Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды > MultiGas 2030

MultiGas 2030 газовый анализатор, работающий в режиме реального времени

MKS Instruments MultiGas 2030

Анализатор многокомпонентных смесей газов MultiGas 2030 на базе Фурье-спектрометра ИК диапазона с чувствительностью от ppb/ppm находит применение во многих областях промышленности, таких как мониторинг выбросов из дымовых труб, мониторинг технологических процессов, мониторинг очистки воздуха, мониторинг чистоты вещества и мониторинг процессов селективного каталитического восстановления. MultiGas 2030 может проводить анализ газовых потоков, содержащих до 30% паров воды, и одновременно анализировать и отображать информацию более чем о 30 газах. Благодаря встроенной библиотеке калибровочных спектров отпадает необходимость в дорогостоящих газовых баллонах. Операторы прибора (конечные потребители) сочтут надежный, полностью автоматизированный MultiGas 2030 простым в эксплуатации и обслуживании.

Газовый анализатор MultiGas 2030 состоит из Фурье-спектрометра 2102 Process FTIR, запатентованной кюветы для образцов с высокой оптической пропускной способностью, специализированного программного обеспечения и инструментально независимой библиотеки спектров для количественного анализа. MultiGas 2030 регистрирует спектры с высоким разрешением в ИК диапазоне, которые анализируются (обрабатываются) с использованием спектральной библиотеки. Это обеспечивает точные измерения с высокой чувствительностью для большинства газов и паров.

Возможности и преимущества

  • Чувствительность 10 - 100 ppb для многих токсичных газов, включая летучие органические вещества, кислоты, щелочи, гибриды и перфторуглероды, применим к вытекающим потокам, содержащим до 30% паров воды
  • Легко транспортируемый к месту назначения, с временем установки не превышающим несколько минут
  • Одновременный анализ и вывод на экран информации более чем о 30 газах
  • Встроенная библиотека калибровочных спектров делает ненужными дорогостоящие газовые баллоны
  • Нагреватель газовый сети обеспечивает нужную температуру до попадания образца в газовую кювету
  • Запатентованный приемник с линеаризованным откликом гарантирует одинаковую калибровку
  • Диагностика частоты и спектрального разрешения гарантирует постоянную калибровку
  • Автоматическая компенсация температуры и давления обеспечивает точный анализ
  • Удобное пользовательское программное обеспечение предоставляет простоту в эксплуатации для  минимально подготовленного персонала

Применения

  • Мониторинг выбросов из дымовых труб (соответствие требованиям для окружающей среды)
  • Мониторинг технологических процессов, разработка и оптимизация
  • Анализ очистки воздуха (производственная гигиена)
  • Анализ чистоты газа
  • Мониторинг выбросов продуктов горения
  • Мониторинг процессов селективного каталитического восстановления

  

Фурье-спектрометр 2102 Process FTIR

Компактный и надежный спектрометр 2102 Process FTIR разработан специально для мониторинга окружающий среды и технологических процессов. Способный работать с разрешением до 0,5 см-1 он является самым быстрым, наиболее чувствительным и стабильным Фурье-спектрометром ИК диапазона. Кроме того, он может работать с агрессивной средой с высокой степенью невосприимчивости к вибрациям и перепадам температуры. Современная, быстродействующая система обработки данных является стандартной и предоставляет для анализа ИК спектры с низким уровнем шумов.
   

газовая кювета с оптической длиной пути 5,11 м и объемом 200 мл, имеет размеры 8-1/2” x 2” x 3-1/2” и запатентованную оптику с коррекцией аберраций для максимальной чувствительности

Этот спектрометр связан с малообъемной (200 мл) многопроходной газовой кюветой, имеющей эффективный оптический путь 5,11 м. Запатентованный дизайн кюветы включает асферические зеркала с коррекцией аберраций, которые обеспечивают более чем двукратную оптическую пропускную способность обычной многопроходной газовой кюветы. Для агрессивных или сильно поглощающих газов с высокими концентрациями в качестве альтернативы может быть использована однопроходная газовая кювета. Любая из кювет может быть использована при температуре окружающей среды и вплоть до 150 °C.

  

Спектральный анализ

 


ИК спектр полупроводникового выхлопа: проба (белый), калибровка (цветной). MultiGas 2030 может одновременно различать схожие молекулы

MultiGas 2030 обладает надежным программным обеспечением для количественного анализа, которое может одновременно анализировать и выдавать отчет о концентрациях множества соединений.
Программное обеспечение, использующее персональный компьютер, осуществляет автоматическую коррекцию колебаний температуры и давления газа, которые измеряются непосредственно анализатором. Образцы могут улавливаться и анализироваться менее чем за секунду, что делает возможным анализ переходных процессов.

