Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Измерители и регуляторы расхода газовых сред (РРГ) > Контролер регулирования соотношения потоков
 
DELTA II Flow Ratio Control
  Оптимизация процессов посредством четкого распределения потока
Оптимизация производительности процесса стала проще с использованием DELTA - регулятора соотношения потоков. Он широко используется в различных применениях, где требуется разделение потоков, таких как травление, стриппинг и PECVD. DELTA предоставляет пользователям возможность распределять газ или смеси газов в две разные зоны в рабочей камере. Подаваемый в DELTA газ или любая газовая смесь разделяется автоматически на два отдельных выходных канала согласно заданному соотношению.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Контролер регулирования соотношения потоков