|
|
Компания Austin Scientific является мировым производителем криогенных насосов и гелиевых компрессоров к ним. В крионасосах отсутствуют подвижные части, рабочие жидкости или другие рабочие элементы, способные загрязнить откачиваемый объем, что полностью исключает попадание каких-либо загрязнений в вакууммируемый объем во время откачки.
Кригенные насосы
Гелиевые компрессоры
|
|
|
Компания Centrotherm clean solution производит системы пассивации технологических газов (Скрубберы), производственное оборудование для полупроводниковой промышленности (100..300 мм), оборудование для технологических процессов: отжиг, оксидирование, диффузия, PECVD, LPCVD с возможностью загрузки (одной пластины) до поточного (конвейерного производства), а также печи для отжига, конвейерные системы (различные технологические этапы производства, связанные с термической обработкой), системы вакуумной пайки.
|
|
|
Компания MKS Instruments является мировым поставщиком инструментов, подсистем и целых производственных комплексов, которые позволяют измерять, контролировать, питать, выводить на цифровой экран и анализировать критические параметры сложных производственных процессов.
Датчики давления Баратрон
Измерители и регуляторы расхода газовых сред
Системы регулирования расхода газов и поддержания давления
Анализ газовой среды:
квадрупольные масс-спектрометры
инфракрасные Фурье-анализаторы
Генераторы постоянного тока и высокочастотные источники питания
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Клапаны
Генераторы реактивных газов
Генераторы озона
Ионизаторы и мониторы электростатического заряда
Калибровочное оборудование по давлению и расходу
|
|
|
Компания Tegal Corporation является одним из ведущих разработчиков и производителей плазменного оборудования по осаждению и травлению для полупроводниковой технологии.
Tegal Corporation предлагает передовое оборудование для технологий Реактивно- Ионного травления (DRIE, RIE), для традиционного осаждения (PVD) и наноосаждения (NLD) в области НИР и массового производства для МЭМС технологий, производства планарных и 3х мерных интегральных схем, использующих различные материалы подложки. Оборудование обеспечивает высокую производительность при невысокой стоимости владения.
|
