Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ MKS Instruments \ Масс-спектрометры \ Портативная аналитическая система (ПАС)

Портативная аналитическая система (ПАС)

ПОРТАТИВНАЯ АНАЛИТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (ПАС)
Уникальное решение для оптимизации Ваших процессов.

   

Компания MKS Instruments представляет уникальную мобильную масс-спектрометрическую систему, построенную на базе квадрупольного масс-спектрометра. Этот уникальный инструмент является полностью законченной и самостоятельной системой, не требующей для своей работы дополнительного оборудования и позволяет:

  • проводить оптимизацию существующего технологического процесса
  • проводить оптимизацию при переносе (масштабировании) технологии с лабораторного на промышленный уровень
  • проводить анализ базового вакуума в установках
  • осуществлять он-лайн мониторинг уровня загрязнений и очистки технологических камер
  • проводить проверку качества газов используемых в технологическом процессе
  • проводить проверку герметичности вакуумных камер
  • и многое другое

  Базовым элементом системы являются масс-спектрометры серии Vision 1000-E или Vision 1000-C, позволяющие проводить анализ технологических процессов (PVD, все разновидности CVD, включая MECVD,PECVD, LP-HPCVD, травление) в широком диапазоне давлений от атмосферного давления до базового вакуума, включая высокотемпературные процессы.
Система имеет опцию продувки и прогрева для минимизации влияния эффектов памяти  фона на анализ, характеризуется высокой устойчивостью к загрязнениям, может работать в чистых помещениях.

Основные технические характеристики:
Масс-спектрометр:

Базовое давление - макс. 0,1 Торр
Рабочее давление (давление процесса) - определяется пользователем от 1 Атм. До 10-7 торр.
Диапазон детектируемыз масс - 1-300 а.е.м.
Стабильность работы -  лучше чем ±0,1 а.е.м  в течение 8 часов
Разрешающая способность лучше чем 10% между пиками одинаковой высоты на всем диапазоне масс.
Минимальная детектируемая концентрация < 200 ppb (частиц на миллиард)
Закрытый ионный источник
Независимо заменяемые катоды.
Детектор - чаша Фарадея+умножитель вторичных электронов.
Интерфейс - TCP/IP, RS232
Вакуумная система:
Входной фланец - DN40 CF (или на выбор пользователя CF/ISO-KF)
Турбмолекулярный насос - 60 л/с.
Блок клапанов UniBloc
Автоматический вакуумный контроллер полностью интегрированный в систему.
Базовое давление (после прогрева) 5х10-9 Торр.
Температура обезгаживающего прогрева до 200оС.
Нагреватель интегрирован.
Програмное обеспечение:
Process Eye Professional - платформа с полной сетевой совместимостью работающая под ОС Windows. Обеспечивает полный контроль над масспектрометром, визуализацию информации и т.д.
Мобильное шасси:
Выполнено из нержавеющей стали. Занимаемая площадь - 455х604 мм.
Предусмотрен специальный столик для установки портативного компьютера.