Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Масс-спектрометры > Microvision 2

Квадрупольный масс-спектрометр Microvision 2 - мощный продукт для решения задач газового анализа

MicroVision 2

В течение последнего десятилетия анализ остаточных газов стал надежной технологией, применяемой в автоматизированных процессах управления рабочей средой для обеспечения важной информацией технологов о возникающих в процессах ошибках и для предупреждения о выходе из-под контроля каких-либо параметров.

Требования, предъявляемые к масс-спектрометрам:

  • обеспечение высочайшей чувствительности измерения газов, присутствующих в вакууме
  • необходимость в надежных датчиках, работающих в жестких условиях
  • регистрация данных с большой точностью на высоких скоростях
  • интеграция в аппаратное и программное обеспечение
Microvision 2 является современным масс-спектрометром компании MKS Instruments, разработанным специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к масс-спектрометрам, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

Применения

Vision 2000
  • полупроводниковая промышленность
  • установки для нанесения крупных покрытий
  • высоковакуумные приложения
  • идеальный выбор для режима работы с высокими (в а.е.м.) массами
  • мониторинг загрязнений в камере
  • работа в жёстких внешних условиях
  • в качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки
MV 2 подходит для решения огромного числа задач в
вакуумных установках

Microvision 2 устанавливается на синхротронах последнего поколения.
Фото из Diamond Light Source, Великобритания

Оборудование

Сенсор
Квадрупольные масс-спектрометры Microvision 2 оснащаются двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладают:

  • ­более высоким сопротивлением к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром
  • ­более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах)
  • широким выбором ионных источников
  • стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальный платой для регистрации парциального давления до 1*10-14 мбар

Электроника
Квадрупольные масс-спектрометр сбор данных осуществляет с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном:

  • препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими
  • ­температурно сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха
  • изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса
  • настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств
  • гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора

Программное обеспечение 

Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром MV2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от масс-спектрометра.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору
Встроенное web-приложение для управления и регистрации
данных от MV2

Easy view
Это программное обеспечение для квадрупольных масс-спектрометров с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:­

  • запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
  • графическое представление данных с комментариями
  • управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения
Программное обеспечение Easy View для обработки данных
и управления одновременно несколькими масс-спектрометрами

Process Eye Professional
Обеспечивает полный контроль всех параметров масс-спектрометра:

  • программируемое управление для гибкости и простоты работы с помощью EasyView recipe и Recipe Wizard
  • возможность подключения к другим системам с помощью разнообразных протоколов Modbus, ASCII, SECS, серийные коммуникации, TCP-IP, файловый обмен и многое другое
  • гибкость в обработке пользовательских данных, проверке условий срабатывания сигнализации и операциях замкнутого контура управления
Программное обеспечение Process Eye Professional для
гибкой обработки данных и управления с использованием рецептов

TOOLweb RGA
специальное программное обеспечение, объединяющее компоненты всей установки, предоставляет наиболее надежную информацию о компонентах от масс-спектрометра:

  • полная интеграция данных с работой всей установки и FDC системами
  • уровни запрета от пассивного мониторинга вакуума до контроля "стоп/запуск" важных процессов в отдельных технологических камерах
  • подробнейшее предоставление информации для работы установки на максимальной производительности
Программное обеспечение TOOLweb RGA для интеграции
масс-спектрометра в систему управления установки/фабрики

 

Исполнения квадрупольного масс-спектрометра Microvision 2

 

Тройной фильтр - опция для работы с высокими массами увеличивающая коэффициент передачи    Сверх высоковакуумный испочник - опция для работы в высоковакуумных системах для быстрой дегазации и минимальным газовыделением    Разнесенная электроника (3 или 15 метров) - опция для работы в процессах (радиация или повышенная температура), где возможен выход из строя электроники

 

