Серия скрубберов CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях используются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions.
Серия CT-D с сухим абсорбером предлагает безопасное эффективное и надежное решение по утилизации отходов для полупроводникового производства и областях промышленности со схожими процессами, таких как микроэлектромеханика, фотогальваника и стекловолоконная оптика.
Система CT-W c влажной утилизацией – проверенное решение для очистки выхлопных газов после различных процессов осаждения и травления. Аппарат разработан для очистки от HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4, NH3 и, в целом, от любых кислот и/или щелочей из выхлопных газов, растворимых в воде.