   

остаточные спектры: результат вычитания калибровки из спектра образца демонстрирует качество анализа

В процессе накопления данных программное обеспечение MultiGas 2030 непрерывно регистрирует и обрабатывает спектры, пока идет подсчет концентрации газов, выбираемых в настройке программы. Форматы вывода информации на экран включают временные зависимости концентраций в графическом и табличном видах, измеренный и остаточный спектры. Остаточный спектр может быть использован для визуального определения ошибки в анализе, упрощая при этом процедуру контроля и гарантии качества. Остаточные спектры представляют собой «остатки» спектральной информации, после подсчета всех эталонных спектров.

   

данные полупроводникового процесса
Зарегистрированные и записанные в память спектры могут быть в любое время повергнуты обработке вновь с использованием того же или отличного набора калибровочных параметров.

 

Инструментально независимая калибровка


графический пользовательский интерфейс для калибровки

Программное обеспечение MultiGas 2030 обладает многоточечными калибровочными кривыми, которые обеспечивают динамический диапазон до 9 порядков величины (ppb к 100%). Калибровочные стандарты для большинства видов газов поставляются вместе с прибором. Дополнительные стандарты могут быть созданы пользователем на основе газов с известной концентрацией. Утилиты программного обеспечения MultiGas являются совместимыми для любого подобного прибора, что позволяет использовать созданный калибровочный стандарт на разных приборах без всяких изменений.

Характеристики ИК Фурье-анализатора MultiGas™ 2030


Анализатор

Метод измерений

Инфракрасная Фурье-спектроскопия

Измеряемые газы и пары

Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2

Диапазон измерений концентрации

от 10 ppb до 100%

Модель Фурье-спектрометра

2102 Process FTIR

Спектральное разрешение

0,5 – 128 см-1

Скорость сканирования

2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1

Время сканирования

1 –300 сек

ИК источник

карбид кремния SiC (12000C)

Опорный лазер

гелий-неоновый (15798,2 см-1)

Детектор (приемник)

MCT – Mercury-Cadmium-Telluride (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур), охлаждаемый жидким азотом или с термоэлектрическим охлаждением

Давление продувки

20 psig (1,5 бар) макс.

Поток продувки спектрометра

0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C

Поток продувки оптики

0,2 л/мин сухого азота или чистого сухого воздуха без CO2 с точкой росы ниже -700C

Датчик давления

Баратрон

Фланцы подключения продувки

Swagelok

Требования к компьютеру

настольный или ноутбук Intel Pentium® PC с Microsoft® Windows® 95/98/NT/2000/Me/XP и XGA монитором (1024 x 768)

Протокол

скрещенный Ethernet RJ-45

Выходные сигналы

аналоговый, DDE выход, RS232

Габаритные размеры

17,5” x 12,5” x 25,5”

Установка

19” дюймовый, монтируемый в стойку

Электропитание

120 или 240В, 50/60Гц, 3А

Вес

50 кг


Параметры отбора проб

Температура пробы

от окружающей до 2000С (в зависимости от температуры калибровки)

Поток пробы

0,2 – 10 л/мин

Давление пробы

0,01 – 4 атм. (в зависимости от давления калибровки)


Газовая кювета

Конструкция

алюминиевая, покрытая никелем; опционально нерж.сталь 316

Фланцы

1/4” Swagelok или 1/4” VCR

Трубопровод

1/4” нерж.сталь, прогреваемые

Зеркала

никелированная алюминиевая подложка с напылением золотом

Окна

KBr; CaF2 (другие материалы по запросу)

Уплотнения

витон (другие по запросу)

Детектируемые газы

В таблице приведены пределы детектирования для газовой ячейки длиной 5,11 метров и MCT детектор (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) с разрешением 0,5 см-1 для некоторых газов

Наименование

Формула

Наименьший предел обнаружения с кюветой 20/20™
за 5 мин. измерения

Наименьший предел обнаружения  с кюветой 20/20™
за 1 сек. измерения

Аммиак

NH3

30 ppb

0,5 ppm

Углекислый газ

CO2

12 ppb

0,2 ppm

Угарный газ

CO

72 ppb

1,2 ppm

Формальдегид

H2CO

36 ppb

0,6 ppm

Хлористый водород

HCl

87 ppb

1,5 ppm

Плавиковая кислота

HF

12 ppb

0,2 ppm

Метан

CH4

36 ppb

0,6 ppm

Диоксид азота

NO2

24 ppb

0,4 ppm

Окись азота

NO

210 ppb

3,6 ppm

Трифторид азота

NF3

30 ppb

0,5 ppm

Тетрафторид кремния

SiF4

10 ppb

0,15 ppm

Диоксид серы

SO2

36 ppb

0,6 ppm

Тетрафторметан

CF4

2,5 ppb

40 ppb

Ксилол

C8H10

60 ppb

1,0 ppm

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
MultiGas 2030 - ИК Фурье-анализатор, работающий в режиме реального времени