Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

LAM TCU 20/80

Морозильные установки Trillium серия LAM

lam-2080-chiller

Морозильная установка LAM TCU 20/80 – это двухканальное терморегулирующее устройство, используемое в основном на камерах травления серии LAM 4000. Морозильники 20/80 были разработаны для обеспечения независимого температурного контроля верхних и нижних электродов камеры с помощью одной морозильной установки, работающей на смеси гликоля и ДМ (деминерализованной) воды.
Компания Trillium предоставляет весь спектр услуг, а также восстановленные установки 20/80 с поддержкой клиентов по всему миру. Получая оригинальные запчасти напрямую у компании LAM, компания Trillum имеет возможность предоставлять поддержку на экспертном уровне всему парку существующих установок 20/80.

Эксплуатационные характеристики Lam 20/80

TCU 20/80 Channel Температурный диапазон Расход при 20оC/60 psi Охлаждение -15оC (Ватт) Охлаждение при -20оC Объем емкости
Верхний от +15 оC до +80 оC 3GPM 750 1000 5 Gallons
Нижний от -20 оC до +80 оC 3GPM - 1000 5 Gallons