Вакуумметр 974B QuadMag выдаёт диапазон измерений от 1x10-8 до 1500 Торр и сочетает в себе технологии инвертированного магнетрона с холодным катодом, MicroPirani и Пьезо-дифференциальных датчиков. 974B был специально разработан для измерения давления в загрузочных шлюзах. Он может заменить несколько устройств измерения давления на загрузочных шлюзах с возможностью измерения абсолютного давления от атмосферного до 10-8 Торр и возможностью переключения на атмосферное давление. Впоследствии OEM-производители могут снизить затраты с помощью упрощенной конструкции loadlock.
• Абсолютное измерение от 10-8 Торр до атмосферы
• Модуль анода с холодным катодом обслуживается пользователем для сокращения времени простоя
• Датчик MicroPirani на основе MEMS обеспечивает низкое автоматическое давление включения холодного катода
• Простота эксплуатации через аналоговый выход, RS232 и RS485
• Опционально встроенный дисплей для индикации давления и т.д.
Параметры
Абсолютный диапазон измерения | Оот 1,0x10-8 до 1500 торр |
Диапазон дифференциальных измерений | от -760 до +760 торр |
Цифровые интерфейсы | RS485 или RS232 |
Датчик | Холодный катод - MicroPirani - Пьезодифференциальный |
Реле | 3 реле, SPST |
Диапазон уставки | Абсолютный: от 1x10-8 торр до 1000 торр Дифференциальный: от -760 до +100 торр |
Калибровочный газ | Азот |
Рабочая температура | от 0 до 40 °C |
Макс. температура прогрева | 85°C, в отключенном состоянии |
Точность | от 5x10-8 торр до 10-3: ±30% от показаний от 10-3 до 50: ±2% от показаний от 50 до 1000 торр: ±1% от показаний |
Пьезо-дифференциальная точность | от -10 до +10 торр: ±10% от показаний от -100 до -10 торр: ±8% от показаний от -760 до -100 торр: ±1% от показаний от +10 до 100 Торр: ±5% от показаний |
Пьезо-дифференциальная воспроизводимость | от -760 до +10 торр ±1% от показаний |
Пьезо-дифференциальная стабилизация нуля | ±0,1% от полной шкалы (полная шкала = 760 торр) |
Предел избыточного давления | 1500 торр |
Модельный ряд
Модель | Тип фитинга | Интерфейс | Реле | Дисплей |
974B-21020 | NW25 ISO-KF | RS232 | 0 | Нет |
974B-21024 | NW25 ISO-KF | RS232 | 0 | Touch-screen |
974B-21030 | NW25 ISO-KF | RS232 | 3 | Нет |
974B-21034 | NW25 ISO-KF | RS232 | 3 | Touch-screen |
974B-22020 | NW25 ISO-KF | RS485 | 0 | Нет |
974B-22024 | NW25 ISO-KF | RS485 | 0 | Touch-screen |
974B-22030 | NW25 ISO-KF | RS485 | 3 | Нет |
974B-22034 | NW25 ISO-KF | RS485 | 3 | Touch-screen |
974B-71020 | 2.75 in. CF | RS232 | 0 | Нет |
974B-71024 | 2.75 in. CF | RS232 | 0 | Touch-screen |
974B-71030 | 2.75 in. CF | RS232 | 3 | Нет |
974B-71034 | 2.75 in. CF | RS232 | 3 | Touch-screen |
974B-72020 | 2.75 in. CF | RS485 | 0 | Нет |
974B-72024 | 2.75 in. CF | RS485 | 0 | Touch-screen |
974B-72030 | 2.75 in. CF | RS485 | 3 | Нет |
974B-72034 | 2.75 in. CF | RS485 | 3 | Touch-screen |
974B-91020 | NW40 ISO-KF | RS232 | 0 | Нет |
974B-91024 | NW40 ISO-KF | RS232 | 0 | Touch-screen |
974B-91030 | NW40 ISO-KF | RS232 | 3 | Нет |
974B-91034 | NW40 ISO-KF | RS232 | 3 | Touch-screen |
974B-92020 | NW40 ISO-KF | RS485 | 0 | Нет |
974B-92024 | NW40 ISO-KF | RS485 | 0 | Touch-screen |
974B-92030 | NW40 ISO-KF | RS485 | 3 | Нет |
974B-92034 | NW40 ISO-KF | RS485 | 3 | Touch-screen |