Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Серии A 100 L / A 300 H

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности серии A 100 L / A 300 H

 

Компактный безмасляный насос A 100 L специально разработан для полупроводниковой промышленности, для загрузочных шлюзов и шлюзовых камер, может применяться для различных неагрессивных процессов, где требуется обеспечить чистоту откачиваемого объема, и исключить попадание паров масла в вакуумную камеру.    

Технические данные A 100 L

 

единицы измерения

A 100 L

Максимальная скорость откачки

м3/час
л/мин

95
1583

Остаточное давление

мбар
Па

6,6∙10-3
0,66

Потребляемая мощность мотора

кВт

1,6

Уровень шума

Дцб

< 58

Входной/выходной фланцы

 

DN 50 / DN25

Вес

кг

104

Небольшой безмасляный насос A 300 Н со скоростью откачки более 300м3/ч в большинстве случаев позволяет обойтись без применения насоса Рутса. Этот насос разработан для агрессивных процессов и имеет возможность продувки азотом.   

Технические данные А 300 Н

 

единицы измерения

A 300 H

Максимальная скорость откачки

м3/час
л/мин

320
5340

Остаточное давление (без продувки азотом)

мбар

1,2∙10-2

Остаточное давление (с продувкой азотом)

мбар

6∙10-2

Мощность мотора

кВт

2,2

Потребление энергии на предельном давлении

кВт

1,8

Энергопитание

 

380В
3-х фазное

Минимальный поток охлаждающей воды

л/час

150

Уровень шума

Дцб

< 58

Входной/выходной фланцы

 

DN 63 / DN25

Вес

кг

165