Гибридные турбонасосы серии АТН
АТН 31 один из самых маленьких гибридных турбонасосов на рынке. Он легко поместится в куб со стороной 10 см. Существует встраиваемая версия, которая имеет ещё меньшие размеры. Также в 2003 году были представлены новые гибридные турбонасосы АТН 200 и АТН 300. Одно из основных достоинств насосов серии АТН - это то, что они обладают уникальными откачными характеристиками: остаточное давление до 10-10 мбар при давлении на фланце выхлопа не выше 4 мбар. Такое форвакуумное давление может обеспечить практически любой мембранный насос.
Скорость вращения ротора у большинства турбонасосов ADIXEN (Alcatel Vacuum Technology) в два раза меньше чем у аналогов, что способствует большей надёжности, а вкупе с особо короткими лопатками ротора и повышенной стойкости к аварийным прорывам атмосферы в откачиваемый объём. При этом благодаря компьютерному расчету геометрии ротора и статора, а также высокоточной фрезеровке их из цельной паковки обеспечиваются выдающиеся и очень стабильные откачные характеристики, низкий уровень шума и высокие степени сжатия (1011 по азоту и 107 по гелию для АТН 31+, а для АТН 200 и 300 - 109 по азоту и 105 по гелию) .
Благодаря высокой степени сжатия и высокому допустимому давлению на фланце выхлопа насосы серии АТН 31 и 200 демонстрируют стабильную работу и идеальны для интеграции в аналитическое оборудование, а АТН 300 применяется в производстве DVD/CD дисков.
Насос модели АТН 31+ обеспечивает поток 200 ст. см3/мин при давлении на фланце всасывания 0,5 мбар.
Граница по максимальному давлению на фланце выхлопа для безостановочной работы насосов находится на уровне 5∙10-2 мбар. При длительном включении с превышением этого давления возможно автоматическое прекращение работы насоса по перегреву независимо от типа охлаждения.
В качестве форвакуумных насосов для данной серии, в зависимости от применения, рекомендуются серии RVP, ACP, AMD. Положение в пространстве - любое. Скорость вращения ротора - 42000 оборотов/мин. Уровень шума - 45 дБА. Уровень вибраций - 0,1 мм/с. Пусковая мощность - 100 VA. Номинальная мощность - 15 В. Время старта - 120 сек. Вес насоса - 1,2 кг. Контроллеры: корпусной (Box) либо MINIBOARD (плата для последующего интегрирования). Варианты охлаждения: естественное (стандарт); принудительное воздушное; водяное.
Принцип, фланцы промежуточного отбора
Насосы серии АТН совмещают в себе 2 принципа: турбомолекулярный и молекулярный (спираль Холвека). Модель АТН 31 имеет по одной ступени каждого принципа, модели АТН 31+ и АТН 31 С оборудованы двумя дополнительными молекулярными ступенями. Таким образом, например, модель АТН 31+ совмещает в себе 4 насоса: один турбомолекулярный и три молекулярных.
Радиальные сечения
Модель АТН31 - стандартная версия, имеет одну турбомолекулярную и одну молекулярную ступени, установленные последовательно. Обладая хорошей степенью сжатия и минимальными давлением на выхлопном фланце, равным 25 мбар, является незаменимым элементом при экономичном решении различных вакуумных задач. Оборудована двумя фланцами промежуточного отбора низкого давления (IPL). Устойчиво работает даже с мембранным насосом в качестве форвакуумного.
Модель АТН31 + - версия с повышенной степенью сжатия, имеет одну турбомолекулярную и три молекулярных ступени, установленные последовательно. Обеспечивает выдающиеся характеристики по степени сжатия. Идеальное решение для откачки легких газов. Данная модель оборудована одним фланцем промежуточного отбора низкого (IPL) и одним высокого (IPH) давления. Все заявленные откачные характеристики могут быть достигнуты при использовании мембранного насоса в качестве форвакуумного.
Модель АТН31С - коррозионно-стойкая версия, имеет одну турбомолекулярную и две молекулярных ступени, установленные последовательно. Последняя, третья молекулярная ступень инвертирована (имеет обратное направление спирали) и является динамическим уплотнением, в системе продувки инертным газом. Она не участвует в откачке основной среды, а лишь служит для предотвращения обратного тока в область подшипников. Система продува эффективно предотвращает конденсации откачиваемых агрессивных газов внутри насоса и предотвращает поток коррозионных газов в область подшипников. Газ вдувается через подшипники, проходит через инвертированную третью молекулярную ступень и удаляется вместе с откачиваемой средой. Версия оборудована одним фланцем промежуточного отбора низкого давления (IPL) и устойчиво работает даже с мембранным насосом в качестве форвакуумного.
Встраиваемая версия
Все три модели серии АТН 31 предлагаются во встраиваемом исполнении, что позволяет монтировать статор насоса прямо в стенку откачиваемого объёма. Данное решение позволяет поместить насос непосредственно в откачиваемом объёме и предоставляет несколько преимуществ, таких как снижение габаритных размеров системы, увеличение скорости откачки до 10%, снижение количества высоковакуумных уплотнений, снижение итоговой стоимости.
Для получения информации о присоединительных размерах встраиваемой версии обратитесь по координатам, указанным внизу страницы.
