Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

150/160

Универсальные клапаны серий 150/160 предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Клапаны обладают большим ресурсом работы: более 1,000,000 циклов до обслуживания, успешно используются в полупроводниковой, химической промышленности, а также в исследовательских областях.
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 16-160
Варианты исполнения - угловые (серия 150), линейные (серия 160).

LoPro

Серия сильфонных тарельчатых клапанов LoPro отличается компактностью, что позволяет легко интегрировать их в откачную систему.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Возможен как пневматический, так и ручной привод.
Комплектуются уплотнителями: витон, силикон, Buna-N, Kalrez, Chemraz,
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 25-50

Cv

Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF

ECv

Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Электромагнитный привод обеспечивает быструю и бесшумную реакцию на управляющий сигнал.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.

UHV

Клапаны серии UHV разработаны для использования в высоковакуумных областях, для  физики высоких энергий, масс-спектрометрии и других областях, требующих применения сверхчистого оборудования. Внутренняя поверхность клапана обработана посредством электрополировки, все уплотнения выполнены полностью из метала.

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

V2

Двухступенчатые клапаны серии V2 применяются для решения проблем откачки. Двухступенчатый клапан открывает сначала малый поток газа, а затем большой, что позволяет избежать образования турбулентности, обеспечивает плавную откачку.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-100

LPV2

Двухступенчатые клапаны серии LoPro применяются в системах, требующих компактной установки в системах со сложной интеграцией компонентов. Клапаны обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.

Integrated LoPro

В тарельчатый клапан серии Integrated LoPro интегрирован в один модуль вместе с байпасным клапаном. Клапаны этой серии могут заменить байпасную линию, и  обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

Jalapeno

Одно- и двухступенчатые клапаны серии Jalapeno предназначены для высокотемпературных процессов, при работе с такими средами, как нитриды, используются в полупроводниковой промышленности.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ДУ50-100 ISO-KF, ISO-MF

170/180

Серия клапанов 170/180 специально разработана для работы со средами, такими как хлористый аммоний, способными застывать на поверхностях клапаны при нормальных условиях. Аналог серии 150/160, с подогревом корпуса до 80°С.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: 1,5", 2" ISO-KF, 3" ISO-Universal

V-100

Серия клапанов V-100 по характеристикам полностью аналогична серии 170/180.
Фланцы: 4"  ISO-KF
Варианты исполнения - линейные, угловые.

JLoPro

Клапаны серии Jalapeno LoPro предназначены для изоляции линий откачки и ловушек, предотвращают сублимацию веществ, увеличенный период обслуживания от 2-х до 12-ти недель или от 20 до 145 запусков.
Фланцы: ДУ25-50 ISO-KF

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

IDA

In Situ

Клапаны серии IDA In Situ  совмещают функции отсечного клапаны, предохраняющего датчики (Баратрон) от превышения давления, клапаны для установки нуля и периодической поверки Баратрона без его демонтажа, а также  для диагностики  камеры, в которой установлен датчик.

Cv

Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до сверхвысокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF

ECv

Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

145

Клапан 145 SENTRY - автоматический клапан безопасности, не требующий внешних команд. Предназначен для поддержания камеры под вакуумом в случае отключения электрического питания на насосах.  При остановке форвакуумного насоса открывается сервоклапан, который наполняется воздухом до давления 1 атм и не позволяет маслу подняться в форвакуумный насос. Фланцы: ДУ 25, 40, 50.

225

Клапан 225 AUTO-SOFT - клапан с переменной проводимостью, экономичное устройство обеспечения плавного начала откачки. Сокращает турбулентность, энергонезависим. Типичное увеличение времени откачки в 3 раза. Клапаны этой серии находят свое применение в полупроводниковой промышленности и производстве тонких пленок, заменяя управляемые байпасные клапаны. ДУ 40, 50.

Серия

Внешний вид

Краткое описание серии и основные технические характеристики

HV

ISO DN 16 - 250

• Корпус выполнен из алюминиевого сплава
• Уплотнение: Viton
• Индикация положения заслонки затвора
• Уровень негерметичности: <10^-9 мбар∙л/ с
• Рабочий диапазон давлений: 1.10^-7 мбар до 1.2 бар (абс)
• Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 бар в любом направлении
• Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
• Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50000 циклов
• Ручное и пневматическое управление приводом затвора
• Присоединительные фланцы выполнены по стандарту ISO-KF DN 16-50 и ISO-F DN 63-250
• Ориентация при установке произвольная
• Отличительная особенность клапана - высокая проводимость
• При потере давления воздуха в пневмосистеме затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.

UHV

CF-F DN 63 - 250

• Корпус выполнен из нержавеющей стали
• Уплотнение: Metal / Viton
• Индикация положения заслонки затвора
• Уровень негерметичности: <10^-9 мбар∙л/ с
• Рабочий диапазон давлений: 1.10^-10 мбар до 1.6 бар (абс)
• Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 bar в любом направлении
• Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
• Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50000 циклов
• Ручное и пневматическое управление приводом затвора
• Присоединительные фланцы выполнены по стандарту CF-F по запросу заказчика возможно исполнение ISO-F
• Ориентация при установке произвольная
• Отличительная особенность клапана - высокая проводимость
• При потере давления воздуха в пневмо-системе затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.