Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

MKS Instruments

 

 

Баратроны - датчики давления

абсолютного, дифференциального или избыточного давления

  • измерения не зависят от рода газа
  • диапазон верхних пределов измерений от 20 мТорр до 25000 Торр
  • точность до 0,05% от измеряемой величины
  • внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ

 

Измерители и регуляторы расхода газовых сред

с верхним пределом от 1 sccm до 300 slm (ст.л/мин)

  • точность, воспроизводимость и надежность измерений
  • модели для агрессивных сред
  • модели с цифровыми интерфейсами

Системы регулирования расхода газов и поддержания давления

Компания MKS Instruments - лидер в производстве автоматических систем регулирования давления на входе или на выходе вакуумной камеры
  • высокая точность
  • короткое время отклика
  • надежность работы

Вакууметры

цифровые и аналоговые для измерения вакуума от 10-11 торр до атмосферного давления

  • пьезо
  • пирани
  • конвекционные пирани
  • ионизационные (горячий катод)
  • магниторазрядные (холодный катод)
  • комбинированные вакуумметры

Масс-спектрометрические установки Vision 1000

Анализ газовой среды. Масс-спектрометры

для непрерывного газового анализа в режиме реального времени в диапазоне от 1...6 a.e.m.  до 1...300 a.e.m. в вакуумных и атмосферных условиях



Анализ газовой среды. Инфракрасные Фурье-анализаторы

для контроля состава среды (более 30 газов) в режиме реального времени с чувствительностью до 10 ppb

ENI® Высокочастотные генераторы плазмы и генераторы постоянного тока

  • высокочастотные генераторы и генераторы постоянного тока
  • импульсные источники для плазменных технологий

HPS® Вакуумная арматура и аксессуары

  • вакуумная арматура
  • клапаны
  • прогреваемые линии
  • ловушки

Дозаторы и регуляторы жидкого и парообразного агента

Компания MKS Instruments разработала специальные системы подачи жидкого агента и регуляторы расхода на основе измерения давления

ASTEX® Генераторы реактивных газов

генераторы фтора и реактивных газов с высокой степенью диссоциации для специальной очистки вакуумных камер без применения дорогостоящей обработки

ASTEX® Генераторы озона. SEMOZON® и LIQUOZON®

модельные ряды генераторов высококонцентрированного и высокочистого озона для процессов осаждения, влажной очистки и для снятия фоторезиста, системы подачи озона

Цифровые продукты

  • цифровые Баратроны
  • цифровые регуляторы расхода газа
  • цифровые мотыльковые заслонки
  • коммуникаторы CommunicaTorr®, поддерживающие RS-484, DeviceNetTM и Profibus

 

 

Калибровочные установки

Внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ. Обеспечивают высочайшие точностные характеристики:

  • по давлению от 10-7 мм.рт.ст. до 25 бар
  • по расходу от 1 sccm до 200 slm