Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > Centrotherm clean solution > СT-BW

CT-BW

Серия CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях побочными продуктами являются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions. Серия CT-BW отвечает этим новым требованиям. Помимо возможностей FLM серии, таких, как высокая эффективность очистки от фтороуглеродов и других газов, надежная утилизация всех побочных продуктов процессов осаждения и травления, возможность выбора различных газов в качестве топлива и соответствие международным требованиям, новая система разработана быть коррозиеустойчивой и способной переработать большое количество твердых продуктов реакции. Прямой дизайн входной и выходной трубы в купе с возможностью управления по температуре, а также разделением функциональных блоков, таких, как камера сгорания, увлажнитель, резервуар для жидкости и охлаждающая система, минимизируют риск закупорки и позволяют увеличить межремонтный ресурс оборудования. 

    
     CT-BW Twin

Преимущества:

  • Модульный дизайн.
  • Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов. 
  • Возможность переработки большого количества отложений.
  • Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
  • Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
  • Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
  • Удобство сервисного обслуживания.
  • Соответствие международным требованиям.
     
Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
СT-BW