Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG

 

Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG

Серия RPDG - серия импульсных генераторов постоянного тока для мощностей 5-20 кВт. Источники RPDG обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок, включая Al2O3, BST, PZT, Ta2O5, TaN, TiN, ITO, SiO2, ZnO и SiN.

 

Характеристики импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG

МОДЕЛЬ

RPDG-50

RPDG-100

RPDG-200

Частота

программируемая 25-125 кГц или 50-250 кГц

Цикл

программируемый 0-40% (Reverse Bias)

Мощность

5000 Вт

10000 Вт

20000 Вт

Регулировки по

Напряжению, Силе тока, Мощности

Режимы работы

Ramping, Run Time, Joule, Sequence, Constant Run

DC линейность/точность
не зависимо от режима
режим регулировки по
мощности

±0,1%: 10-100% от номинальной мощности
±0,25%: 1-10% от номинальной мощности

Требования
Электропитание

380 В / 50Гц

Охлаждение

Воздушное

Рабочая температура

5-40оС

Интерфейс
Цифровой

RS232

Аналоговый

9-pin

Размеры и комплектация
Размер

5,22"x18,9"x24,8"
132,5x480x631 мм

Разъём

UHF "мама" или пластина

Вес

25 кг

 

Размеры импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG

rpg50_100_200.jpg