Вакуумная техника и оборудование вакуум-давление
 |
Компания Adixen (Alcatel Vacuum Technology) имеет более чем 40-летний опыт производства высококачественных форвакуумных и высоковакуумных насосов, компактных высоковакуумных откачных постов, течеискателей, вакуумметров и соединительной арматуры.
Форвакуумные насосы:
масляные пластинчато-роторные
диафрагменные (мембранные) насосы
компактные безмасляные форвакуумные насосы
Насосы Рутса и откачные агрегаты на их основе
Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности
Высоковакуумные турбомолекулярные насосы и откачные посты на их основе
Течеискатели:
гелиевые
водородные
фреоновые
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Клапаны и шиберы
Датчик измерения влажности для сублимационной сушки
Плазменный датчик для полупроводниковой промышленности
|
|
|
 |
Компания Tegal Corporation является одним из ведущих разработчиков и производителей плазменного оборудования по осаждению и травлению для полупроводниковой технологии.
Tegal Corporation предлагает передовое оборудование для технологий Реактивно- Ионного травления (DRIE, RIE), для
традиционного осаждения (PVD) и наноосаждения (NLD) в области НИР и массового производства для
МЭМС технологий, производства планарных и 3х мерных интегральных схем, использующих различные
материалы подложки.
Оборудование обеспечивает высокую производительность при
невысокой стоимости владения.
|
|
|
 |
Компания Austin Scientific является мировым производителем криогенных насосов и гелиевых компрессоров к ним. В крионасосах отсутствуют подвижные части, рабочие жидкости или другие рабочие элементы, способные загрязнить откачиваемый объем, что полностью исключает попадание каких-либо загрязнений в вакууммируемый объем во время откачки.
Кригенные насосы
Гелиевые компрессоры
|
|
|
 |
Компания Centrotherm clean solution производит системы пассивации технологических газов (Скрубберы), производственное оборудование для полупроводниковой промышленности (100..300 мм), оборудование для технологических процессов: отжиг, оксидирование, диффузия, PECVD, LPCVD с возможностью загрузки (одной пластины) до поточного (конвейерного производства), а также печи для отжига, конвейерные системы (различные технологические этапы производства, связанные с термической обработкой), системы вакуумной пайки.
|
|
|
|
|
Компания MKS Instruments является мировым поставщиком инструментов, подсистем и целых производственных комплексов, которые позволяют измерять, контролировать, питать, выводить на цифровой экран и анализировать критические параметры сложных производственных процессов.
Датчики давления Баратрон
Измерители и регуляторы расхода газовых сред
Системы регулирования расхода газов и поддержания давления
Анализ газовой среды:
квадрупольные масс-спектрометры
инфракрасные Фурье-спектрометры
Генераторы постоянного тока и высокочастотные источники питания
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Клапаны
Генераторы реактивных газов
Генераторы озона
Ионизаторы и мониторы электростатического заряда
Калибровочное оборудование по давлению и расходу
|
Оборудование вакуум-давление
 |
Компания ABN Drucklufttechnik (Германия) производит мембранные вакуумные и компрессорные агрегаты, представляющие из себя очень надежные и нетребовательные в обслуживании машины, что позволяет широко использовать их в качестве современной замены поршневых компрессоров; а так же: для аэрации, в строительстве, автосервисах, пищевой промышленности, в полиграфии, лабораторных установках и для многих других применений, где требуется безотказная работа в тяжелых условиях. |
- мембранные безмасляные компрессоры с производительностью до 1 440 л/мин, избыточное давление до 6 атм
- мембранные безмасляные вакуумные насосы с производительностью до 520 л/мин, вакуум до 120 мбар (абс)
- бесшумные поршневые компрессоры с производительностью до 250 л/мин, избыточное давление до 8 атм, уровень шума 50 дБ!
 |
Компания Ceccato Aria Compressa S.p.A. является ведущим итальянским производителем компрессорной техники с 1939 года. |
- винтовые компрессоры, в том числе с частотным приводом и безмасляные. Давление до 13 атм, производительность до 30 000 л/мин
- поршневые компрессоры с производительностью до 1 200 л/мин, давление до 10 атм
- спиральные безмасляные компрессоры с производительностью до 1 560 л/мин, до 10 атм
- генераторы азота на базе винтовых компрессоров
- оборудование для подготовки сжатого воздуха: осушители (холодильные и адсорбционные), ресиверы, магистральные фильтры, водно-масляные сепараторы и т.д.
 |
Более 30-ти лет компания CONTINENTAL INDUSTRIE S.A.S. производит центробежные многоступенчатые нагнетатели и вытяжные вентиляторы, занимая одно из ведущих мест в мире в этой области. |
| Нагнетательные вентиляторы (компрессоры):
Производительность: 300 - 45000 м3/ч
Избыточное давление: 150 - 1100 мбар
Мощность двигателя: 5,5 - 1500 кВт
Диапазон температуры: -20 °C - +150 °C
|
|
Вытяжные вентиляторы (вакуумные насосы):
Производительность: 300 - 45000 м3/ч
Вакуум: 100 - 450 мбар
Мощность двигателя: 5,5 - 1500 кВт
Температура: -20 °C - +150 °C
|
 |
Компания Elmo Rietschle (подразделение концерна Gardner Denver) образована в 2005 году путем слияния известнейших немецких производителей вакуумного оборудования: Elmo и Rietschle. Фирма Elmo на протяжении ста лет являлась вакуумным подразделением концерна Siemens AG и занимается производством водокольцевых (с 1903 года), вихревых (с 1960 года) агрегатов и систем на их основе.
История компании Rietschle началась с производства пластинчато-роторных вакуумных насосов в 1950 году. |
На данный момент в производственной программе объединенной фирмы Elmo Rietschle присутствуют вакуумные насосы (вакуум до 0,01 мбар (абс)), компрессоры низкого давления (до 2,2 атм) и комбинированные агрегаты следующих типов:
- центробежные
- вихревые
- водокольцевые
- пластинчато-роторные
- кулачковые (Рутсы)
- когтевые
- винтовые
- специализированные системы
 |
Чешская компания LUTOS a.s. производит роторные воздуходувки, работающие как на создание вакуума, так и избыточного давления, с производительностью до 10200 м3/ч, в том числе специальных исполнений для различных отраслей промышленности. |
 |
Компания Nash (подразделение Gardner Denver) на протяжении более ста лет производит водокольцевые вакуумные насосы и компрессоры большой производительности. |
- вакуумные насосы с производительностью до 40000 м3/ч, вакуум до 30 мбар (абс)
- компрессоры с производительностью до 34000 м3/ч, избыточное давление до 15 атм
- специализированные системы.
 |
Компания Wittig (подразделение Gardner Denver) специализируется на производстве следующего оборудования: |
- вакуумные насосы и компрессоры для мобильных объектов (вакуумные машины, машины для транспортировки жидкостей и сыпучих материалов, общественный транспорт и т.д.)
- стационарные пластинчато-роторные вакуумные насосы и компрессоры большой производительности
- вакуумные насосы и компрессоры для работы с агрессивными и взрывоопасными средами.
|