Фланцы промежуточного отбора
Насосы серии АТН31, в зависимости от версии, оборудованы различными фланцами промежуточного отбора. Данные фланцы, по сути, являются дополнительными откачными фланцами, но с выходом на разные ступени насоса. Рассмотрим схему расположения фланцев на примере насоса АТН 31+. Он оборудован одним фланцем низкого давления (IPL) и одним высокого (IPH). Этот насос имеет четыре ступени откачки выстроенных последовательно (турбомолекулярная и три молекулярных). Фланец высокого давления позволяет осуществить подключение между турбомолекулярной и первой молекулярной ступенями, фланец низкого давления - между второй и третьей молекулярными ступенями.
Фланцы промежуточного отбора позволят пользователю:
-
- организовать обводную линию откачки (использование только молекулярных ступеней насоса), например, в том случае если не требуется глубокое разряжение
-
- осуществить отбор части газовой нагрузки с другого объёма на молекулярные ступени насосов серии АТН 31 (применяется в масс-спектрометрии, откачке шлюзовых камер и др.)
-
- осуществить отбор части газовой нагрузки с другого турбомолекулярного насоса на молекулярные ступени насосов серии АТН 31 (позволяет сэкономить на форвакуумной части);
-
- подключить вакуумметр напрямую к насосу и избежать организации дополнительного фланца (зная вакуумные характеристики ступеней легко рассчитать давление в объёме).
-
- подключить клапан напуска атмосферы
|
Характеристика
|
|
Ед.изм.
|
ATH 31
|
ATH 31+
|
ATH 31 C
|
|
Фланец на всасывании
|
|
|
|
DN 40
|
DN 63
|
Nud
|
DN 40
|
DN 63
|
Nude
|
DN 40
|
DN 63
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N2
|
л/с
|
33
|
26
|
30
|
33
|
26
|
30
|
33
|
26
|
30
|
|
Скорость откачки по:
|
He
|
л/с
|
15
|
13
|
14
|
22
|
18
|
20
|
22
|
18
|
20
|
|
|
H2
|
л/с
|
7
|
6
|
6
|
15
|
14
|
14
|
15
|
14
|
14
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N2
|
|
108
|
1011
|
2∙109
|
|
Степень сжатия по:
|
He
|
|
6∙103
|
2∙107
|
2∙106
|
|
|
H2
|
|
300
|
105
|
104
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Предельное разряжение
|
мбар
|
<10-8
|
<10-9
|
10-9
|
|
Предельное разряжение с продувкой
|
мбар
|
-
|
-
|
10-8
|
|
Расход продувочного газа
|
ст.см3/мин
|
-
|
-
|
50
|
|
Мак. давление на всасывании (*)
|
мбар
|
1
|
0.5
|
1
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
мбар
|
25
|
45
|
45
|
|
Рабочее положение
|
|
Любое
|
|
Частота вращения ротора
|
мин-1
|
42000
|
|
Шум
|
дБа
|
45
|
|
Вибрация
|
мм/с
|
0,1
|
|
Пусковая потребляемая мощность
|
ВА
|
100
|
|
Номинальная потребляемая мощность
|
Вт
|
15
|
|
Время запуска
|
сек
|
120
|
|
Вес турбины
|
кг
|
1,2
|
|
Контроллер
|
|
ACT201H controller; ACT201H Miniboard
|
|
Охлаждение турбины
|
|
Стандартное: естественная конвекция
|
|
|
Опция: воздушное принудительное
|
|
|
Опция: водяное
|
(*) с форвакуумным диафрагменным насосом 4 м3/ч
Некоторые вакуумные характеристики ступеней насоса АТН 31+
|
|
Низкое давление (IPL)
|
Высокое давление (IPH)
|
|
Предельное разряжение, мбар
|
10-5
|
10-4
|
|
Максимальная скорость откачки, sccm
|
> 100
|
> 100
|
|
Максимальная степень сжатия по азоту
|
> 107
|
> 104
|
|
Максимальная степень сжатия по гелию
|
> 104
|
> 50
|
Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН 200 и 300
|
Характеристика
|
|
Ед.изм.
|
ATH 200 (I)
|
ATH 300(CI)
|
ATH 300(CI)
|
|
Фланец на всасывании
|
|
|
DN 100 ISO-K или CF-F
|
DN 100
|
DN 160
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Скорость откачки по:
|
N2
|
л/с
|
200
|
250
|
300
|
|
|
He
|
л/с
|
130
|
215
|
240
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Степень сжатия по:
|
N2
|
|
109
|
>109
|
>109
|
|
|
He
|
|
105
|
105
|
105
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Предельное разряжение
|
мбар
|
<10-9
|
<10-9
|
<10-9
|
|
Мак. давление на всасывании
|
мбар
|
4∙10-3
|
0,1
|
0,1
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
мбар
|
4
|
10
|
10
|
|
Рабочее положение
|
|
Любое
|
|
Частота вращения ротора
|
мин-1
|
36000
|
42000
|
|
Шум
|
дБа
|
<53
|
|
Вибрация
|
мм/с
|
0,3
|
|
Макс. потребляемая мощность
|
Вт
|
300
|
|
Время запуска
|
мин
|
<6
|
<3,5
|
|
Вес турбины ISO-K / CF-F
|
кг
|
5,5 / 9,7
|
6,5 / 10,5
|
|
Контроллер
|
|
ACT202H Standard controller; EOB 200 OEM controller
|
ACT250 Box, ACT600T, ACT250 OEM board
|
|
Охлаждение турбины
|
|
Стандартное: естественная конвекция
|
|
|
Опция: воздушное принудительное
|
|
|
Опция: водяное
|