Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды > MultiGas Purity

MultiGas Purity быстродействующий детектор остаточных примесей

MKS Instruments-purity

Анализатор MultiGas Purity на базе Фурье-спектрометра способен выявлять загрязняющие вещества на уровне ppb в высокочистых технологических газах. Использование этого анализатора уже позволило улучшить качество производства газов, таких как NH3, NF3 и водород.
Анализатор MultiGas Purity состоит из Фурье-спектрометра 2102 Process FTIR, кюветы для образцов с высокой оптической пропускной способностью и специализированного программного обеспечения для анализа. Эти объединенные компоненты вместе с возможностью автоматического осушения обеспечивают несравнимую точность и правильность результатов мониторинга загрязняющих веществ в газах.

Возможности и преимущества

  • Интерактивный, работающий в режиме реального времени детектор чистоты технологических газов
  • Определение примесей на уровне ppb в технологических газах, таких как NH3, NF3 и H2
  • Сконструирован для агрессивных, высокочистых газов (газовая кювета и линия подвода образцов изготовлена из свариваемой нержавеющей стали 316, нагреваемый оптический путь устраняют образование влажности и атмосферных загрязнений, автоматическая процедура обезгаживания прогревом)
  • Анализатор с высоким разрешением обращает свертку перекрывающихся спектров и делает возможным видообразование примесей в газе
  • Программное обеспечение со специальной установкой «нуля» и автоматической калибровкой

Применения

  • Непрерывный мониторинг остаточных загрязнений в высокочистых газах в производственной среде, включая:
    - H2O, CO, CO2, N2O и CH4 в NH3
    - H2O, CO, CO2, N2O и HF в NF3
    - H2O, CO, CO2, HF, HCI, NH3, CH2CI2 и CHCI3 в H2
    - H2O, CO, CO2, CH4 и NH3 в N2O


Фурье-спектрометр 2102 Process FTIR

Компактный и надежный спектрометр 2102 Process FTIR разработан специально для мониторинга окружающий среды и технологических процессов. Способный работать с разрешением до 0,5 см-1 он является самым быстрым, наиболее чувствительным и стабильным Фурье-спектрометром ИК диапазона. Кроме того, он может работать с агрессивной средой с высокой степенью невосприимчивости к вибрациям и перепадам температуры. Современная, быстродействующая система обработки данных является стандартной и предоставляет для анализа ИК спектры с низким уровнем шумов.


газовая кювета с оптической длиной пути 5,11 м и объемом 200 мл, имеет размеры 8-1/2" x 2" x 3-1/2" и запатентованную оптику с коррекцией аберраций для максимальной чувствительности

Этот спектрометр связан с малообъемной (200 мл) многопроходной газовой кюветой, имеющей эффективный оптический путь 5,11 м. Запатентованный дизайн кюветы включает асферические зеркала с коррекцией аберраций, которые обеспечивают более чем двукратную оптическую пропускную способность обычной многопроходной газовой кюветы. Чтобы обеспечить оптимальную чувствительность, во время анализа чистоты газа проводится мониторинг его давления и температуры.
Для возможности использования в высокочистых применениях тело газовой кюветы изготовлено из никелированной нержавеющей стали 316. Газовые впускные и выпускные фланцы также из нержавеющей стали 316 и имеют соединения VCR®.  Вдобавок, запатентованная технология имеет грязеотталкивающие уплотнение для окон и зеркал.
Анализатор также обладает возможностью автоматического обезгаживания прогревом. Эта процедура требует нажатия лишь одной кнопки.

