Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА > MKS Instruments > Масс-спектрометры > Vision 2000

Масс-спектрометрические установки Vision 2000

Vision 2000

Масс-спектрометрические установки Vision 2000 разработаны для газового анализа и мониторинга вакуума, и представляют собой полностью интегрируемые специальные установки для применения в различных процессах на основе квадрупольного масс-спектрометра серии MicroVision Plus с программным обеспечением Process Eye 2000.

Vision 2000-B (vacuum baseline RGA) - базовая версия масс-спектрометрической установки для диагностики и мониторинга при минимальном задействовании оператора с небольшими знаниями в области масс-спектрометрии. Простое отображение информации о скорости откачки, текущем газовом состоянии и проверка герметичности. Установка Vision 2000-B комплектуется квадрупольным масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, вакуумной камерой, электропневматическим изоляционным клапаном.

Vision 2000-С (RGA for CVD processes) - версия разработана для процессов реактивного напыления таких как: титан нитридного (TDMAT), титан оксидного, атомарного напыления CVD, MOCVD и других. Установка Vision 2000-С комплектуется системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 300 а.е.м, специальной отсечной и изолирующей системой "Unibloc", которая позволяет проводить диагностику при давлениях от 700 Торр.

Vision 2000-E (RGA for etch processes) - версия разработана для процессов травления таких как: реактивное ионное травление (RIE), плазменное травление, микроволновое травление. Установка Vision 2000-Е комплектуется системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 200 а.е.м, специальной отсечной и изолирующей системой "Unibloc", позволяющей проводить диагностику при давлениях до 500 мТорр.

Vision 2000-I (ion implant RGA) - версия разработана для процессов ионной имплантации. Установка Vision 2000-I комплектуется масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, вакуумной камерой, электропневматическим изоляционным клапаном и специальной прогревающей рубашкой.

Vision 2000-P (process RGA system) - аналог базовой версии, комплектующаяся системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, электропневматическим изоляционным клапаном.

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Масс-спектрометр Vision 1000