Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:
Главная \ По применению \ Вакуумная техника \ Полупроводниковая промышленность

Полупроводниковая промышленность

Полупроводниковая промышленность

maglev

Гибридные турбонасосы на магнитном подвесе серии АТН-М

  •  Скорость откачки 500-3200 л/с

semi_pumps

Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности 

Более чем десятилетний опыт производства, испытаний и проверенных практикой конструкторских решений, позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum предложить новое поколение безмасляных вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности, объединивших в себе накопленный огромный опыт и знания в этой области техники.

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 1800 м3/ч 3 серий с предельным разрежением до 8*10-4 мбар.


scrubbers_1

Скрубберы и системы утилизации газа

  • очистительные работы, позволяющие выявить и очистить газы от находящихся в них примесей и частиц;
  • способность установки как влажной, так и сухой очистки от мелкой и среднедисперсной пыли, дыма, испарений, загрязнённых частиц;
  • понижение температуры дымовых газов, конденсации пара;
  • мягкое и равномерно испарительное увлажнение воздуха;
  • экономия энергии путем утилизации уходящих газов.