Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > ИК Фурье-спектрометр, анализ газовой среды > Process Sense

Process Sense ИК-детектор момента завершения очистки технологической камеры

MKS Instruments Process Sense

Датчик момента завершения процесса Process Sense - это компактный и недорогой анализатор парциального давления, специально сконструированный для определения окончания очистки плазменной камеры, используемой как при производстве полупроводников, так и плазменных панелей. В основе Process SenseTM лежит явление поглощение газом излучения в ИК диапазоне, единственный метод измерений, применимый ко всем процессам плазменной очистки. Process Sense устанавливается в трубопровод низкого вакуума, не оказывая никакого влияния на само оборудование (для осаждения). Сигнал от Process Sense может быть использован как для определения степени завершенности очистки с течением времени, так и для обратной связи с прибором для подачи сигнала о завершении процесса.

Возможности и преимущества

  • Сниженная стоимость использования (короткое время отклика позволяет в реальном времени определять момент окончания очистки, типичное газосбережение от 5% до 20%, уменьшение разрушающего воздействия на камеру из-за избыточной очистки продлевает ей жизнь)
  • Повышенная производительность (оптимизированное время очистки камеры снижает время на подготовку процесса осаждения (обычно на 2% - 4%), снижение избыточной очистки уменьшает лишнюю генерацию частиц, улучшая качество продукции, постоянная калибровка не зависит от условий процесса)
  • Простая интеграция (имеется в наличии модернизирующий набор для производства современных материалов методом CVD, установка в трубопровод низкого вакуума - отсутствует влияние на само оборудование для осаждения, не требуется перекалибровка)

Применения

Определение момента завершения очистки камеры применительно к производству современных материалов методом CVD

  • Диоксиды кремния (USG, FSG, PSG, BSG, BPSG)
  • Нитриды кремния
  • Поликристаллический кремний
  • Силан или тетраэтил ортосиликат

 
Сравнение циклов очистки камеры иллюстрирует чувствительность Process Sense к колебаниям в процессе очистки камеры 

В отличие от оптических датчиков момента завершения процесса, Process Sense предоставляет количественную информацию. Калибровка остается постоянной в течение всего времени и не требует от пользователя проводить перекалибровку. Измеряя парциальное давление, Process Sense может осуществлять мониторинг концентрации газа, наблюдая за ним через два оптических смотровых отверстия (для согласованных процессов) в линии предварительного вакуума, поддерживаемой MKS. Электронные и оптические компоненты датчика никогда не вступают в контакт с газом и могут работать при давлениях от мТорр до атмосферного без каких-либо оптических модификаций. Так как все датчики откалиброваны одинаково, критерий сигнала момента окончания процесса одинаков для всех приборов и камер, и какие-либо перестановки или улучшения могут проходить без перекалибровки.

 
Сравнение циклов очистки камеры иллюстрирует способность Process Sense предсказать количество удаляемого вещества, тем самым не допуская ее избыточной очистки 

Process Sense снижает стоимость, улучшает качество продукции и увеличивает объемы ее производства. Благодаря правильному определению момента окончания очистки камеры, количество NF3, используемого для очистки, снижается, обычно на 5 - 20 %.  Схожие результаты были получены в случае очистки ПФУ, уменьшая объем этих выбросов, производимых предприятием. Снижение времени очистки камеры до необходимого уровня, уменьшает вероятность эрозии камеры (из-за избыточной очистки), и тем самым продлевает её жизнь. Кроме того, экономится время, затрачиваемое на подготовку процесса осаждения, что, в свою очередь, увеличивает производительность до 2 - 4%.
Данное усовершенствование процесса предлагается в виде модернизирующего набора для оборудования по производству современных материалов методом CVD (200  и 300 мм) и имеющего программное обеспечение Applied Materials версии 3,1 или выше.

Характеристики ИК-детектора Process SenseTM

Габаритные размеры

127 x 165 x 269 мм

Вес

3,18 кг

Время отклика

Непрерывный аналоговый отклик с 50 мс обновлением

Уровень сигнала

0 - 10 В

Точность калибровки

± 10%

Предел обнаружения

1 мТорр парциального давления SiF4

Колебания базовой линии

≤ 5 мВ в ходе обычной очистки

ИК источник

Карбид кремния

Метод анализа

Инфракрасный недиспергирующий с фильтром

Вакуумная кювета

Нержавеющая сталь

Вакуумное соединение

ISO-KF DN40

Оптический путь в вакуумной кювете

Пучок 85 мм длиной и 17,8 мм в диаметре

Окна вакуумной кюветы

Окна BaF2 диаметром 25,2 мм и толщиной 5,0 мм

ИК приемник

LiTaO3 с компенсацией температурных воздействий

Электропитание

+ 15 В (110мА), - 15 В (30мА), + 24 В (1А номинально, 2А исходно)

Аналоговый выходной сигнал

Заземленный относительно ± 15 В

Цифровые входные/ выходные сигналы

Изолированные ввод/вывод данных для операций с 24 В напряжения постоянного тока

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Process Sense - инфракрасный детектор момента завершения очистки камеры