Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Высокочастотные генераторы плазмы и генераторы постоянного тока > Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG
 

Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG

Серия RPDG - серия импульсных генераторов постоянного тока для мощностей 5-20 кВт. Источники RPDG обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок, включая Al2O3, BST, PZT, Ta2O5, TaN, TiN, ITO, SiO2, ZnO и SiN.

 

Характеристики импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG

МОДЕЛЬ

RPDG-50

RPDG-100

RPDG-200

Частота

программируемая 25-125 кГц или 50-250 кГц

Цикл

программируемый 0-40% (Reverse Bias)

Мощность

5000 Вт

10000 Вт

20000 Вт

Регулировки по

Напряжению, Силе тока, Мощности

Режимы работы

Ramping, Run Time, Joule, Sequence, Constant Run

DC линейность/точность
не зависимо от режима
режим регулировки по
мощности

±0,1%: 10-100% от номинальной мощности
±0,25%: 1-10% от номинальной мощности

Требования
Электропитание

380 В / 50Гц

Охлаждение

Воздушное

Рабочая температура

5-40оС

Интерфейс
Цифровой

RS232

Аналоговый

9-pin

Размеры и комплектация
Размер

5,22"x18,9"x24,8"
132,5x480x631 мм

Разъём

UHF "мама" или пластина

Вес

25 кг

 

Размеры импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG

rpg50_100_200.jpg 

 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG