Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ Pfeiffer Vacuum \ Вихревые безмасляные высоковакуумные насосы - серия OnTool Booster

Вихревые безмасляные высоковакуумные насосы - серия OnTool Booster

Вихревые безмасляные высоковакуумные насосы – серия OnTool Booster

On_Tool_Booster Уникальные технологии, примененные в компактном высокопроизводительном насосе OnTool Booster, проложили новый путь в вакуумных технологиях.
Этот уникальный безмасляный насос имеет скорость откачки до 130 м3/ч и может самостоятельно достичь вакуума < 1*10-5 мбар (не требует форвакуумного насоса). OnTool Booster прекрасное решение для "сухой" откачки в процессах нанесения покрытий, полупроводниковой промышленности и в исследовательской деятельности. Может применяться в самых различных процессах как самостоятельный насос и как форвакуумный насос для турбомолекулярных систем.

Применения:
- шлюзовые и загрузочные камеры
- фотолитография в глубоком ультрафиолете (EUV)
- системы напыления солнечных батарей и оптических покрытий
- симуляторы космического пространства

Технические характеристики вихревых безмасляных
высоковакуумных насосов серии OnTool Booster

Модель OnTool Booster 150
(снят с производства)
Фото насоса  On_Tool_Booster
Габаритные размеры ontool_booster_dimm
Откачные кривые  ontool_booster_crv
Фланец
- всасывания, ISO-KF
- выхлопа, ISO-KF 

DN50
DN25
Скорость откачки, м3
- при 0,1 мбар
- при Атм.

130
18
Скорость вращения ротора, об/мин 60000
Время выхода на режим, с 25
Предельное давление, мбар < 10-5
Уровень шума, дБА 64
Максимальная газовая нагрузка по Аргону, sccm 1000
Тип охлаждения водяное
Расход охлаждающей воды при Т=150С, л/мин 2
Допустимая температура охлаждающей воды, 0С 15 - 30
Питание подключается к TCP, В  220/380
Потребляемая мощность, кВт 2
Вес, кг 35

Контроллеры вихревых безмасляных высоковакуумных насосов серии OnTool Booster

Блоки питания/индикации/управления для вихревых безмасляных
высоковакуумных насосов серии OnTool Booster поставляются в 2 исполнениях.

Модель  TСP 2000 TCP 3000
Фото tcp2000 tcp3000