Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности серии A100L

Pfeiffer Vacuum A100L

Особенности

возможность прямого интегрирования в оборудование нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
компактность + быстрота действия - 100 м3 замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3
низкий уровень шума конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность снижение затрат производства
высокая надежность

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

Характеристики
• быстрота действия - 100 м3
• предельное давление - 5*10-3 Торр
• потребляемая мощность - 1,6 кВт
• уровень шума - 55 dBA
• габариты - 600х280х300 мм

Размеры

Скачать в PDF-формате

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1