Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Серия AD3KH

AD3KH серия
Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях

ПРОВЕРЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Взяв за основу проверенные технологии основанные на технологии многоступенчатого Рутса, разработанные и проверенные за последние 20 лет в полупроводниковой промышленности, а также взяв преимущество насосов третьей серии - надежность, Adixen by Pfeiffer Vacuum представляет новую серию сухих насосов.
Эти насосы в состоянии удовлетворить требованиям самого сложного технологического процесса, применяются для производства плоских панелей, фотовольтаики и полупроводников и в процессах требующих высокую скорость откачки по Водороду.
Модельный ряд представлен тремя версиями насосов: AD43KH, AD63KH и AD103KH.

 

Особенности
• прочная рамная конструкция
• улучшенная коррозионная стойкость
• может работать в сильно запыленной атмосфере

Расширенный температурный диапазон
• исключает конденсацию побочных продуктов с высокой температурой
• предотвращает возможность термических реакций в температурно-чувствительных процессах

Низкая стоимость владения
• капитальный ремонт при наработке 2-3 лет (высокая наработка на отказ)
• низкая потребляемая мощность от 3,6 до 5,8 кВт
• малое потребление охлаждающей воды

Низкий уровень шума

Компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

 

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
• плоские панели
• солнечная энергетика
• полупроводники

 

ПРОЦЕССЫ
• осаждение атомного слоя в жестких условиях (на основе Ti)
• плазмохимическое осаждение
• химическое осаждение
• химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений
• травление
• работа с NF3, SiH4 / H2

AD43KH

AD63KH

AD103KH

Скорость откачки по азоту, м3

2100

3950

5100

Скорость откачки по водороду, м3

2000

3700

4000

Предельное давление без продувки, мбар

9*10-4

2*10-4

2*10-4

Предельное давление с продувкой, мбар

5*10-3

1*10-3

1*10-3

Потребление питания, кВт

3,6

4,9

5,8

Питание

 380/480 В 3-х фазное или 208/220 В

Потребление воды на охлаждение, л/мин

3

4

4

Входной фланец

ISO-K160

ISO-K200

ISO-K200

Выхлопной фланец

ISO KF40

Уровень шума

71

75

75

Размеры и вес

1330х665х985
770 кг

1455х770х1544
590+560 кг

1455х770х1647
590+810 кг

AD3KH серии AD43KH / AD63KH / AD103KH: современные решения для FPD, PV и SC

Скачать в PDF-формате

 

Москва:
Санкт-Петербург:
Адрес:
107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24