Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Pfeiffer Vacuum > Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности > Серия A100L

A100L серия
Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности

ВСТРАИВАЕМЫЙ СУХОЙ НАСОС

Особенности

 

 

 

 

возможность прямого интегрирования в оборудование

нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение

компактность + быстрота действия - 100 м3

замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3
низкий уровень шума

конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность

снижение затрат производства
высокая надежность


 

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

 

Характеристики
• быстрота действия - 100 м3
• предельное давление - 5*10-3 Торр
• потребляемая мощность - 1,6 кВт
• уровень шума - 55 dBA
• габариты - 600х280х300 мм

  
Размеры

Скачать в PDF-формате

 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Серия A100L