Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях серия AD3KH

Pfeiffer Vacuum AD3KH

Взяв за основу проверенные технологии основанные на технологии многоступенчатого Рутса, разработанные и проверенные за последние 20 лет в полупроводниковой промышленности, а также взяв преимущество насосов третьей серии - надежность, Adixen by Pfeiffer Vacuum представляет новую серию сухих насосов.
Эти насосы в состоянии удовлетворить требованиям самого сложного технологического процесса, применяются для производства плоских панелей, фотовольтаики и полупроводников и в процессах требующих высокую скорость откачки по Водороду.
Модельный ряд представлен тремя версиями насосов: AD43KH, AD63KH и AD103KH.



Особенности
• прочная рамная конструкция
• улучшенная коррозионная стойкость
• может работать в сильно запыленной атмосфере

Расширенный температурный диапазон
• исключает конденсацию побочных продуктов с высокой температурой
• предотвращает возможность термических реакций в температурно-чувствительных процессах

Низкая стоимость владения
• капитальный ремонт при наработке 2-3 лет (высокая наработка на отказ)
• низкая потребляемая мощность от 3,6 до 5,8 кВт
• малое потребление охлаждающей воды

Низкий уровень шума

Компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

Области применения
• плоские панели
• солнечная энергетика
• полупроводники

Процессы
• осаждение атомного слоя в жестких условиях (на основе Ti)
• плазмохимическое осаждение
• химическое осаждение
• химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений
• травление
• работа с NF3, SiH4 / H2

Производительность

AD43KH AD63KH AD103KH
Скорость откачки по азоту, м3 2100 3950 5100
Скорость откачки по водороду, м3 2000 3700 4000
Предельное давление без продувки, мбар 9*10-4 2*10-4 2*10-4
Предельное давление с продувкой, мбар 5*10-3 1*10-3 1*10-3
Потребление питания, кВт 3,6 4,9 5,8
Питание  380/480 В 3-х фазное или 208/220 В
Потребление воды на охлаждение, л/мин 3 4 4
Входной фланец ISO-K160 ISO-K200 ISO-K200
Выхлопной фланец ISO KF40
Уровень шума 71 75 75
Размеры и вес 1330х665х985
770 кг
1455х770х1544
590+560 кг
1455х770х1647
590+810 кг
AD3KH серии AD43KH / AD63KH / AD103KH: современные решения для FPD, PV и SC

Скачать в PDF-формате

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1