Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Серия A3P

A3P серия
Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением

 

НОВЕЙШИЕ ТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ

Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.
Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.

 

Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706

 

Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности

 

Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация

 

       Единицы измерения 

 A103P 

 A603P 

 A1003P 

Максимальная скорость откачки 50 ГЦ

м3/час
л/мин

120
2000

570
9500

900
1500

Остаточное давление
(без продувки)

мбар
торр

6,5*10-3
5*10-3

3*10-4
2*10-4

3*10-4
2*10-4

Остаточное давление
(с продувки)

мбар
торр

2,6*10-2
2*10-2

10-3
7,5*10-4

10-3
7,5*10-4

Потребление энергии на предельном
давлении 50 Гц

кВт

1

от 1,3 до 1,6

Мощность мотора

кВт

2,5

4,7

5

Поток охлаждаемой воды

л/мин

1,5

Потребление азота

slm

от 5 до 60

Впускной клапан

DN 50

DN 100

DN 100

Выпускной клапан

DN 25

DN 25

DN 25

Размеры

Длина, мм
Ширина, мм
Высота, мм

684
310
323

684
342
662

684
342
662

Вес

кг

125

270

270

 НИЗКАЯ СТОИМОСТЬ ВЛАДЕНИЯ, КОМПАКТНОСТЬ, НАДЕЖНОСТЬ

Скачать в PDF-формате

 

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24