Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Серия A100L

A100L серия
Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности

ВСТРАИВАЕМЫЙ СУХОЙ НАСОС

Особенности

 

 

 

 

возможность прямого интегрирования в оборудование

нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение

компактность + быстрота действия - 100 м3

замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3
низкий уровень шума

конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность

снижение затрат производства
высокая надежность


 

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

 

Характеристики
• быстрота действия - 100 м3
• предельное давление - 5*10-3 Торр
• потребляемая мощность - 1,6 кВт
• уровень шума - 55 dBA
• габариты - 600х280х300 мм

  

Размеры

Скачать в PDF-формате

 

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24