Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ > Opto-Alignment > Системы бесконтактных измерений > LAS-LS

LAS-LS - большие, сверхточные, для выравнивания литографической оптики

las-ls

  • Конструируется по заказу для больших сборок система линз типа шаговых линз в микролитографии;
  • длина волны Оптического модуля варьируется от Видимой до ДВИК;
  • ход вертикальной фокусировки до 2000 мм;
  • аэростатический подшипник с ручным или электроприводом 400-800 мм, разрежение по центру;
  • кодовый датчик угла поворота;
  • программное обеспечение "Calculens 3D" и "Calculens Inspection" для измерения центровки пакета линз (заделанных), TIR;
  • разрешение центровки 0,1 мкм, в зависимости от характеристик линз и оптомеханической конструкции;
  • измерение толщины и зазоров по центру.
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
LAS-LS