Микро-ионный вакуумметр MKS сочетает в себе самый маленький в мире ионизационный датчик с управляющей электроникой для создания компактного, удобного, надежного и экономичного решения для многих применений в условиях высокого вакуума. Этот микро-ионный вакуумметр включает в себя множество функций, которые обеспечивают более точное и воспроизводимое измерение, чем традиционные датчики Баярда-Альперта, от 5x10-2 торр до 10-9 торр.
• Измерение вакуумного давления до 10-9 Торр
• Двойные нити увеличивают время безотказной работы оборудования
• Дисплей помогает в настройке и диагностике (опционально)
• Сверхчистая конструкция обеспечивает быстрое реагирование во время откачки
• Прочный, цельнометаллический, радиочастотный и помехоустойчивый модуль соответствует требованиям CE
• Компактное, удобное, надежное и экономичное измерение вакуума
Параметры
Диапазон измерений | 1x10-9 до 5x10-2 торр 1x10-9 до 7x10-2 мбар 1x10-7 до 7 Па (N2 или воздух) |
Рабочая температура | от 0 до 40 °C |
Макс. температура прогрева | макс. 200 °C (со снятой электроникой) |
Температура хранения | от -40 до 70 °C |
Аналоговый выход | Вольт/декада, логарифмический, от 0 до 9 в |
Соответствие | CE, SEMI S2 |
Нить | иридий или вольфрам с покрытием из оксида иттрия |
Защита от избыточного давления | выключается при заводском заданном верхнем пределе давления (регулируется) |
Ток эмиссии | 0,02 мА, 1,0 мА или 4 мА |
Модельный ряд
Модель | Тип фитинга | Интерфейс | Реле | Дисплей |
355400-0-YE-T | NW25 ISO-KF | нет | Нет | |
355410-1-YE-T | NW25 ISO-KF | RS485 | 1 | Нет |
355420-2-YE-T | NW25 ISO-KF | DeviceNet | 2 | Нет |
355600-0-YE-T | NW25 ISO-KF | нет | 2-значный зеленый светодиод | |
355620-2-TG-T | 2.75 in. CF | DeviceNet | 2 | 2-значный зеленый светодиод |
355620-2-YE-T | NW25 ISO-KF | DeviceNet | 2 | 2-значный зеленый светодиод |