Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ Продукция \ Вакуумная \ Квадрупольные масс-спектрометры (анализ газовой среды)

Квадрупольные масс-спектрометры

Квадрупольные масс-спектрометры

Аналитическое оборудование для оптимизации технологического процесса и качества.

Предлагаем широкую линейку анализаторов для определения состава газа в вакуумном процессе от таких известных компаний как Pfeiffer Vacuum и MKS Instruments. Наша компания поможет найти правильный подход к проведению анализа газа в широком диапазоне условий - от сверхвысокого вакуума до атмосферного давления - с использованием различных технических средств, от масс-спектрометров до сложных аналитических комплексов.

Pfeiffer Vacuum - PrismaPlus

Квадрупольный масс-спектрометр Pfeiffer Vacuum PrismaPlus

Благодаря сочетанию высокой чувствительности, максимальной устойчивости и интеллектуального функционирования, PrismaPlus является идеальным решением для масс-спектрометрии. Его модульное исполнение создает широкие возможности для применения в производственной и аналитической областях, в сфере НИОКР, при контроле герметичности и в производстве полупроводников, а также в технологиях нанесения покрытий.

Ионизационная камера с поляризованным напряжением
При поляризации ионизационной камеры образуется сигнал с очень низким фоновым уровнем. Катод, выпускающий электроны, имеет положительную поляризацию относительно заземляющей пластины. Конструкция PrismaPlus препятствует десорбции частиц газа от стенок камеры и, таким образом, образованию нежелательного фонового сигнала под воздействием электронно-стимулированной десорбции.

  • Газовый анализ выбросов и общий газовый анализ;
  • Высокая скорость измерения;
  • Стабильность;
  • Взаимозаменяемость анализаторов и электроники;
  • Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума).

PrismaPlus-pdf

Скачать брошюру серии PrismaPlus (eng.)


Pfeiffer Vacuum - HiQuad

Квадрупольный масс-спектрометр Pfifer Vacuum HiQuad

Максимальная производительность при любом количестве задач

HiQuad сочетает в себе высокую производительность, универсальность и простоту использования. Как независимый модуль, HiQuad может быть легко внедрен в Вашу систему в зависимости от решаемой задачи. Высокая скорость измерений – до 125 µс/а.е.м. позволяет проводить очень быстрые измерения.

  • Работа в диапазоне давлений до < 10-4 мбар;
  • Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон;
  • Очень высокая скорость измерения и стабильность;
  • Комплектуются блоком управления, ВЧ генератором и анализатором.

HiQuad-pdf
Скачать брошюру HiQuad" (eng.)


Pfeiffer Vacuum - OmniStar-ThermoStar

Газоаналитические масс-спектрометрические системы серии OmniStar / ThermoStar

Являются компактными настольными приборами для систем анализа газов при атмосферном давлении. Идеально подходят для исследований газа в химических процессах, производстве полупроводников, металлургии, процессах ферментации и катализа, лазерных технологиях и анализе газов для экологических стандартов. Спектрометры ThermoStar разработаны специально для соединения с термобаллансировочной системой.

  • Газовый анализ в диапазоне давлений до 1 000 мбар;
  • Модульная конструкция;
  • Возможность подключения системы калибровки напуска газа, опционально - регулятор давления;
  • Низкий предел обнаружения (< 1 ppm), даже для жидких газов и конденсата;
  • Надёжная идентификация неизвестных газов с помощью спектральных библиотек;
  • Мониторинг до 128 масс;
  • Количественный и качественный анализ;
  • Диапазоны 100/200/300 а.е.м.;
  • Системы способны обнаружить любой газ;
  • Терморегулятор входного газового отверстия (нагрев капилляра до 350оС) - материал изготовления: для OmniStar - нержавеющая сталь, для ThermoStar - кварц.

OmniStar/ThermoStar-pdf

Скачать брошюру серии OmniStar/ThermoStar" (eng.)


Системы газовога анализа SPM

Система газового анализа серии SPM

Обеспечивает анализ газов в диапазоне давлений до 10 мбар в режиме реального времени с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м.

  • Источник свободных ионов для мгновенного анализа газовой среды в технологическом процессе;
  • Великолепные возможности детекции Н2, О2, Н2О, СО2;
  • Минимальное фоновое влияние на конечный результат измерения;
  • Всесторонний мониторинг газов в диапазоне давлений от 0.01 до 10 мбар;
  • Сбор данные от нескольких масс-спектрометров с выводом на один компьютер;
  • Компактные габариты;
  • Лёгкая и гибкая интеграция в систему анализа с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов;
  • SPM источник ионов - мгновенный анализ газовой среды;
  • Возможность получения данных с нескольких масс-спектрометров на одном ПК;
  • Дифференциальный клапан;
  • Минимальное фоновое влияние на результат измерения;
  • Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов;
  • Компактные размеры;
  • Версии с предохранительным/без предохранительного клапана.
SPM-pdf
Скачать брошюру серии SPM" (eng.)

Масс-спектрометры Pfeiffer Vacuum - HPA

Квадрупольный масс-спектрометр серии HPA

5 вариантов ручных или электропневматических программ управления напуском газа делают модель этой серии достаточно гибкой в использовании при давлении до 50 мбар. Лёгкая и гибкая интеграция в систему анализа с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов.

  • Компактные размеры для удобной интеграции в систему анализа.

  • Гибкая система - варианты с пятью ручными или электропневматическими программами напуска газа;

  • Диапазон давлений 1*10-7 до 50 мбар;

  • Поставляется с дополнительным отверстием 0,1 мм для диапазона давления 0,1 - 1 мбар (N2);

  • Возможность получения данных с нескольких масс-спектрометров на одном ПК;

  • Минимальное фоновое влияние на результат измерения;

  • Диапазоны работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.;

  • Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов, компактные размеры;

  • Двойной запорный клапан.

HPA-pdf
Скачать брошюру серии HPA (eng.)


e-Vision 2

Квадрупольный масс-спектрометр e-Vision 2

Серия отличается низкой стоимостью, минимальной рабочей конфигурацией и простотой подключения благодаря наличию встроенного web-сервера, что позволяет подключать прибор к локальной сети с помощью загрузки IE или, используя ASCII протокол или с помощью программного обеспечения EasyView, проводить экспресс-диагностику остаточной атмосферы.

  • Диапазон измеряемых масс: 100 или 200 а.е.м.;
  • Максимальное рабочее давление: 1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар);
  • Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар;
  • Температура отжига: 250 оС (без электронной части).

MicroVision 2

Квадрупольный масс-спектрометр MicroVision 2

Прибор серии MicroVision 2, высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м. и мгновенным определением отклонения парциального давления газа.

  • Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.;
  • Максимальное рабочее давление: 7,6*10-5 Торр (1*10-4 мбар);
  • Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар;
  • Температура отжига: 250 оС (без электронной части);
  • Чаша Фарадея: 1,5*10-11 Торр (2*10-11 мбар);
  • Скорость дегазации: менее чем 1*10-9 мбар литр/сек.

MKS Instruments Vision 2000

Масс-спектрометрическая установка Vision 2000

Vision 2000 поможет провести газовый анализ и мониторинг вакуума, представляют собой полностью интегрируемые специальные установки для применения в различных процессах на основе серии MicroVision Plus с программным обеспечением Process Eye 2000.


MKS Instruments HPQ3

Масс-спектрометры HPQ3/HPQ3S

  • Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.;
  • Максимальное рабочее давление:
    HPQ3 - 1х10-3 Торр (1х10-4 мбар);
    HPQ3S - 8х10-3 Торр (1х10-2 мбар);
  • Чувствительность: 5*10-5 А/мбар;
  • Температура отжига: 250 0С (без электронной части);
  • Анализ состава газов.

MKS Instruments Cirrus 2

Установка для газового анализа Cirrus 2

Установка Cirrus 2 позволяет проводить непрерывный газовый анализ при атмосферном давлении. Cirrus 2 представляет собой интеграцию в единый настольный комплекс Microvision 2 и средств создания вакуума (высоковакуумный и форвакуумный насосы).

  • Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.;
  • Максимальная рабочая температура: 180 0С (отжиг камеры), 80 0С (рабочая температура камеры);
  • Рабочее давление: 1 бар (750 Торр).
  • Анализ состава газов.

Что необходимо знать о масс-спектрометрии

Под термином «масс-спектрометрия» понимается метод, предназначенный для измерения массы атомов и молекул. Данный метод позволяет проводить анализ сложных химических соединений посредством измерения показателей парциального давления их составных элементов. На первоначальном этапе анализируемое вещество приводится в газообразное состояние и ионизируется. Электрическое поле придает ускорение ионам таким образом, чтобы создать условия для их сортировки и разделения в фильтре масс по соответствующим отношениям массы к заряду. После этого определяются показатели парциального давления составных элементов газов. В состав каждого квадрупольного масс-спектрометра входят ионный источник, фильтр масс и детектор. Различие между типами масс-спектрометров обусловлено устройством применяемого фильтра масс. Квадрупольный масс-спектрометр очень хорошо зарекомендовал себя благодаря широте применения. Данные аналитические устройства очень часто применяются в вакуумной технологии.

Практическое применение

Квадрупольный масс-спектрометр имеет четыре параллельно расположенных стержневых электрода, образующих поле квадруполя. Точки их пересечения с плоскостью, лежащей перпендикулярно оси цилиндра образуют квадрат (отсюда происходит название «квадруполь»). Перед пересечением поля квадруполя ионы получают ускорение от поля статического электричества. Поле квадруполя, расположенное между электродами, одновременно пропускает только одну частицу определенной массы, таким образом, обеспечивая селективность. Имеются варианты исполнения масс-спектрометров с высоким разрешением, а также предусматривается более доступный вариант для использования в качестве анализатора остаточных газов. Благодаря своей универсальности, данные виды масс-спектрометров используются в различных областях, начиная от фармакологии и заканчивая анализом состояния окружающей среды.

Продукция Pfeiffer Vacuum

Основным видом продукции является квадрупольный масс-спектрометр PrismaPlus. Данная модель является анализатором универсального назначения с техническим принципом действия по оси магнитного поля, обеспечивающим высокую чувствительность измерений. Кроме этого, данный прибор отличается высокой эффективностью работы и скоростью измерений. К тому же, серия PrismaPlus не только отображает соответствующие показатели парциального давления, но и отслеживает уровень суммарного давления. Возможности сопряжения устройства обеспечивают удобное совместное использование квадрупольного масс-спектрометра в тандеме с газовым хроматографом. Благодаря своему компактному дизайну, блочной конструкции и простоте функционирования программного обеспечения Quadera, данный масс-спектрометр идеально подходит для применения при обнаружении утечек, в производстве полупроводников, нанесения покрытия на стекло, а также в металлургии. Кроме этого, можно привести бесконечное множество примеров использования устройства в сфере НИОКР. Компания Pfeiffer Vacuum предлагает своим клиентам индивидуальные решения для всех данных направлений. И, конечно, компания Pfeiffer Vacuum также предлагает необходимые вспомогательные опции для масс-спектрометров (например катоды для различных ионных источников).

Если Вы решили купить квадрупольный масс-спектрометр, достаточно отправить заявку через сайт и наши специалисты свяжутся с вами в кратчайшие сроки. Так же, Вы можете позвонить нам на любой номер из раздела Контакты.

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24