Москва:
Новосибирск:
Главная \ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА \ MKS Instruments \ Масс-спектрометры \ Анализаторы остаточных газов

Анализаторы остаточных газов

Анализатор остаточного газа (RGА) являются эффективным инструментом для анализа системных газовых нагрузок, возникающих в результате реальных утечек, виртуальных утечек или дегазации стенок камеры. RGА обладает рядом преимуществ по сравнению с традиционными специализированными анализаторами утечек газа, включая способность различать различные виды газа, сопоставимые уровни чувствительности, способность обнаруживать внутренние или «виртуальные» утечки, а также обнаруживать и анализировать проблемы с выбросом газа.

MKS Microvision 2

Для общего анализа остаточных газов производительность MicroVision 2 RGA делает его идеальным выбором для многих применений, включая сверхвысокий вакуум (СВВ), таких как вакуумные покрытия, ускорители и физика высоких энергий.

• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 7,6*10-5 Торр (1*10-4 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар
• Чаша Фарадея: 1,5*10-11 Торр (2*10-11 мбар)

Цена
По запросу
Подробнее
MKS e-Vision 2

E-Vision 2 с поддержкой интернета представляет собой значительный прогресс в технологии, открывая новые возможности для мониторинга вакуума и электронной диагностики. Благодаря беспрецедентному набору опций управления приборами e-Vision 2 разработан таким образом, чтобы сделать устранение неполадок и мониторинг вакуума простыми и понятными.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 или 1-200 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 1*10-4 Торр (1,3*10-4 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар

Цена
По запросу
Подробнее
MKS HPQ3

HPQ3 позволяет работать далеко за пределом общего давления 1*10-4 мбар других RGА, без необходимости дифференциальной откачки. Испытанная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной платформой электроники семейства Microvision 2 обеспечивают качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. HPQ3 имеет множество вариантов управления программным обеспечением, чтобы соответствовать требованиям любого приложения.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,001 Торр (0,0013 мбар)
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10-11 торр (1*10-11 мбар)
• Мин. определяемая концентрация: 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар)

Цена
По запросу
Подробнее
MKS HPQ3S

Для специфических применений, связанных с давлениями, превышающими HPQ3S 1*10-2 мбар производит коррекцию в реальном времени, используя манометрическое давление от инструмента или используя различные дополнительные независимые манометры, установленные на специальной F-камере, разработанной для оптимальной производительности.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,008 Торр (0,0013 мбар)
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10-11 торр (1*10-11 мбар)
• Мин. определяемая концентрация: 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар)

Цена
По запросу
Подробнее