Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100
 
Главная > ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА> Adixen (Alcatel Vacuum Technology)> Высоковакуумные турбонасосы> Гибридные турбонасосы серии ATH

Гибридные турбонасосы серии АТН

АТН 31 один из самых маленьких гибридных турбонасосов на рынке. Он легко поместится в куб со стороной 10 см. Существует встраиваемая версия, которая имеет ещё меньшие размеры. Также в 2003 году были представлены новые гибридные турбонасосы АТН 200 и АТН 300. Одно из основных достоинств насосов серии АТН - это то, что они обладают уникальными откачными характеристиками: остаточное давление до 10-10 мбар при давлении на фланце выхлопа не выше 4 мбар. Такое форвакуумное давление может обеспечить практически любой мембранный насос.

Скорость вращения ротора у большинства турбонасосов ADIXEN (Alcatel Vacuum Technology) в два раза меньше чем у аналогов, что способствует большей надёжности, а вкупе с особо короткими лопатками ротора и повышенной стойкости к аварийным прорывам атмосферы в откачиваемый объём. При этом благодаря компьютерному расчету геометрии ротора и статора, а также высокоточной фрезеровке их из цельной паковки обеспечиваются выдающиеся и очень стабильные откачные характеристики, низкий уровень шума и высокие степени сжатия (1011 по азоту и 107 по гелию для АТН 31+, а для АТН 200 и 300 - 109 по азоту и 105 по гелию) .

Благодаря высокой степени сжатия и высокому допустимому давлению на фланце выхлопа насосы серии АТН 31 и 200 демонстрируют стабильную работу и идеальны для интеграции в аналитическое оборудование, а АТН 300 применяется в производстве DVD/CD дисков.

Насос модели АТН 31+ обеспечивает поток 200 ст. см3/мин при давлении на фланце всасывания 0,5 мбар.

Граница по максимальному давлению на фланце выхлопа для безостановочной работы насосов находится на уровне 5∙10-2 мбар. При длительном включении с превышением этого давления возможно автоматическое прекращение работы насоса по перегреву независимо от типа охлаждения.

В качестве форвакуумных насосов для данной серии, в зависимости от применения, рекомендуются серии RVP, ACP, AMD. Положение в пространстве - любое. Скорость вращения ротора - 42000 оборотов/мин. Уровень шума - 45 дБА. Уровень вибраций - 0,1 мм/с. Пусковая мощность - 100 VA. Номинальная мощность - 15 В. Время старта - 120 сек. Вес насоса - 1,2 кг. Контроллеры: корпусной (Box) либо MINIBOARD (плата для последующего интегрирования). Варианты охлаждения: естественное (стандарт); принудительное воздушное; водяное.

Принцип, фланцы промежуточного отбора

Насосы серии АТН совмещают в себе 2 принципа: турбомолекулярный и молекулярный (спираль Холвека). Модель АТН 31 имеет по одной ступени каждого принципа, модели АТН 31+ и АТН 31 С оборудованы двумя дополнительными молекулярными ступенями. Таким образом, например, модель АТН 31+ совмещает в себе 4 насоса: один турбомолекулярный и три молекулярных.

Радиальные сечения

Модель АТН31 - стандартная версия, имеет одну турбомолекулярную и одну молекулярную ступени, установленные последовательно. Обладая хорошей степенью сжатия и минимальными давлением на выхлопном фланце, равным 25 мбар, является незаменимым элементом при экономичном решении различных вакуумных задач. Оборудована двумя фланцами промежуточного отбора низкого давления (IPL). Устойчиво работает даже с мембранным насосом в качестве форвакуумного.

Модель АТН31 + - версия с повышенной степенью сжатия, имеет одну турбомолекулярную и три молекулярных ступени, установленные последовательно. Обеспечивает выдающиеся характеристики по степени сжатия. Идеальное решение для откачки легких газов. Данная модель оборудована одним фланцем промежуточного отбора низкого (IPL) и одним высокого (IPH) давления. Все заявленные откачные характеристики могут быть достигнуты при использовании мембранного насоса в качестве форвакуумного.

Модель АТН31С - коррозионно-стойкая версия, имеет одну турбомолекулярную и две молекулярных ступени, установленные последовательно. Последняя, третья молекулярная ступень инвертирована (имеет обратное направление спирали) и является динамическим уплотнением, в системе продувки инертным газом. Она не участвует в откачке основной среды, а лишь служит для предотвращения обратного тока в область подшипников. Система продува эффективно предотвращает конденсации откачиваемых агрессивных газов внутри насоса и предотвращает поток коррозионных газов в область подшипников. Газ вдувается через подшипники, проходит через инвертированную третью молекулярную ступень и удаляется вместе с откачиваемой средой. Версия оборудована одним фланцем промежуточного отбора низкого давления (IPL) и устойчиво работает даже с мембранным насосом в качестве форвакуумного.

Встраиваемая версия

Все три модели серии АТН 31 предлагаются во встраиваемом исполнении, что позволяет монтировать статор насоса прямо в стенку откачиваемого объёма. Данное решение позволяет поместить насос непосредственно в откачиваемом объёме и предоставляет несколько преимуществ, таких как снижение габаритных размеров системы, увеличение скорости откачки до 10%, снижение количества высоковакуумных уплотнений, снижение итоговой стоимости.

