Разработанный специально для для работы с загрузочными шлюзами, датчик Loadlock (LLT) 901 Plus (901P) сочетает в себе технологии Piezo и Micro Pirani. Комбинированный датчик обеспечивает более высокую точность, стабильность, воспроизводимость и более быстрое время отклика, чем обычные датчики Пирани.
• Измерение абсолютного давления от 1000 до 10-5 Торр
• 3 датчика в одном преобразователе для широкого диапазона измерений
• Аналоговые версии, RS232, RS485 и EtherCAT
• Опционально доступен встроенный сенсорный дисплей для индикации давления
• Быстрые, точные и воспроизводимые измерения давления сокращают время технологического цикла
• Три дополнительных уставки с быстрым временем отклика для надежного управления процессом
Параметры
Абсолютный диапазон измерения | от 1,0 x 10-5 до 1500 торр. |
Цифровые интерфейсы | RS485 / RS232 (от 4800 до 230400) |
Датчик | MicroPirani (MEMS-Пирани) Piezo differential (диафрагма MEMS) |
Реле | 3 реле SPDT (опционально) |
Диапазон уставки | Абсолютная: 5.0 x 10-4 до 1000 Торр Дифференциальная: от -760 до +100 Торр |
Калибровочный газ | Воздух, Аргон, Гелий, Азот, H2, Пары H2O, CO2, Ксенон, Неон |
Рабочая температура | от 0 до 40 °C |
Макс. температура прогрева | 85°C, в отключенном состоянии |
Отклик реле | макс. 100 мс |
Точность MicroPirani | От 5 x 10-4 до 1 x 10-3 торр ± 10% от показаний 1 x 10-3 до 100 Торр ± 5% от показаний 100 Торр в Атм ± 25% от показаний |
Воспроизводимость MicroPirani | от 1 x 10-3 до 100 Торр ± 2% от показаний |
Пьезо-дифференциальная точность | от -10 до +10 Торр ±10% от показаний от -100 до -10 Торр ±8% от показаний от -760 до -100 Торр ±1% от показаний +10 до 100 Торр ±5% от показаний |
Пьезо-дифференциальная воспроизводимость | от -760 до +10 торр ± 1% от показания |
Пьезо-дифференциальная нулевая стабильность | ± 0,1% от полной шкалы (полная шкала = 760 торр) |
Предел избыточного давления | 1500 торр (абсолютное) |
Модельный ряд
Модель | Тип фитинга | Интерфейс | Разъем | Реле | Дисплей |
901P-11030 | NW16 ISO-KF | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-11034 | NW16 ISO-KF | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-12030 | NW16 ISO-KF | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-12034 | NW16 ISO-KF | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-17020 | NW16 ISO-KF | EtherCAT/Analog | Analog: 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа EtherCAT: два гнезда мама RJ45 для входящих и сетевых сигналов |
0 | Нет |
901P-21030 | NW25 ISO-KF | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-21034 | NW25 ISO-KF | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-22030 | NW25 ISO-KF | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-22034 | NW25 ISO-KF | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-27020 | NW25 ISO-KF | EtherCAT/Analog | Analog: 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа EtherCAT: два гнезда мама RJ45 для входящих и сетевых сигналов |
0 | Нет |
901P-41030 | 4 VCR female | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-41034 | 4 VCR female | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-42030 | 4 VCR female | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-42034 | 4 VCR female | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-47020 | 4 VCR female | EtherCAT/Analog | Analog: 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа EtherCAT: два гнезда мама RJ45 для входящих и сетевых сигналов |
0 | Нет |
901P-51030 | 8 VCR female | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-51034 | 8 VCR female | RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-52030 | 8 VCR female | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-52034 | 8 VCR female | RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-81030 | NW16 ISO-KF расширенный |
RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-81034 | NW16 ISO-KF расширенный |
RS232/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-82030 | NW16 ISO-KF расширенный |
RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Нет |
901P-82034 | NW16 ISO-KF расширенный |
RS485/analog | 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа | 3 | Touch-screen |
901P-87020 | NW16 ISO-KF расширенный |
EtherCAT/Analog | Analog: 15-контактный, 3 ряда, разъём D-sub папа EtherCAT: два гнезда мама RJ45 для входящих и сетевых сигналов |
0 | Нет |