|
Турбомолекулярный насос серии АТР представляет собой молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с лопатками, вращающиеся между соответствующими дисками статора. Это традиционный турбомолекулярный насос, конструкция которого отточена до совершенства. Турбомолекулярные насосы этой серии нашли самое широкое применение в большинстве задач, связанных с получением глубокого и чистого вакуума.
Турбомолекулярные насосы серии АТР выпускаются в трех исполнениях: В турбомолекулярных насосах серии АТР ротор насоса закреплен с применением керамических подшипников, обеспечивающих очень длительную эксплуатацию. Ротор вращается на рабочем режиме с относительно невысокой скоростью (27000 об/мин), что обеспечивает турбомолекулярному насосу существенно больший ресурс. Рабочее положение турбины в пространстве - произвольное. Информация: износ подшипников турбомолекулярного насоса пропорционален кубу частоты вращения ротора, иными словами, с увеличением скорости вращения в 2 раза ресурс уменьшается в 8 раз. |
Турбомолекулярные насосы серии ATP |
Турбомолекулярные насосы серии АТР обеспечивают производительность от 80 до 900 л/сек и предельное разряжение до 10-10 Торр.
|
Вид в сечении турбомолекулярного насоса |
Характеристика |
Ед. изм. |
АТР 80 |
АТР 100 |
АТР 150 |
АТР 400 |
АТР 900 |
|
Изображение турбомолекулярного насоса |
|
|
|
|
|
||
Фланец на всасывании
|
|
DN63 ISO-K |
DN100 ISO-K |
DN100 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN200 ISO-K |
|
Скорость откачки по: |
N2 |
л/с |
80 |
100 |
140 |
400 |
900 |
He |
л/с |
50 |
60 |
100 |
300 |
540 |
|
H2 |
л/с |
40 |
40 |
80 |
250 |
300 |
|
Степень сжатия по: |
N2 |
|
8∙107 |
8∙107 |
7∙108 |
7∙108 |
1∙109 |
He |
|
2500 |
2500 |
12000 |
15000 |
2∙104 |
|
H2 |
|
300 |
300 |
1000 |
1000 |
2000 |
|
Минимальное остаточное давление (1), (2) |
мбар |
5∙10-9 |
5∙10-9 |
5∙10-10 |
8∙10-10 |
5∙10-10 |
|
Максимальное давление на всасывании (2) |
мбар |
1∙10-1 |
1∙10-1 |
1∙10-1 |
2∙10-2 |
2∙10-2 |
|
Максимальное давление на выхлопе (2) |
мбар |
2∙10-1 |
3∙10-1 |
4∙10-1 |
2∙10-1 |
3∙10-1 |
|
Требуемая модель (минимальная) форвакуумного |
|
2005 |
2005 |
2005 |
2015 |
2021 |
|
Рабочее положение |
|
Любое |
|||||
Скорость вращения ротора |
об/мин |
27 000 |
|||||
Время запуска, мин |
|
1,45 |
1,45 |
2 |
3 |
3 |
|
Максимальная рабочая температура |
°C |
Турбина 50°C / Контроллер 40°C |
|||||
Выхлопной фланец |
|
DN25 |
DN25 |
DN25 |
DN40 |
DN40 |
|
Вес (естественная вентиляция) ISO-K |
кг |
3 |
3 |
-- |
-- |
-- |
|
Вес (принудительная вентиляция) ISO-K |
кг |
4 |
4 |
6,5 |
6,5 |
17,5 |
|
Вес (водяное охлаждение) ISO-K |
кг |
3,4 |
3,5 |
9 |
9 |
17 |
|
Контроллер |
|
ACT200T |
ACT200T |
ACT600T |
ACT600T |
ACT 1000T |
|
Вес контроллера |
кг |
2,6 |
2,6 |
4 |
4 |
8,8 |
|
Контроллер в стойку |
Rack |
¼ |
¼ |
½ |
½ |
½ |
|
Максимальное энергопотребление |
Вт |
100 |
100 |
300 |
300 |
800 |
(1) Измерено по стандарту Pneurop при выхлопном давлении ниже 10-2 мбар
(2) Модель водяного охлаждения с фланцами CF-F
![]() |
![]() |
Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP |
Турбомолекулярные насосы спроектированы для работы с коррозионно-активными газами, в том числе и в полупроводниковой промышленности. Насосы имеют вход для продувки инертным газом для предотвращения воздействия откачиваемых газов на подшипники. Кроме того, в конструкцию турбомолекулярных насосов заложено специальное обратное динамическое уплотнение, которое минимизирует количество химически активных газов, достигающих подшипники даже в том случае, когда отсутствует продувка (например, на этапе калибровки технологического процесса). Насосы серии «HPC» снабжены водяным нагревом до 65оС, для предотвращения конденсации парогазовых откачиваемых смесей на внутренних частях насоса.