Для получения информации о присоединительных размерах встраиваемой версии обратитесь по координатам, указанным внизу страницы.

Фланцы промежуточного отбора

Насосы серии АТН31, в зависимости от версии, оборудованы различными фланцами промежуточного отбора. Данные фланцы, по сути, являются дополнительными откачными фланцами, но с выходом на разные ступени насоса. Рассмотрим схему расположения фланцев на примере насоса АТН 31+. Он оборудован одним фланцем низкого давления (IPL) и одним высокого (IPH). Этот насос имеет четыре ступени откачки выстроенных последовательно (турбомолекулярная и три молекулярных). Фланец высокого давления позволяет осуществить подключение между турбомолекулярной и первой молекулярной ступенями, фланец низкого давления - между второй и третьей молекулярными ступенями.

Фланцы промежуточного отбора позволят пользователю:

  • - организовать обводную линию откачки (использование только молекулярных ступеней насоса), например, в том случае если не требуется глубокое разряжение
  • - осуществить отбор части газовой нагрузки с другого объёма на молекулярные ступени насосов серии АТН 31 (применяется в масс-спектрометрии, откачке шлюзовых камер и др.)
  • - осуществить отбор части газовой нагрузки с другого турбомолекулярного насоса на молекулярные ступени насосов серии АТН 31 (позволяет сэкономить на форвакуумной части);
  • - подключить вакуумметр напрямую к насосу и избежать организации дополнительного фланца (зная вакуумные характеристики ступеней легко рассчитать давление в объёме).
  • - подключить клапан напуска атмосферы

Характеристика

 

Ед.изм.

ATH 31

ATH 31+

ATH 31 C

  Фланец на всасывании

 

 

 

DN 40

DN 63

Nud

DN 40

DN 63

Nude

DN 40

DN 63

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N2

л/с

33

26

30

33

26

30

33

26

30

Скорость откачки по:

He

л/с

15

13

14

22

18

20

22

18

20

 

H2

л/с

7

6

6

15

14

14

15

14

14

 

 

 

 

 

 

 

 

N2

 

108

1011

2∙109

Степень сжатия по:

He

 

6∙103

2∙107

2∙106

 

H2

 

300

105

104

 

 

 

 

 

 

Предельное разряжение

мбар

<10-8

<10-9

10-9

Предельное разряжение с продувкой

мбар

-

-

10-8

Расход продувочного газа

ст.см3/мин

-

-

50

Мак. давление на всасывании (*)

мбар

1

0.5

1

Макс. давление на выхлопе

мбар

25

45

45

Рабочее положение

 

Любое

Частота вращения ротора

мин-1

42000

Шум

дБа

45

Вибрация

мм/с

0,1

Пусковая потребляемая мощность

ВА

100

Номинальная потребляемая мощность

Вт

15

Время запуска

сек

120

Вес турбины

кг

1,2

Контроллер

 

ACT201H controller;  ACT201H Miniboard

 

Охлаждение турбины

 

Стандартное: естественная конвекция

 

Опция: воздушное принудительное

 

Опция: водяное

(*) с форвакуумным диафрагменным насосом 4 м3

Некоторые вакуумные характеристики ступеней насоса АТН 31+

 

Низкое давление (IPL)

Высокое давление (IPH)

Предельное разряжение, мбар

10-5

10-4

Максимальная скорость откачки, sccm

> 100

> 100

Максимальная степень сжатия по азоту

> 107

> 104

Максимальная степень сжатия по гелию

> 104

> 50

 

Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН 200 и 300

Характеристика

 

Ед.изм.

ATH 200 (I)

ATH 300(CI)

ATH 300(CI)

Фланец на всасывании

 

 

DN 100 ISO-K или CF-F

DN 100

DN 160

 

 

 

 

 

 

Скорость откачки по:

N2

л/с

200

250

300

 

He

л/с

130

215

240

 

 

 

 

 

 

Степень сжатия по:

N2

 

109

>109

>109

 

He

 

105

105

105

 

 

 

 

 

 

Предельное разряжение

мбар

<10-9

<10-9

<10-9

Мак. давление на всасывании

мбар

4∙10-3

0,1

0,1

Макс. давление на выхлопе

мбар

4

10

10

Рабочее положение

 

Любое

Частота вращения ротора

мин-1

36000

42000

Шум

дБа

<53

Вибрация

мм/с

0,3

Макс. потребляемая мощность

Вт

300

Время запуска

мин

<6

<3,5

Вес турбины ISO-K / CF-F

кг

5,5 / 9,7

6,5 / 10,5

Контроллер

 

ACT202H Standard controller;
EOB 200 OEM controller

ACT250 Box,
ACT600T,
ACT250 OEM board

 

Охлаждение турбины

 

Стандартное: естественная конвекция

 

Опция: воздушное принудительное

 

Опция: водяное

 

тел.: [495] 781-39-39                       факс: [495] 781-35-91      
Молекулярные насосы MDP5011 и MDP5011CP