Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности серии A 100 L / A 300 H
Компактный безмасляный насос A 100 L специально разработан для полупроводниковой промышленности, для загрузочных шлюзов и шлюзовых камер, может применяться для различных неагрессивных процессов, где требуется обеспечить чистоту откачиваемого объема, и исключить попадание паров масла в вакуумную камеру.
Технические данные A 100 L
|
|
единицы измерения
|
A 100 L
|
|
Максимальная скорость откачки
|
м3/час
л/мин
|
95
1583
|
|
Остаточное давление
|
мбар
Па
|
6,6∙10-3
0,66
|
|
Потребляемая мощность мотора
|
кВт
|
1,6
|
|
Уровень шума
|
Дцб
|
< 58
|
|
Входной/выходной фланцы
|
|
DN 50 / DN25
|
|
Вес
|
кг
|
104
|
Небольшой безмасляный насос A 300 Н со скоростью откачки более 300м3/ч в большинстве случаев позволяет обойтись без применения насоса Рутса. Этот насос разработан для агрессивных процессов и имеет возможность продувки азотом.
Технические данные А 300 Н
|
|
единицы измерения
|
A 300 H
|
|
Максимальная скорость откачки
|
м3/час
л/мин
|
320
5340
|
|
Остаточное давление (без продувки азотом)
|
мбар
|
1,2∙10-2
|
|
Остаточное давление (с продувкой азотом)
|
мбар
|
6∙10-2
|
|
Мощность мотора
|
кВт
|
2,2
|
|
Потребление энергии на предельном давлении
|
кВт
|
1,8
|
|
Энергопитание
|
|
380В
3-х фазное
|
|
Минимальный поток охлаждающей воды
|
л/час
|
150
|
|
Уровень шума
|
Дцб
|
< 58
|
|
Входной/выходной фланцы
|
|
DN 63 / DN25
|
|
Вес
|
кг
|
165
|
|
Размеры A 100 L
|
Размеры A 300 H
|
|
|
|
|
Кривые скорости откачки
|
Кривые скорости откачки
|
|
|
|
|