Спектральный анализ

sp_analys1 
спектр аммиака в области определения уровня воды
Анализатор MultiGas 2030 обладает надежным программным обеспечением для количественного анализа, которое может анализировать и выдавать отчет о концентрациях примесей. Температура и давление газа поддерживаются на определенном уровне и контролируются во время флуктуаций в технологическом процессе.
sp_analys2
высокое разрешение позволяет устанавливать различие между спектрами воды и NF3

Используя современный спектральный анализ MultiGas может обеспечить высокую точность экспериментальных данных без изменений базовой линии или дрейфа показаний прибора. Интерферограммы регистрируются с высоким разрешением, восстанавливаются из свёртки, а затем сравниваются со спектром образца для определения компонентов спектра. Эти спектры вместе с калибровочными кривыми (для примесей) используются для установления уровня концентраций примесей. Данный анализ полностью автоматизирован и осуществляется классическим методом регрессии наименьших квадратов. Формат вывода данных на экран включает историю концентраций (временные зависимости концентраций) в графическом и табличном видах, измеренный и остаточный спектры. 

sp_analys3
остаточные спектры: результат вычитания калибровки из спектра образца демонстрирует качество анализа
Остаточный спектр является визуальным указателем возможных количественных ошибок, что облегчает процедуру контроля и гарантии качества. Они представляет собой «остаток» спектральной информации после того, как из всех опорных спектров были вычтены их вычисленные значения.  Зарегистрированные и записанные в память эти спектры в любое время могут быть использованы с тем же или иным набором калибровочных параметров.

 

Калибровка системы

sp_analys4 
графический пользовательский интерфейс для калибровки

Программное обеспечение MultiGas обладает многоточечными калибровочными кривыми, которые минимизируют ошибки благодаря спектральной нелинейности. Данные калибровочные кривые входят в комплект поставки каждого прибора. Специальные программные утилиты контролируют работу прибора для предотвращения дрейфа калибровки.

Характеристики ИК Фурье-анализатора MultiGasTM Purity 


Анализатор

Метод измерений

Инфракрасная Фурье-спектрометрия

Измеряемые газы и пары

Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2

Диапазон измерений концентрации

от 10 ppb до 100%

Модель Фурье-спектрометра

2102 Process FTIR

Спектральное разрешение

0,5 - 128 см-1

Скорость сканирования

2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1

Время сканирования

1 -300 сек

ИК источник

карбид кремния SiC (12000C)

Опорный лазер

гелий-неоновый (15798,2 см-1)

Детектор (приемник)

MCT - Mercury-Cadmium-Telluride (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) охлаждаемый жидким азотом или с термоэлектрическим охлаждением

Давление продувки

20 psig (1,5 бар) макс.

Поток продувки спектрометра

4 л/мин сверхчистого азота

Поток продувки оптики

4 л/мин сверхчистого азота

Датчик давления

Баратрон

Фланцы подключения продувки

Swagelok

Требования к компьютеру

настольный или ноутбук Intel Pentium® PC с Microsoft® Windows® 95/98/NT/2000/Me/XP и XGA монитором (1024 x 768)

Протокол

скрещенный Ethernet RJ-45

Выходные сигналы

аналоговый, DDE выход, RS232

Габаритные размеры

17,5" x 12,5" x 25,5"

Установка

19" дюймовый, монтируемый в стойку

Электропитание

120 или 240В, 50/60Гц, 3А

Вес

57 кг


Параметры отбора проб

Температура пробы

от окружающей до 600С (в зависимости от температуры калибровки)

Поток пробы

0,2 - 10 л/мин

Давление пробы

0,01 - 8 атм. (в зависимости от давления калибровки)


Газовая кювета

Конструкция

нержавеющая сталь 316

Фланцы

1/4" VCR

Трубопровод

1/4" нерж.сталь, прогреваемые

Зеркала

никелированная алюминиевая подложка с напылением золота

Окна

KBr, CaF2, ZnSe (другие материалы по запросу)

 

Детектируемые газы

В таблице приведены пределы детектирования для газовой ячейки длиной 5,11 метров и MCT детектор (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) с разрешением 0,5 см-1 для некоторых газов

Наименование

Формула

Газовая среда

Характерный предел обнаружения с кюветой 20/20TM
за 2 мин. измерений

Вода

H2O

 NH3, NF3, N2O, PH3 , AsH3

20 ppb

Углекислый газ

CO2

NH3 и NF3

5 ppb

Угарный газ

CO

NH3 и NF3

6 ppb

Плавиковая кислота

HF

NF3

9 ppb

Метан

CH4

NF3

15 ppb

Закись азота

N2O

NF3

3 ppb

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
MultiGas Purity - быстродействующий ИК-Фурье анализатор остаточных примесей