Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Высокочастотные генераторы плазмы и генераторы постоянного тока > Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower
 

Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower

Серия ВЧ генераторов плазмы SurePower - идеальное решение для PECVD, HDPCVD, PVD, ALD, а также процессов травления. Опционально генераторы могут оснащаться системой автоматической подстройки частоты и встроенным Вольт-Амперным датчиком.
surepower_2.jpg 

 

Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия SurePower

МОДЕЛЬ

QL13013

QL10513

QL6513

QL5513

QL3513

Частота

13,56 МГц

Стабильность частоты и точность

±0,005%

Выходная мощность и точность
Динамический диапазон

130-13000 Вт

105-10500 Вт

65-6500 Вт

55-5500 Вт

35-3500 Вт

Точность поддержания

что больше ±1% от уставки или
±0,1% от полной выходной мощности

Выходная мощность при КСВН
1,1:1

13000 Вт

10500 Вт

6500 Вт

5500 Вт

3500 Вт

1,5:1

13000 Вт

10500 Вт

6500 Вт

5500 Вт

3500 Вт

2:1

10400 Вт

8400 Вт

5200 Вт

4400 Вт

2800 Вт

3:1

7800 Вт

6300 Вт

3900 Вт

3300 Вт

2100 Вт

Требования
Охлаждение

водяное

Рабочая температура

5-40оС

Интерфейс
Цифровой

RS232

Аналоговый

9-pin

Размеры и комплектация
Размер

17"x24"x5,25"

17"x24"x5,25"

17"x24"x5,25"

17"x24"x5,25"

8,5"x23"x5,25"

ВЧ-разъём

LC-тип

LC-тип

LC-тип

LC-тип

HN-тип

Вес

54,5 кг

54,5 кг

54,5 кг

54,5 кг

27,3 кг

 

Размеры высокочастотных генераторов плазмы серии SurePower

 

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower