • Корпус выполнен из алюминиевого сплава
  • Уплотнение: Viton
  • Индикация положения заслонки затвора
  • Уровень негерметичности: <10-9 мбар*л/ с
  • Рабочий диапазон давлений: 10-7 мбар до 1,2 бар (абс)
  • Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1,2 бар в любом направлении
  • Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
  • Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50 000 циклов
  • Ручное и пневматическое управление приводом затвора
  • Присоединительные фланцы выполнены по стандарту ISO-KF DN 16-50 и ISO-F DN 63-250
  • Ориентация при установке произвольная
  • Отличительная особенность клапана - высокая проводимость
  • При потере давления воздуха в пневмосистеме затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.

UHV

CF-F DN 63 - 250

MKS_14_15

  • Корпус выполнен из нержавеющей стали
  • Уплотнение: Metal / Viton
  • Индикация положения заслонки затвора
  • Уровень негерметичности: <10-9 мбар*л/ с
  • Рабочий диапазон давлений: 10-10 мбар до 1,6 бар (абс)
  • Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1,2 bar в любом направлении
  • Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
  • Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50000 циклов
  • Ручное и пневматическое управление приводом затвора
  • Присоединительные фланцы выполнены по стандарту CF-F по запросу заказчика возможно исполнение ISO-F
  • Ориентация при установке произвольная
  • Отличительная особенность клапана - высокая проводимость
  • При потере давления воздуха в пневмосистеме затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Клапаны и шиберы MKS Instruments