Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением серия A3P

Pfeiffer Vacuum A3P

Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.

Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.

Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706

Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности

Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация

Производительность

Единицы измерения   A103P   A603P   A1003P 
Максимальная скорость откачки 50 ГЦ м3/час
л/мин
120
2000
570
9500
900
1500
Остаточное давление
(без продувки)
мбар
торр
6,5*10-3
5*10-3
3*10-4
2*10-4
3*10-4
2*10-4
Остаточное давление
(с продувки)
мбар
торр
2,6*10-2
2*10-2
10-3
7,5*10-4
10-3
7,5*10-4
Потребление энергии на предельном
давлении 50 Гц
кВт 1 от 1,3 до 1,6
Мощность мотора кВт 2,5 4,7 5
Поток охлаждаемой воды л/мин 1,5
Потребление азота slm от 5 до 60
Впускной клапан DN 50 DN 100 DN 100
Выпускной клапан DN 25 DN 25 DN 25
Размеры Длина, мм
Ширина, мм
Высота, мм
684
310
323
684
342
662
684
342
662
Вес кг 125 270 270
Низкая стоимость владения, компактность, надёжность

Скачать буклет в PDF-формате

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1