Скачать документацию
Отправить запрос

Вакуумметр QuadMag с холодным катодом/датчиками MICROPIRANI/PIEZO, Серия 974B

MKS Instruments 974B QuadMag Cold Cathode - MicroPirani - Piezo

Вакуумметр 974B QuadMag выдаёт диапазон измерений от 1x10-8 до 1500 Торр и сочетает в себе технологии инвертированного магнетрона с холодным катодом, MicroPirani и Пьезо-дифференциальных датчиков. 974B был специально разработан для измерения давления в загрузочных шлюзах. Он может заменить несколько устройств измерения давления на загрузочных шлюзах с возможностью измерения абсолютного давления от атмосферного до 10-8 Торр и возможностью переключения на атмосферное давление. Впоследствии OEM-производители могут снизить затраты с помощью упрощенной конструкции loadlock.

• Абсолютное измерение от 10-8 Торр до атмосферы
• Модуль анода с холодным катодом обслуживается пользователем для сокращения времени простоя
• Датчик MicroPirani на основе MEMS обеспечивает низкое автоматическое давление включения холодного катода
• Простота эксплуатации через аналоговый выход, RS232 и RS485
• Опционально встроенный дисплей для индикации давления и т.д.

Параметры

Абсолютный диапазон измерения Оот 1,0x10-8 до 1500 торр
Диапазон дифференциальных измерений от -760 до +760 торр
Цифровые интерфейсы RS485 или RS232
Датчик Холодный катод - MicroPirani - Пьезодифференциальный
Реле 3 реле, SPST
Диапазон уставки Абсолютный: от 1x10-8 торр до 1000 торр
Дифференциальный: от -760 до +100 торр
Калибровочный газ Азот
Рабочая температура от 0 до 40 °C
Макс. температура прогрева 85°C, в отключенном состоянии
Точность от 5x10-8 торр до 10-3: ±30% от показаний
от 10-3 до 50: ±2% от показаний
от 50 до 1000 торр: ±1% от показаний
Пьезо-дифференциальная точность от -10 до +10 торр: ±10% от показаний
от -100 до -10 торр: ±8% от показаний
от -760 до -100 торр: ±1% от показаний
от +10 до 100 Торр: ±5% от показаний
Пьезо-дифференциальная воспроизводимость от -760 до +10 торр ±1% от показаний
Пьезо-дифференциальная стабилизация нуля ±0,1% от полной шкалы (полная шкала = 760 торр)
Предел избыточного давления 1500 торр

Модельный ряд

Модель Тип фитинга Интерфейс Реле Дисплей
974B-21020 NW25 ISO-KF RS232 0 Нет
974B-21024 NW25 ISO-KF RS232 0 Touch-screen
974B-21030 NW25 ISO-KF RS232 3 Нет
974B-21034 NW25 ISO-KF RS232 3 Touch-screen
974B-22020 NW25 ISO-KF RS485 0 Нет
974B-22024 NW25 ISO-KF RS485 0 Touch-screen
974B-22030 NW25 ISO-KF RS485 3 Нет
974B-22034 NW25 ISO-KF RS485 3 Touch-screen
974B-71020 2.75 in. CF RS232 0 Нет
974B-71024 2.75 in. CF RS232 0 Touch-screen
974B-71030 2.75 in. CF RS232 3 Нет
974B-71034 2.75 in. CF RS232 3 Touch-screen
974B-72020 2.75 in. CF RS485 0 Нет
974B-72024 2.75 in. CF RS485 0 Touch-screen
974B-72030 2.75 in. CF RS485 3 Нет
974B-72034 2.75 in. CF RS485 3 Touch-screen
974B-91020 NW40 ISO-KF RS232 0 Нет
974B-91024 NW40 ISO-KF RS232 0 Touch-screen
974B-91030 NW40 ISO-KF RS232 3 Нет
974B-91034 NW40 ISO-KF RS232 3 Touch-screen
974B-92020 NW40 ISO-KF RS485 0 Нет
974B-92024 NW40 ISO-KF RS485 0 Touch-screen
974B-92030 NW40 ISO-KF RS485 3 Нет
974B-92034 NW40 ISO-KF RS485 3 Touch-screen
Цена
По запросу
Запрос стоимости (v)
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Загрузка файла
не более: 5
Комментарий
Copyright © 2007 - 2021 ООО "БЛМ Синержи"
О компании
Контакты
Скачать документацию