![]() |
![]() |
Турбомолекулярный насос серии ATP вид в сечении версия «С» (слева) и «HPC» (справа) |
|
|
|
Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP |
Характеристика |
Ед. изм. |
АТР 80 С |
АТР 100 С |
АТР 150 С |
АТР 400 С |
АТР 900 С |
АТР 400 HPC |
АТР 900 HPC |
|||
Фланец на всасывании |
|
DN63 ISO-K |
DN100 ISO-K |
DN100 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN200 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN200 ISO-K |
|||
Скорость откачки по: |
N2 |
л/с |
80 |
100 |
140 |
400 |
900 |
380 |
700 |
||
He |
л/с |
50 |
60 |
100 |
300 |
540 |
|
|
|||
H2 |
л/с |
40 |
40 |
80 |
250 |
300 |
|
|
|||
Ar |
|
|
|
|
|
|
430 |
785 |
|||
SF6 |
|
|
|
|
|
|
430 |
785 |
|||
Степень сжатия по: |
N2 |
|
8∙107 |
8∙107 |
7∙108 |
7∙108 |
1∙109 |
7∙106 |
1∙106 |
||
He |
|
2500 |
2500 |
12000 |
15000 |
2∙104 |
|
|
|||
H2 |
|
300 |
300 |
1000 |
1000 |
2000 |
100 |
200 |
|||
Ar |
|
|
|
|
|
|
700 |
2∙103 |
|||
Минимальное остаточное |
мбар |
5∙10-9 |
5∙10-9 |
5∙10-10 |
8∙10-10 |
5∙10-10 |
5∙10-8 |
||||
Минимальное остаточное |
мбар |
5∙10-8 |
5∙10-8 |
1∙10-7 |
1∙10-7 |
1∙10-7 |
8∙10-6 |
5∙10-5 |
|||
Расход азота на продувку |
ст.см3/мин |
50 |
|||||||||
Максимальное давление на всасывании (2) |
мбар |
1∙10-1 |
1∙10-1 |
1∙10-1 |
2∙10-2 |
2∙10-2 |
1∙10-1 |
1∙10-2 |
|||
Максимальное давление на выхлопе (2) |
мбар |
2∙10-1 |
3∙10-1 |
4∙10-1 |
2∙10-1 |
3∙10-1 |
6∙10-1 |
4∙10-2 |
|||
Требуемая модель (минимальная) форвакуумного |
|
2005 С2 |
2005 С2 |
2021 С2 |
2033 С2 |
2063 С2 |
|||||
Рабочее положение |
|
Любое |
|||||||||
Скорость вращения ротора |
об/мин |
27 000 |
|||||||||
Время запуска, мин |
|
1,45 |
1,45 |
2 |
3 |
3 |
2 |
||||
Максимальная рабочая температура |
°C |
Турбина 50°C / Контроллер 40°C |
|||||||||
Выхлопной фланец ISO-KF |
|
DN25 |
DN25 |
DN25 |
DN40 |
||||||
Фланец продувки ISO-KF |
|
DN16 |
![]() |
Контроллеры оснащены LCD дисплеем. Отображение текущей скорости вращения ротора и потребляемой мощности, температуры насоса и контроллера, срок службы, сбои в работе. Контроль скорости вращения ротора, напуска воздуха, автостарт, задержка старта, расписание обслуживания. Интерфейс RS232/485. Удаленное управление. Внешние входы: удаленный старт/стоп, режим ожидания. Внешние выходы: запуск насоса, насос на скорости, режим ожидания, вентиляционный клапан открыт/закрыт, подача питания на вентиляторы воздушного охлаждения. |
![]() |
![]() ![]() |
|