Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

LAS-LS

LAS-LS - большие, сверхточные, для выравнивания литографической оптики

las-ls

  • Конструируется по заказу для больших сборок система линз типа шаговых линз в микролитографии;
  • длина волны Оптического модуля варьируется от Видимой до ДВИК;
  • ход вертикальной фокусировки до 2000 мм;
  • аэростатический подшипник с ручным или электроприводом 400-800 мм, разрежение по центру;
  • кодовый датчик угла поворота;
  • программное обеспечение "Calculens 3D" и "Calculens Inspection" для измерения центровки пакета линз (заделанных), TIR;
  • разрешение центровки 0,1 мкм, в зависимости от характеристик линз и оптомеханической конструкции;
  • измерение толщины и зазоров по центру.
Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24