Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Pfeiffer Vacuum > Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности > Серия ADKL

ADKL серия
Безмасляные насосы для быстрой откачки больших объёмов

ПРОВЕРЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Adixen by Pfeiffer Vacuum разрабатывает оборудование, ориентированное на полупроводниковое производство в течение 25 лет. На основе своего богатого опыта Adixen by Pfeiffer Vacuum произвела новую линейку высокоскоростных форвакуумных безмасляных насосов. Эти насосы способны удовлетворить самые невероятные технические задания по скорости откачки загрузочных камер в производстве плоских панелей, солнечного или промышленного производства.
Линейка представлена в двух версиях в зависимости от скорости откачки: AD30KL и AD70KL.

 

ОСОБЕННОСТИ
уникальный автоматический
бустерный режим
• уникальный автоматический
режим ожидания
• высокая скорость откачки с атмосферы
• надежный механизм откачки
• энергосберегающий режим
• возможность продувки

 

ПРЕИМУЩЕСТВА
• минимальные габаритные размеры
• низкое потребление энергии
• низкий уровень шума
• быстрая откачка
• высокая надежность, низкие требования к обслуживанию
• низкая стоимость владения
• низкая стоимость и простота обслуживания
• низкое потребление энергии в режиме ожидания
• низкий предельный вакуум
• возможность работы с агрессивными газами
• компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
• производство плоских панелей
• солнечных батарей
• загрузочные и передаточные камеры объёмом до 10 м3

Примерное время откачки объёмов от 250 до 2000 литров от 15 до 60 сек

ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ

AD30KL

AD70KL

Скорость откачки на атмосферном давлении, м3

м3/час
л/мин

570
9500

Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар)

мбар
торр

3*10-4
2*10-4

Номинальный откачиваемый объём, л.

мбар
торр

10-3
7,5*10-4

Предельное давление с продувкой, мбар

кВт

от 1,3 до 1,6

Потребление питания, кВт

5,5 кВт
1,8 кВт в режиме ожидания

Питание

380/480В
или
208/220В

Потребление воды на охлаждение, л/мин

8

Входной фланец

ISO KND160

Выхлопной фланец

ISO KDNF50

Уровень шума

71

Размеры и вес

1560х515х1086
920 кг

1600х610х1248
540+690 кг

СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ FPD (ПЛОСКИХ ПАНЕЛЕЙ) И СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ

Скачать в PDF-формате

 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Серия ADKL