Характеристики квадрупольного масс-спектрометра Microvision 2

Электроника
Вес (устанавливаемый на фланец)  1,7 кг
Электропитание 24 В, 2A (постоянного тока)
Максимально допустимая температура окружающей среды (электроника) 40 °C и относительная влажность 80%
Протокол связи с компьютером 10/100 Base-T Ethernet, статические или автоматически определяемые IP адреса
Метод регистрации данных Процессор сбора данных, работающий в режиме реального времени
Метод накопления данных
  • ­Аналоговое сканирование, диапазон измеряемых масс - 8, 16, или 32 точки/а.е.м.
  • Сканирование столбчатых диаграмм
  • Регистрация пиков - до 15 пиков/скан
  • Полностью программированное управление (только для Process Eye Professional и TOOLweb RGA)
Число сохраняемых конфигураций источника 6 наборов, включающих параметры ионного источника, юстировки, разрешения калибровки детектора;
Хранятся в электронных компонентах и вызываются с помощью EasyView, Process Eye Professional или TOOLweb RGA
Программируемые параметры
  • ­Энергия электронов 20...100 эВ
  • Ток эмиссии 0...2 мА (5мА - дегазация)
  • Энергия ионов 0...130 В
  • Фильтр отклонения от полярности 0...±10 В
Защита УВЭ Автоматическое устранение выхода за пределы диапазона всех режимов сканирования, запрет выхода за пределы температуры и давления и защита катода и умножителя от избыточного давления
Максимальная скорость регистрации данных < 3 мс на одну точку (для аналогового сканирования)
Время установления сигнала на уровне 1ppm от максимума < 20 мс
Метод управления Процессор, работающей под CE операционной системой с web-серверным интерфейсом
Командная структура управления Протокол ASCII команд
Программное обеспечение Встроенный web-интерфейс для управления масс-спектрометром и регистрацией данных (использующие произвольный web-браузер и компьютер);
Опционально, пакет программ EasyView, Process Eye Professional или TOOLweb RGA для Windows
Интерфейс
  • ­RJ45 разъём: 10/100 Base-T Ethernet
  • 25 way D-type female: 16-конфигурационный TTL I/O, вход для специальной шины запрета выхода за пределы температуры умножителя, ±15В (100 мА), +24В (100 мА) и ±3,3В (100 мА)
  • 15 way D-type female: 4 аналоговых входа ( 11В до +11В 22bit), 2 аналоговых выхода (0-10В 12bit), ±15В (100 мА), составной выход от предусилителя детектора
  • 9 way D-type female: специальный порт для подключения прибора: -11 до +11В 22bit аналоговый выход , 1 цифровой вход («OK»), 1 цифровой выход («отключен») и питание +24В (100 мА)
  • 3,5 мм разъём: Оптоизолированный вход для защиты катода, автоматический контроль подключения к штепсельному соединению
  • 2,5 мм разъём: аудио выход для микрофона и наушников

 
Анализатор

Double (стандартная конфигурация)

5'' Single

Triple

Диапазон измеряемых масс

100, 200, 300 а.е.м.

100, 200 а.е.м.

100, 200, 300 а.е.м.

Максимальное рабочее давление

7,6*10-5 Торр
(1*10-4 мбар)

7,6*10-5 Торр
(1*10-4 мбар)

7,6*10-5 Торр
(1*10-4 мбар)

Чувствительность ионного источника

2*10-4 А/мбар

2*10-4 А/мбар

2*10-4 А/мбар

Минимальное определяемое парциальное давление (открытый источник ионов) 

накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения

накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения

накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения

Чаша Фарадея

1,5*10-11 Торр
(2*10-11 мбар)

1,5*10-11 Торр
(2*10-11 мбар)

1,5*10-11 Торр
(2*10-11 мбар)

Микроканальная панель

3,8*10-14 Торр
(5*10-14 мбар)

3,8*10-14 Торр
(5*10-14 мбар)

3,8*10-14 Торр
(5*10-14 мбар)

Температура отжига

250 оС (без электронной части)

250 оС (без электронной части)

250 оС (без электронной части)

Рабочая температура
  • 200 оС (с использованием только чаши Фарадея), температура электроники < 40 оС
  • 150 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1х10-8 мбар
  • 90 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1*10-5 мбар
  • 200 оС (с использованием только чаши Фарадея), температура электроники < 40 оС
  • 150 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1х10-8 мбар
  • 90 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1*10-5 мбар
  • 200 оС (с использованием только чаши Фарадея), температура электроники < 40 оС
  • 150 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1х10-8 мбар
  • 90 оС (с использованием УВЭ), температура электроники < 40 оС и давление 1*10-5 мбар
Материал катода

Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория

Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория

Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория

Высоковакуумный ионный источник

Опционально

Опционально

Опционально

Скорость дегазации

менее чем 1*10-9 мбар литр/сек

менее чем 1*10-9 мбар литр/сек

менее чем 1*10-9 мбар литр/сек

PVD ионный источник

Опционально

-

Опционально

Ионный источник Cross beam

Опционально

-

Опционально

Разрешение

менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс

менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс

менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс

Дрейф положения пика

±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды

±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды

±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды

Фланцы

DN 40 CF-F

DN 40 CF-F

DN 40 CF-F

Размеры квадрупольного масс-спектрометра Microvision 2

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Квадрупольный масс-спектрометр Microvision 2 - мощный продукт для решения задач газового анализа